TSMC 廠務季刊

2016.9, Vol.23 / 技術專文

New Sterilization Technology - Composite Pulse and Plasma Sterilization Technology

生態保育水活化殺菌技術大進化 - 脈衝電漿殺菌技術

文 | 徐愷澤 | 中科廠務二部 |

為追求環境保護與生態保育之目標，科學園區管理局針對園區廠商制定嚴格之放流水排放標準，用以降低放流水生物急毒性（TUa）。水處理系統近年來新增氫氧化四甲基銨（TMAH）、氨氮（NH3-N）、廢硫酸（W-H2SO4）處...

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2016.9, Vol.23 / 技術專文

Withdraw Copper from Waste Copper Sulfate-Application of Annular Cylindrical Electrochemical Cells

液中求銅－製程廢硫酸銅回收裝置應用

文 | 連翊鈞 | 竹科廠務一部 |

硫酸銅（CuSO4）為LSI銅製程之重要原料之一，其製程（ECP）廢液濃度可達20 g/L以上，極具回收價值。現行因放流水質限制（竹科放流水銅檢出量需小於1ppm），本公司高濃度廢硫酸銅均採委...

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2016.9, Vol.23 / 技術專文

Study on New Type of UV in TOC Removal Capability and Operation Benefit in UPW System

新型紫外線裝置對超純水總有機碳去除效率探討及效益分析

文 | 楊文守 | 林京歐 | 南科廠務四部 |

近年來半導體技術不斷演進，元件線寬越來越精密，製程環境中微量污染物將影響產品良率，微量有機物之去除是穩定超純水水質、提升良率之關鍵。一般而言，UPW中有機物質常以總有機碳表示，而UV是UPW系統中去除TOC之關鍵角...

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2016.9, Vol.23 / 新象新知

Pressure Driven Flow for Netted Piping or Tubing

壓力驅動的網管流模擬

文 | 游添生 | 聯華氣體工業股份有限公司 | 詹益政 | 國立高雄海洋科技大學 |

常見流體在單管中的流動，在網管間的流動甚少提及。本研究以壓力、質量流率、比容及焓做為計算變數，並引入狀態方程式以計算非理想氣體的流動。以節點做為質量及能量守恆的條件，不需要有封閉回路或虛擬回路。由於園區氣體在管路中...

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銀筆獎

2016.6, Vol.22 / 技術專文

Exhaust Revolution - Innovatory Idea of Volatile Organic Compounds Reduction

排氣革命 - 揮發性有機物減量新思維

文 | 錢立行 | 陳庭鈞 | 竹科廠務一部 |

本文主要探討半導體廠排氣中揮發性有機物處理設備─沸石濃縮轉輪系統之設計改善，將脫附用載流氣體從入口高濃度廢氣變更為脫附後乾淨空氣，嘗試以新思維降低揮發性有機物排放量，並針對轉輪後確實殘留高沸點VOCs進行實證，供後...

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2016.6, Vol.22 / 技術專文

Development and Application of Energy Conversion Factors (ECFs) Calculator of Fab Facility Systems

廠務能源轉換係數計算器之研究發展及應用

文 | 蔡耀文 | 林廸 | 胡石政 | 國立台北科技大學能源與冷凍空調工程系 |

製程機台的耗能除了本身直接的電力需求外，尚需考量廠務系統之能耗，SEMI S23定義了能源轉換係數為提供單位製程設施使用量所需之耗電量，透過廠務「能源轉換係數」（Energy Conversion Factor, ...

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2016.6, Vol.22 / 技術專文

Micro Contamination Prevention -Application of IPA Reduction in F12P6 ECP Area

微污染防治 - 十二廠六期電化學電鍍製程環境異丙醇減量之應用與探討

文 | 趙世閔 | 李懷宇 | 周家祿 | 竹科廠務三部 |

隨著半導體製程快速演進，氣態分子汙染物(AMC)對於半導體廠的製程良率有顯著影響，異丙醇(IPA)為常見之溶劑，普遍用於機台清潔與製程內晶圓清洗，已有許多案例證實IPA對於電化學電鍍（ECP）製程之晶邊良率具有極大...

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2016.6, Vol.22 / 新象新知

New Design of VOCs Abatement System : Regenerative Thermal Oxidizer and Rotary Recuperative Thermal Oxidizer

揮發性有機物削減設備節能新設計：蓄熱焚化爐與旋轉閥式蓄熱焚化爐

文 | 陳駿華 | 新廠設計部 | 曹志明 | 十五廠六期新建工程專案 | 劉邦昱 | 華懋科技股份有限公司 |

目前公司廠內所使用的有機廢氣處理，採用沸石濃縮後再以高熱進行焚化，並且利用熱回收，將燃燒後的廢熱透過熱交換提高燃燒前的廢氣溫度；而隨著節能的目標不斷提升，燃燒所消耗的燃料量也漸漸受到重視，以熱再生技術取代熱回收技術...

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2016.3, Vol.21 / 技術專文

Introduction of Simulation Technology Development for Electrical System

電力系統模擬器的開發技術介紹

文 | 賴意中 | 300mm Fabs廠務處 | 黃柏賓 | ABB艾波比股份有限公司 |

本文說明如何透過軟體開發一個全廠規模的電力系統模擬器，從現況分析到系統架構逐步拆解，利用原生的電力監控程式語言，打造出擬真的虛擬電力系統操作平台，進而提供運轉人員在沒有風險的情況下，進行各項的操作模擬訓練，模擬器規...

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2016.3, Vol.21 / 技術專文

Semiconductor Factory Power System Transient Surge Defense and Protection

半導體廠電力系統尖波分析與防治

文 | 李豐裕 | 南科廠務三部 |

本文主旨在說明電力系統因為雷擊、斷路器開關、電力電子元件切換、共振等因素所產生的雜訊對電力系統正弦波所造成的畸變，以及這些雜訊對系統上的各類電氣設備可能產生的影響。介紹針對這些異常雜訊，建立量測與預防機制，及提供改...

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2016.3, Vol.21 / 新象新知

Energy Management – Energy Baseline and Big Data Application

能源管理 - 能源基線與大數據應用

文 | 徐千又 | 中科廠務一部 | 吳哲仁 | 新鼎系統股份有限公司 |

節能減碳已是全球性的議題，能源管理更是所有產業刻不容緩的工作，本文主要是介紹以大數據手法建構智動化能源管理系統來有效能源預測與能源使用的管控，透過能源基線的建立得到與各種變因相關的真實能耗資訊，提供精確的能源管理。...

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2015.12, Vol.20 / 技術專文

Applying the CO2 Sensors to HVAC System of Intelligent Office Buildings

智慧辦公建築空調系統之二氧化碳感測器應用探討

文 | 梁健政 | 公共設施服務部 |

本文介紹台積辦公建築的設備自動化管理系統（Building Automation System, BAS）於空調系統部份利用資通訊技術(Information and Communication Technolog...

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2015.12, Vol.20 / 技術專文

The Application and Development Roadmap of TSMC Building Automation System for Intelligent Building

台積電辦公室自動化監控系統於智慧建築之應用及未來發展藍圖

文 | 林志勇 | 公共設施服務部 |

智慧建築（Intelligent Building），主要訴求為建立一個安全、健康、便利、舒適、節能、永續的現代化建築。一般可藉由建築物自動化系統(Building Automation, BA)及其它相關設備輔助...

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2015.9, Vol.19 / 技術專文

lectrical ExplosionPrevention Guidelines and Practice

電氣防爆規範與實務

文 | 徐永政 | 廠務品質管理部 |

本文介紹防爆危險場所之防爆設備安裝、選用規則，以及新建廠之防爆設備規劃。依新建廠防爆區之危險區域劃分結果，大部分區域危險等級劃分為Zone 2，有少部分區域劃分為Zone 1（易燃液體供應區/儲存區之集液井溝）及Z...

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2015.9, Vol.19 / 技術專文

Systematic Removal of Wooden Template - Wooden Template Removal with Platforms to Enhance Efficiency and Safety

木模板拆除系統化 - 研究以平台式拆除木模板提升效率及工安

文 | 李宗軒 | 新廠工程管理部 |

傳統木模板拆除其工率及安全上有賴豐富經驗之師傅，然而國內技術工人有老化趨勢以及技術傳承斷層的問題，如何提高施工效率與安全之作業環境，便形成新建廠專案管理重要課題。本文透過木模板拆除載具比對試驗，並參考無塵室平台施工...

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2015.6, Vol.18 / 技術專文

300mm Fab Hazardous Area Planning and Design Guideline and Future Challenge

防爆電氣規劃設計指引與未來挑戰

文 | 許家榮 | 新廠設計部 |

本文透過整理相關國內外防爆電氣規範、參考內部及保險公司規定與防爆電氣區劃量化計算結果，擬定300mm Fab防爆電氣規劃設計指引流程提供設計者與使用者參考。...

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