TSMC 廠務季刊

2013.6, Vol.10 / 技術專文

Performance-based Design of Smoke Removal in Cleanroom

無塵室性能式煙控設計

文 | 邱民昇 | 新廠設計部 |

無塵室內性能式煙控設計，係整合環境特性、氣流控制系統與排煙系統而成的煙控系統；以高程差環境建構出蓄煙井，調節氣流建構壓差環境，再配合終端之排煙設備將煙塵排至室外，達到煙控目的。性能式煙控經過驗證後，即可突破消防規章...

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2013.6, Vol.10 / 技術專文

On-Site Fluorine Generator - a Low-cost and High-productivity Green Approach

低成本與高生產力的綠色製程 - 現場製氟技術

文 | 黃介然 | 新廠設計部 |

氟氣(F2) 已在半導體工業中廣泛使用多年，主要應用於製程設備反應腔室(Chamber) 的清潔，由於氟自由基(Radical) 可與沉積的薄膜(Si, SiO2, Si...

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2013.6, Vol.10 / 技術專文

UPW Future Trend: Functional Water

機能水的應用

本文主要介紹目前及未來機台超純水可能使用的走向，機能水的應用及原理，機能水可增加去除效率及減少化學品的耗量，如O3 +DIW，去除有機物(取代SPM功能)，CO2+DIW，防止帶電，增加微粒子去除效率&hellip...

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2013.6, Vol.10 / 技術專文

Explosion Simulation of Hydrogen Released from the Massive EPI Processes

大量EPI製程氫氣洩漏爆炸後果模擬分析

文 | 洪文當 | 工程品質暨安全管理部 | 黃建彰 | 財團法人安全衛生技術中心 |

EPI 製程使用大量氫氣已經在國內外造成一些事故，因為製程需求，新建廠需規劃大量EPI機台，新工處與財團法人安全衛生技術中心共同合作，希望針對製程設備以定性及定量方式進行風險評估。此外，以CFD電腦模擬方式定性模擬...

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2013.6, Vol.10 / 技術專文

Advanced Chemical and Slurry Supply with Particle Control

先進半導體廠化學品供應系統及微粒子控制

文 | 徐銘宗 | 新廠設計部 | 江宜蓁 | 十二B 廠廠務工程專案 | 謝欣容 | 十二B 廠廠務工程專案 |

本文將討論半導體廠化學品及化學研磨液供應系統微粒子控制的設計和改進的方向以及未來的晶圓廠化學品及化學研磨液供應系統新挑戰。其次，研究化學研磨液顆粒大小和穩定性，以管理研磨液使用時間、減少缺陷，特別是大顆粒粒子（LP...

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2013.6, Vol.10 / 新象新知

Graphene: the future Material for Semiconductor

未來的半導體材料：石墨烯

文 | 于淳 | 廠務技術發展專案 |

當今和未來半導體廠是以矽晶圓來生產行動通訊和智慧手機所需的元件為主，但隨著產品對傳輸速度和省能要求日益提高，根據目前的研究擁有極佳的導電導熱和電子遷移率的碳基二維石墨烯材料，可望在未來半導體製程中取代以矽基為主的半...

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2013.6, Vol.10 / 新象新知

Biomimetics─ Self-cleaning of AAS Fan

仿生科技 - 製程排氣處理風扇自潔技術

文 | 陳政安 | 新廠設計部 | 錢立行 | 十二廠廠務一部 |

仿生學，一種透過觀察、研究、學習之後，將自然界中生物的各種特殊本領，包括生物本身的特殊結構、原理、行為，甚至是各種器官功能、體內的物理和化學過程、能量的供給、記憶與傳遞等應用於人類的科學技術，提供新的設計概念的技術...

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2013.6, Vol.10 / 新象新知

DCS Electronic Marshalling for Semiconductor

DCS設計躍進 - 電子錯線

文 | 李文振 | 新廠設計部 |

程控系統近來為了滿足客戶的需求，發展出一種創新的電子佈線技術(Electronic Marshalling Technology)，此技術簡化了現場設備與自動化控制系統間繁瑣的工程規劃工作、增加系統變更及擴充彈性並...

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2013.3, Vol.09 / 技術專文

Site and Building Planning

廠區廠房規劃

文 | 范恩祖 | 沈建宏 | 新廠規劃部 |

基地計畫是建廠規劃的第一步，一個好的廠區規劃設計不僅直接影響建廠時程與成本，更攸關未來工廠運轉的順利與否。近幾年隨著公司產能擴充的腳步加快，在竹科圖一、中科圖二...

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2013.3, Vol.09 / 技術專文

Performance-based Design and Safety Monitoring of Hi-Tech Fabs

科技廠房之性能設計與安全監測

文 | 王彥博 | 國立交通大學土木工程系 |

本文主要探討科技廠房的震害原因，提出科技廠房耐震設計的策略，並介紹結構健康監測的概念與願景，盼能將這些具有實用價值的研究成果從state-of-the-art 推向state-of-the-practice之境界，...

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2013.3, Vol.09 / 技術專文

Introduction of Front End Engineering Design (FEED)

前端工程設計之概念與應用

文 | 吳瑛期 | 新廠規劃部 |

針對一個設計專案，為了找出整個系統規劃所能達到的最大可能性，不管是建築面積的增加、配置的最佳化，或是成本的降低與系統的耗量降低等等，能否以目標為導向，並有效整合規劃與設計二階段的流程，一直以來，都是專案的重點。前端...

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2013.3, Vol.09 / 技術專文

Gas Yard Planning

氣體場設置規劃

文 | 洪舜立 | 新廠規劃部 |

對建廠而言，通常是優先規劃好生產工廠(FAB)、中央廠務工廠(CUP)及辦公大樓(Office Building)等建築物位置後，才開始著眼於氣體場選址，所以氣體場的規劃須在有限的場地選擇條件下做最佳化的利用。本文...

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2013.3, Vol.09 / 技術專文

Office Planning

辦公室規劃

文 | 賴敏政 | 新廠規劃部 |

辦公室規劃的複雜程度與使用人數的多寡最為直接，如何將複雜的使用行為，透過空間計畫程序及方法，進而提供一個健康舒適的環境，提高工作與溝通效率，增進辦公社區的服務品質，是本文介紹的重點。...

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2013.3, Vol.09 / 技術專文

Capital Expenditure Forecast in Fab Construction

新建廠資本支出的預估

文 | 陳亭蓁 | 新廠規劃部 |

本文探討新建廠其工程進度與資本支出的關係，輔以實際案例進行應用說明與討論。目的在於了解專案里程碑的資本支出百分比，作為未來估算新建廠的資本支出的基礎。...

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2013.3, Vol.09 / 技術專文

BOM Practice in Cost Estimation

BOM在新建廠成本估算的應用

文 | 陳椀煜 | 新廠規劃部 |

近年來由於消費市場瞬息萬變且電子產品的生命週期越來越短，各大廠皆以縮短產品生產時間及降低成本為目標。建廠專案也因上述需求必須對工程進度及成本控制進行調整，以期能以最少的成本及最短的時間完成新廠的建置。...

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2013.3, Vol.09 / 技術專文

Steel Quantity Calculation Program for ETABS® 3D Model

ETABS結構模型鋼構數量精算程式

文 | 栗正暐 | 群策工程顧問公司 |

本文提出新的鋼結構數量計算軟體工具，可以在短時間內直接以鋼結構設計軟體ETABS結構模型為原始資料庫，計算主體鋼結構數量與雜項鋼構數量，包含:小斜撐、螺栓、剪力釘、橫隔板、加勁板、剪力連結板、斜撐連接板、柱底板&h...

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