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2023.06, Vol.50 / 技術專文
The Analysis of Emergency Generator Diesel Engine Overheating Problem and The Improvement of Radiator Heat Exchange Efficiency
發電機限電運轉柴油機過熱問題與散熱器熱交換效率改善探討
文 | 鍾旭成 | 新竹廠務一部 |
近年來台灣區域性限電(Power Rationing)頻率升高，許多用電大戶積極配合台電公司啟動廠內緊急發電機(Emergency Generator)進行發電，協助台電分擔電網負荷，渡過電力危急時刻。因此在各用電大戶的...

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點閱 (43)
2022.3, Vol.45 / 技術專文
The accuracy and application of Online IC in Stack monitoring
煙道酸鹼連續監測(Online IC)精確度提升改善及其應用
文 | 溫閎元 | 亞太廠務處 | 錢立行 | 新竹廠務四部 | 趙世閔 | 新竹廠務四部 |
於廠務運轉，各項污染物減量改善也隨之展開，如酸槽機台IPA(異丙醇)源頭改善及排放減量，煙道不透光率及F2(氟氣)異味改善。在這些項目執行過程中，選擇以何種方式量測污染物及驗證改善成效更是重中...

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2021.12, Vol.44 / 技術專文
Application of valve abnormally detected in gas cabinet
氣櫃閥件異常偵測應用
文 | 陳彥儒 | 孫愛迪 | 謝銘忠 | 台中廠務二部 |
特殊氣體供應系統(Special gas supply system, SGS)的穩定供應源自於氣櫃(Gas cabinet, GC)的落實管理，想要有效的管理氣櫃就必須了解氣櫃的操作流程及氣櫃PLC的控制邏輯。亞...

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點閱 (43)
2021.9, Vol.43 / 技術專文
FMCS Development Plan for Stable Operation and Advance Deployment
邁向穩定運轉之FMCS發展計劃
文 | 劉佳芳 | 新竹廠務處 | 王明富 | 台中廠務處 | 陳民凱 | 台南廠務處 | 邱宇萱 | 新竹廠務處 |
全世界的智慧化的發展如第五代通訊系統、物聯網系統、去中心化區塊鍊系統、自動駕駛汽車、人工智慧及未來線上與線下串聯的元宇宙的發展趨勢，台積電所產生的晶片為以上系統的基礎建設，所以台積電的規模隨著智慧化與高速運算發展不...

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2020.9, Vol.39 / 技術專文
Intelligent monitoring Method in AMC is applied to Litho Lens for early pollution prevention and filter efficiency detection mechanism
AMC智能監控應用於黃光Lens早期汙染預警防護及濾網效率檢測機制
文 | 蕭睿呈 | 南科廠務1廠務一部 |
半導體產業按照摩爾定律蓬勃發展，對於無塵室內的溫溼度、氣態分子汙染物等生產環境品質的控管越趨嚴格，影響著製程區域產品良率。廠務端以自動分析儀器對環境進行AMC定點監控已成為各廠標準模式，並輔以人力至現場巡檢。本篇為加強黃...

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2020.8, Vol.38 / 技術專文
Facility Systems Operation Stability–System Reliability Management
廠務系統穩定運轉–可靠度管理
文 | 劉聖元 | 中科儀控系統課 |
廠務系統為穩定運轉，而設計為熱備援模式穩定供應，廠務系統除了要求各個設備穩定運轉外，也要求即時運轉在熱備援模式，以避免任何一項設備問題停機而影響整體系統穩定供應；為了能夠即時偵測系統是否符合熱備援穩定運轉需求，因此系統可...

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2020.8, Vol.38 / 技術專文
Facility Systems Operation Stability–System Alarm Management
廠務系統穩定運轉–警報管理
文 | 王明富 | 劉聖元 | 中科儀控系統課 |
警報管理為廠務運轉的基石，如何建構完整度100%整合系統架構沒有遺漏?如何智能區別為真實警報或是維修、保養及測試警報?系統發生警報泛洪(Alarm Flooding)時，值班該如何面對?如何讓警報轉化為事件?需要智能自動...

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2020.8, Vol.38 / 技術專文
Facility Systems Operation Stability–Consumption Management
廠務系統穩定運轉–桶槽用量管理
文 | 林威志 | 中科儀控系統課 |
隨著半導體製程的演進，製程所需的化學品用量也隨之大增，造成原物料與廢液的產出也大增，因此物料用量的管理與廢液清理的管理便成為一個重要的課題；廠務系統係Central供應Fab使用，如何確保製程所需的化學品能供應無虞並且產...

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2019.9, Vol.35 / 新象新知
Acid/alkaline On-line and Realtime Monitoring System of Stack Emissions
煙道酸鹼即時連續監測系統研究
文 | 康智翔 | 錢立行 | 竹科廠務三部 |
於廠務運轉層面，各項空氣污染物減量改善對策已展開並如火如荼的進行，如酸槽機台異丙醇(IPA)源頭改善及排放減量，煙道不透光率改善及氟氣(F2)異味改善也都已有成效。在這些改善項目執行過程中，選...

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2019.06, Vol.34 / 技術專文
On-line Monitoring and Early Detection of Coil Windings Ratio for Cast Resin Transformers
模鑄式變壓器線圈匝比的線上監控與早期預警機制
文 | 廖日能 | 黃金龍 | 中科廠務一部 |
高科技半導體廠電力系統中模鑄式變壓器容量常達數千伏安(kVA)，當發生故障時必影響大量設備用電，對生產端造成嚴重衝擊，甚者，恐有人員安全之虞，故瞭解模鑄式變壓器的故障型態並設法提出預防機制甚為重要。本文針對模鑄式變...

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2019.06, Vol.34 / 技術專文
Distributed Optical Fiber Sensing Temperature On-Line Monitoring and Locate Fault for Power Cable
分散式光纖電力電纜溫度即時監測及故障預警測距系統
文 | 鍾易璋 | 竹科廠務三部 |
透過電力電纜監測技術的原理概況，探討傳統測溫方法與即時光纖測溫技術的優劣，得知光纖測溫系統在電力電纜應用中的先進性和優越性，進一步研究拉曼散射的原理以及光時域反射技術闡述光纖測溫系統的基本原理以及應用的可行性。本文...

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2019.06, Vol.34 / 技術專文
On-line Monitoring and Early Detection of Voltage Offset for Uninterruptible Power System
不斷電系統電壓參數偏移預警診斷
文 | 王儒安 | 竹科廠務三部 |
為確保晶圓生產之機台不受電力系統供電品質影響，晶圓廠內大量使用不斷電系統(UPS)來維持供電品質，為防止電力系統跳電、突波、高頻干擾、電壓浮動或不預警停電，造成資料流失或產品損壞，生產中斷產生巨額的金錢流失，提供一...

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金筆獎入圍
2018.12, Vol.32 / 技術專文
Risk Control for Preventive Maintenance Work of Equipment Engineer in Semiconductor Manufacturing Plants
半導體廠區員工維修保養作業暴露風險管控
文 | 林崇瑋 | 何薇如 | 十五A廠工安環保部 |
以傳統勞委會公告之作業環境監測方法進行半導體作業人員化學品暴露評估，結果多為未檢出，且無法得知污染物即時暴露實態及作業過程危害因子。為釐清人員暴露及機台維修保養可能產生副產物，必須有不同採樣分析策略。本文運用不同類...

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2018.12, Vol.32 / 技術專文
The Discussion of Arsenic Compounds Measurement in Exhaust of Local Scrubber
砷尾氣處理設備量測方法探討
文 | 顏雅琳 | 六廠工安環保部 | 陳怡兆 | 六廠廠務部 |
砷化氫為半導體業製程氣體，具有毒性及致癌性，反應殘氣由機台排出後，進入吸附式尾氣處理設備處理，去除效率則以砷化氫偵測器確認，經過處理的尾氣會再經過中央濕式洗滌塔後由煙囪排出。處理過程中，部分砷化氫轉化為固態砷化物，...

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2018.12, Vol.32 / 新象新知
The Challenge and Coping Strategies of Hazardous Chemical Exposure Assessment and Control Banding in High-tech Industries
高科技業危害性化學品暴露評估及分級管理制度面臨之挑戰與因應策略
文 | 蔡朋枝 | 國立成功大學醫學院工業衛生學科暨環境醫學研究所 |
高科技產業先進製程繁複且變化快速、使用化學物質多，其中並非所有危害性化學品皆具容許濃度標準，而具容許濃度也有可能無建議採樣方法，且環測數據多為未檢出，因而在技術、經費與人力需求上，無法單純使用作業環境監測來解決。如...

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2018.9, Vol.31 / 技術專文
Application of Near Infrared in the Detection of Slurry
談近紅外線光譜於研磨液檢測之應用
文 | 許紹鵬 | 南科廠務二部 |
目前研磨液供應系統的線上雙氧水濃度儀使用氧化還原滴定分析法，單筆分析時間長，在運轉維護上需消耗人、物力且分析過程產生的廢液也會造成環境衝擊；此外，傳統研磨液品質分析量測項目，已無法滿足線上晶圓生產品質需求。本文研究...

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