Kitchen waste recycling
廚餘回收再利用
廚餘在農業時代起一直都作為牲畜糧食再利用，加上台灣的養豬業的興盛，廚餘再利用去化場所多數為養豬場，2018年因受非洲豬瘟影響，各縣市禁止廚餘餵豬，使得廚餘去化成為棘手問題。依據廢資課統計資料，台積公司一年廚餘約為1...
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The restoration of close-to-nature forest at Fab 15B
近自然林復育
台積公司晶圓十五B廠緊鄰生態資源豐富的台中都會公園，為確保生態系統的永續使用及維持生物多樣性，在廠區興建初期即攜手在地的國立中興大學森林學系，運用近自然林的生態復育理論，推動廠區森林經營與大肚山稀有物種的生態復育計...
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The renovation in the old factory aims to break through existing limitations and create a green and safe working environment
老廠翻新-突破現有桎梏創造綠色及安全工作環境
隨著半導體製程不斷進步，工廠持續關注環保與職業安全，致力實現綠色製造和降低現場作業環境風險。F8廠區藉由黃光製程提升後原物料變更的契機，改良顯影劑供應方式，以2.38%TMAH槽車取代25%TMAH 混酸系統供應，...
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Improving reclamation efficiency of Waste Piranha Solution
高濃廢硫酸再利用創新改良-廢硫酸稀釋法實務應用
廢硫酸回收系統(Waste Sulfuric acid recycling system)有其運轉規範要求，針對新建廠初期即面臨廢硫酸濃度過高、雙氧水(Hydrogen peroxide)濃度過低之狀況，若採用現況...
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The key challenges of advanced packaging process in Zhunan_Recovery for phosphoric acid wastewater
先進封裝廠零排放技術鑰徑-磷酸廢水資源化
含磷酸之化學藥劑被大量應用於先進封裝製程，而針對此含磷廢水做的化混加藥處理所產生的高導廢水及大量鹽類廢棄物將為未來邁向零排的最重要挑戰之一，故本篇研究藉由電透析法及薄膜法純化磷酸後再利用熱蒸發法使磷酸達再利用濃度，...
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New Waste Sulfuric Acid Recycle System Development
新世代的廢硫酸回收處理系統開發
目前台積電各廠皆以鹽酸法去除廢硫酸中的雙氧水後回用於氨氮廢水處理等系統，本文針對既有鹽酸法所衍生之含氯物質(氯氣、氯離子)之腐蝕、殘留等問題作一探討和研究後，提出新的處理技術-硝酸法，並透過實驗室以及模廠兩種不同等...
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Development of a quality monitoring technique of low-pressure gases by applying the Optical Emission Spectroscopy(OES)
光譜分析儀應用於低壓氣體品質監測之技術開發
F15B廠務過去三年曾歷經了多次SiCl4氣體鋼瓶供應品質異常的狀況。每次事件都是發生在氣櫃切邊供應之後約莫20-60分鐘，線上機台反映測得N2不純物，今年在F18A與F...
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FAB6 UPW Degassing system retrofit-challenge and experience sharing
FAB6 純水脫氣系統架構升級-翻新挑戰與經驗分享
超純水系統在面對「如何達成系統穩定供應」的製程挑戰時，舊廠區首要面對的就是真空脫氣單元的翻新，在評比了早期設計的真空脫氣系統(VDG)以及新設廠區慣用的薄膜脫氣系統(MDG)的優缺點後，我們可以得知在晶圓廠的運轉需...
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Management of chemical supply backup system
化學品供酸系統備援機制管理
聯通管路長時間靜置於化學品中，伴隨著不純物析出等品質風險，因此為確保緊急開啟聯通管路供應時不造成品質的異常，本文藉ICPMS及 particle counter數據解析聯通管路內化學品品質，最終透過化學品的flus...
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The condensation investigation of the supply dispense system of dichlorosilane
二氯矽烷供應系統之冷凝現象探討
二氯矽烷(dichlorosilane, DCS)是由矽、氫及氯所組成，化學式為SiH2Cl2，為半導體相關產業使用之重要化學品。廠務DCS供應系統可分為兩大模式：氣櫃直...
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Challenges of Underground Hydrogen in the Semiconductor Industry
地下氫氣應用於半導體產業之挑戰
氫氣地下管之應用為未來半導體產業之趨勢，為了能夠提升工廠運轉穩定度，除了參考中油地下管設計及高雄氣爆案例，另外委託第三方社團法人進行地下管完整性評估並執行相關削減措施。為了提升工廠品質，制定氫氣不純物濃度標準及工廠...
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Advanced Process Cobalt Wastewater Treatment and Recycling Achievements
先進製程含鈷廢水處理及其資源化再利用成果
台積電新世代製程新增使用含鈷化學品及靶材，導致廢水鈷濃度提高，因鈷為國際癌症研究機構定義之致癌物，基於企業社會責任台積電以ICP-OES檢測偵測極限(2.3ppb)作為自主管理標準，本文主要呈現先進製程廠區含鈷廢水...
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Innovative management strategies for water systems in the new generation of manufacturing processes
新世代製程之水系統創新管理對策
本文累積過往新成廠經驗，水處理系統在這些過程中遇過許多挫折但也因這些經驗，逐步強化水處理系統防禦機制，發展出一套管理方法，面對快速成廠的過程中，面臨系統尚未完成建置，需逐步與設備協調其純水與化學品洗淨的總量管制，在...
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Practice of Biological Process Treatment in Organic Wastewater and Innovative Ideas
生物工藝處理TMAH廢水實踐分享與創新發想
隨著溫室效應的不斷增強，碳達峰、碳中和逐漸成為全球持續關注的話題，而作為半導體行業的領頭羊，公司也在踐行ESG理念，極大地鼓勵並逐步建成建立環境友好型生產處理產綫。在此基礎上，上海厰通過多種小試實驗，結合國內其他行...
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VOC introduces new technology and moves towards net zero emission of air pollution
VOC導入新技術_邁向空污淨零排放
沸石轉輪濃縮系統作為台機廠區的主要揮發性有機物（VOCs）防制設備，其中其吸附能力為處理效率之關鍵，然而高沸點VOCs會因脫附溫度不足進而隨時間殘留於沸石轉輪中，大部分廠區透過提升脫附溫度來改善此一現象，卻忽略材料...
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Improving the Removal Efficiency of Particulate Matters
固態污染物_去除效率精進改善
F15B 空污排放標準除須符合半導體製造業相關法規外，亦須符合環境影響評估法及科管局之核定總量。因 2021年產能增量 30%，推估硫酸、氫氟酸、鹽酸排放總量會超過環評及科管局限值。本研究於不影響產能之條件下，將現...
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