TSMC 廠務季刊

2023.12, Vol.52 / 技術專文

Improving reclamation efficiency of Waste Piranha Solution

高濃廢硫酸再利用創新改良-廢硫酸稀釋法實務應用

文 | 林冠宇 | 新竹廠務八部 | 王建翔 | 新竹廠務八部 | 陳宜樂 | 先進封裝廠務一部 |

廢硫酸回收系統(Waste Sulfuric acid recycling system)有其運轉規範要求，針對新建廠初期即面臨廢硫酸濃度過高、雙氧水(Hydrogen peroxide)濃度過低之狀況，若採用現況...

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2023.09, Vol.51 / 技術專文

Nitrogen oxide reduction strategies in advanced fabs

先進廠區氮氧化物減量策略

文 | 羅英秦 | 新廠設計部 | 黃信瑋 | 台南廠務六部 |

半導體在製造晶圓的過程中，經常使用大量的「全氟烷化合物」(Perfluorinated compounds, PFCs)，防治設備處理這類型污染物通常是利用高溫裂解使其與氫與氧離子(H+、O...

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2022.12, Vol.48 / 技術專文

Source management and reduction of Wastewater Management Indicator "Acetone" in Advanced Process Plants

先進製程廠區污水納管指標「丙酮」之源頭管理與減量對策

文 | 林雋凱 | 新竹廠務六部 | 洪士超 | 新竹廠務六部 | 吳貴弘 | 新竹廠務四部 |

自2021年5月21日起科管局將放流丙酮列為管制項目(<5mg/L)，並將其劃分為三個級距徵收污水費，其中廠區因製程原料廢水中異丙醇(晶圓乾燥使用)與氧化劑(雙氧水居多，作為晶圓清洗使用)反應產生丙酮，導致放流水丙...

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2022.12, Vol.48 / 技術專文

Bio-ACF(BAC)'s technology applied decreasing TMAH of the effluent water

Bio-ACF(BAC)技術應用於廢水TMAH濃度減量之機制與研究

文 | 郭適瑜 | 林昱廷 | 蔡億茂 | 台南廠務五部 |

因全球半導體與光電業蓬勃發展，大量使用氫氧化四甲基胺(TMAH)顯影劑。本文中提到傳統樹脂可以有效吸附高濃度TMAH，但對於低濃度TMAH處理效益低，導致放流水TMAH雖符合園區納管標準卻未達ESG排放目標(<1m...

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2021.12, Vol.44 / 技術專文

Optimization Of Waste H2SO4 Decrease H2O2 System

廢硫酸去除雙氧水系統最佳化探討

文 | 曾治寰 | 郭中閔 | 劉柏青 | 台南廠務三部 |

本文以「最佳化探討」(Optimization)廢硫酸去除雙氧水系統，針對廢硫酸(W-H2SO4)去除雙氧水(H2O2)回收系...

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2021.9, Vol.43 / 技術專文

The Planning, Design, and Strategies

for Tai-Chung Zero Waste Manufacturing Center

文 | 張瑄 | 台中廠務處 |

To overcome the challenges of climate changes, limited resources, and population growth, TSMC has committed co...

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2020.12, Vol.40 / 技術專文

Challenges and Strategies for the Biological Acute Toxicity of Effluents to Daphnia

放流水生物急毒性悠活水蚤的挑戰與對策

文 | 吳旻學 | 中科廠務二部 |

現況廠內放流水之H2O2經由過氧化氫酶(Catalase)酵素的降解後，已使得脊椎生物TUa<1.43(Toxicity Unit Acute, TUa)之機率大幅提高，...

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2018.12, Vol.32 / 技術專文

Safety Design for the System to Remove Hydrogen Peroxide from Waste Sulfuric Acid

廢硫酸去除雙氧水系統安全防護提升

文 | 呂欣 | 十四B廠工安衛生部 | 劉明翰 | 十四B廠工安衛生部 | 唐祺夏 | 十八廠 | 劉柏青 | 南科廠務五部 | 蕭千城 | 南科廠務五部 | 吳厚萱 | 中科廠務五部 |

本文以危害與可操作性分析(HAZOP)及收集13個廠區運轉經驗，評估廢硫酸 (W-H2SO4) 去除雙氧水 (H2O2) 回收...

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2018.9, Vol.31 / 技術專文

Application of Near Infrared in the Detection of Slurry

談近紅外線光譜於研磨液檢測之應用

文 | 許紹鵬 | 南科廠務二部 |

目前研磨液供應系統的線上雙氧水濃度儀使用氧化還原滴定分析法，單筆分析時間長，在運轉維護上需消耗人、物力且分析過程產生的廢液也會造成環境衝擊；此外，傳統研磨液品質分析量測項目，已無法滿足線上晶圓生產品質需求。本文研究...

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金筆獎入圍

2016.6, Vol.22 / 新象新知

Local Scrubber Enhancement─ UV Technology Application in N2O Reduction

廢氣處理設備大突破 - 紫外光技術應用於氧化亞氮減量

文 | 吳怡君 | 中科廠務一部 |

2015年12月聯合國COP21巴黎協定，通過限制全球升溫不超過攝氏2度的目標，各國政府紛紛提出國家自定減碳計畫，面對日益嚴格之溫室氣體減量管制趨勢，為達到廠區自我要求改善目標，本文以目前台積電僅次於PFCs第二大...

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2015.12, Vol.20 / 技術專文

Applying the CO2 Sensors to HVAC System of Intelligent Office Buildings

智慧辦公建築空調系統之二氧化碳感測器應用探討

文 | 梁健政 | 公共設施服務部 |

本文介紹台積辦公建築的設備自動化管理系統（Building Automation System, BAS）於空調系統部份利用資通訊技術(Information and Communication Technolog...

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2014.9, Vol.15 / 新象新知

Applications of Nanotechnology on Carbon Dioxide Capture and Sequestration

奈米科技應用於二氧化碳捕集與封存技術

文 | 劉雅瑄 | 國立台灣大學 |

世界各國由制度、法規及經濟層面著手控制人類工業活動過程中排放的二氧化碳，除了替代能源的開發，二氧化碳捕集與封存(Carbon Dioxide Capture and Sequestration, CCS)在世界各國...

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2014.6, Vol.14 / 技術專文

New Technology for Ammonia Recycling from Wastewater

創新氨氮廢水資源化

文 | 李玫 | 新廠設計部 | 傅正貴 | 十四廠七期專案 | 王俊元 | 十四B廠廠務一部 |

半導體事業所排放的廢水常含有高濃度的氨氮與雙氧水，具有高污染濃度、高生物毒性等特性，依新制之放流水標準，對於氨氮廢水的處理是刻不容緩的。本文介紹以脫氣膜(MD)的處理方式，將廢水中的氨氮轉換為硫酸銨廢液，企圖將廢水...

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2014.6, Vol.14 / 新象新知

Inhibition Of Copper Corrosion By Removal Of H2O2 From CO2-Dissolved Water Using Palladium Catalysts

鈀(Pd)觸媒於超純水中去除雙氧水以抑制銅腐蝕之應用

超純水系統因紫外光的照射會導致內含有10～40μg/L的雙氧水，另雙氧水處於超純水酸性環境中會加速銅腐蝕的行為。目前發現藉由鈀觸媒陰離子樹脂(Palladium-loaded monolithic anion...

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