TSMC 廠務季刊

2023.09, Vol.51 / 技術專文

Development and research on monitoring technology of arsenic-containing waste gas in Nanjing Factory

南京廠含砷廢氣的監管技術的發展與研究

文 | 張波 | 南京廠務部 |

含砷廢氣作為劇毒性氣體，在大陸環保管制被從嚴要求，監管手段除了常規的煙囪出口量測，更趨向于源頭管控。本文因應法規要求，於前端現址式處理裝置出口設置單獨風管收集，並設立標準檢測口進行標準化採樣檢測，在廢氣進入主管段之...

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2022.9, Vol.47 / 技術專文

Lubrication Improvement for Electric Motor Bearing and Investigation of Predictive Maintenance by Ultrasound Detection.

馬達軸承潤滑改善與超音波預知保養手法探討源分析

文 | 林煒喆 | 林成彥 | 陳博政 | 台南廠務四部 |

馬達故障原因中，軸承故障佔41%，大部分為潤滑不良造成。潤滑失效中最主要因素為潤滑不足，造成介面間直接摩擦而磨損。然而潤滑不足導致的因素卻不只是油加的不夠，反而過度注油也會間接造成潤滑不足與其他不良影響。 ...

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2022.6, Vol.46 / 技術專文

Safety management of UPS battery discharge based on Easy Capacity Test

UPS電池內循環放電作業安全管理

文 | 温承叡 | 王俊仁 | 新竹廠務處 |

近年來不斷電系統(Uninterrupted Power System, UPS)已被廣泛使用，當電力系統異常時，需透過電池放電即時提供能量。為維持UPS運轉妥善率，需針對電池進行例行性放電檢測，傳統檢測手法為將電池串接...

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2022.3, Vol.45 / 技術專文

Exploration and Application of Autonomous air pollution detection in Nanjing Factory

南京廠空污自主檢測的探索與應用

文 | 張波 | 南京廠務部 |

環境問題已然成為當今全球最重視的話題之一，隨著半導體行業的飛速發展，人們也越來越重視該行業廢氣排放的研究與改善，但受限於在綫監測儀器的分佈率及成本，實驗手動檢測仍然是空污改善最常用的量測手段。因此南京厰建立廠內空污檢測實...

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2021.12, Vol.44 / 技術專文

Nondestructive-Inspection by Using Electromagnetic Acoustic Transducer for pipe inspection

非破壞性檢測-應用電磁超音波探傷儀檢測管路腐蝕狀況

文 | 吳以壯 | 新竹廠務一部 |

隨著廠區翻新工程如火如荼進行，其中針對金屬管路以除鏽並重新油漆的方式，讓原本望過去有著鏽斑的管路煥然一新。然而實際施作時卻面臨了另一個問題，將管路表面生鏽去除、打磨後開始出現滲漏的狀況，因管路內部、焊道已有砂孔，或...

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2018.12, Vol.32 / 技術專文

The Discussion of Arsenic Compounds Measurement in Exhaust of Local Scrubber

砷尾氣處理設備量測方法探討

文 | 顏雅琳 | 六廠工安環保部 | 陳怡兆 | 六廠廠務部 |

砷化氫為半導體業製程氣體，具有毒性及致癌性，反應殘氣由機台排出後，進入吸附式尾氣處理設備處理，去除效率則以砷化氫偵測器確認，經過處理的尾氣會再經過中央濕式洗滌塔後由煙囪排出。處理過程中，部分砷化氫轉化為固態砷化物，...

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2017.12, Vol.28 / 技術專文

New Fab Earth Anchor with Grid Design Construction and Quality Management

新建廠格樑地錨設計施作與品質驗證

文 | 黃煒添 | 新廠工程管理部 | 蔡佳宏 | 潘冀聯合建築師事務所 |

中科擴建廠區以「格樑預力地錨」作為邊坡擋土防護設施(台積電首次採用)，此工法廣泛用於台灣地區邊坡防護工程，其優點為造價合理、工期較短且可做整體景觀綠化。本案從設計初期地質資料收集、擋土地錨設計、設計驗證(電腦軟體模...

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2017.6, Vol.26 / 技術專文

On-line IC Monitor System for AAS Chimney

煙囪連續監測系統技術探討

文 | 吳博哲 | 中科廠務一部 | 吳曜安 | 中科廠務三部 |

本文主要說明煙囪連續監測採樣系統的建構緣由及目的，探討此系統與手動採樣方法的優缺點，並與檢測公司使用之標準手法做比較。初步結果顯示由連續監測結果可發現，無機酸及氨隨時間的進行有明顯的變動，可見本採樣系統能及時的反應...

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2017.3, Vol.25 / 技術專文

UPS Battery On-line Short Time Discharge Test and Lifetime Expectancy

不斷電系統電池活線放電檢測與壽命預估

文 | 呂家宏 | 竹科廠務二部 | 莊志忠 | 鴻準科技股份有限公司 |

半導體製造廠為確保維持穩定的電力供應，通常使用大量不斷電系統(Uninterruptible Power System，UPS) ，而不斷電系統需使用數量極多鉛酸電池作為備用電力來源。為確保停電時鉛酸電池的放電能力...

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2015.6, Vol.18 / 技術專文

Ultrapure Water Inspection Method for 10 nm

利用掃描式電子顯微鏡之超純水中的10奈米微粒子檢測技術

文 | 呂佩真 | 新廠設計部 | 趙樹華 | 新廠設計部 | 市原史貴 | 奧璐佳瑙科技股份有限公司 |

近年，隨著半導體裝置/元件(Device)的高度積體化，促使製造技術的細微加工化發展，線寬變得越來越狹窄。半導體製造領域的超純水，必須提供高純度的水質，特別是直接影響良率的微粒子(Particle)，其粒徑與濃度都...

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2015.6, Vol.18 / 技術專文

LPC(Large Particle Count) Control

STI 化學機械研磨液之微粒子數量控制

文 | 江宜蓁 | 陳怡蒼 | 曾誌江 | 新廠設計部 |

隨著半導體製程緊湊步伐的演進，化學機械研磨(Chemical-Mechanical Planarization, CMP)，將面臨許多技術瓶頸，刮傷缺陷(scratch defect)即為一例，本文將介紹如何在化學...

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金筆獎

2014.9, Vol.15 / 技術專文

Application of Non-destructive Detection for Building Construction

非破壞性檢測在土建工程的應用

文 | 宋思賢 | 新廠營建部 | 張嘉峰 | 財團法人臺灣營建研究院 |

現今對於混凝土強度之評估仍是採用圓柱試體的抗壓試驗結果為依據，然而圓柱試體的強度在標準製作程序與良好養護條件下，品質通常較現場澆置之結構體為佳，因此無法反應出現場施工方法對混凝土品質之影響；為此，本文透過反彈錘與...

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2013.6, Vol.10 / 技術專文

Nanoparticle Contaminants Measuring and Source Tracking Syst

奈米粒子捕捉技術介紹

文 | 郭啟文 | 廠務技術發展專案 |

A new nanoparticle detecting and tracking system has been proposed to measure nanoparticle contamination an...

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