Treat Wastewater by Wastewater! Treatment of IPA and COD Wastewater by UV/AWD H2O2 Process
廢水處理廢水！以紫外光結合雙氧水 廢水程序處理異丙醇與化學需氧量廢水
金筆獎入圍
Risk Control for Preventive Maintenance Work of Equipment Engineer in Semiconductor Manufacturing Plants
半導體廠區員工維修保養作業暴露風險管控
以傳統勞委會公告之作業環境監測方法進行半導體作業人員化學品暴露評估，結果多為未檢出，且無法得知污染物即時暴露實態及作業過程危害因子。為釐清人員暴露及機台維修保養可能產生副產物，必須有不同採樣分析策略。本文運用不同類...
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Intelligent Learning Algorithm in Fluorine Emissions Warning Mechanism of Local Scrubber
應用智能學習演算法建立製程尾氣處理設備氟氣排放預警機制
台積電空氣污染防制設計採用「源頭分類、多段式處理」做法，除了依國家法規設置中央式空氣處理設備(CSC)外，同時更針對不同製程氣體特性增設高效率現址式空氣處理設備(LSC)，使排入大氣的污染物含量符合或優於政府規定。...
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Challenges and Strategies of Air Pollutants Emission Reduction in R&D Fab
研發廠空氣污染物排放減量之挑戰與策略
空氣污染問題已成為人們日常討論的議題，統計陳情案件，以高科技廠較為集中的新竹科學園區周圍空氣污染問題最多，而空污的來源大多數由未經適當處理的污染物經由煙囪排出。面對民眾生活環境及複雜製程所使用的化學物質，操作者應思...
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The Discussion of Arsenic Compounds Measurement in Exhaust of Local Scrubber
砷尾氣處理設備量測方法探討
砷化氫為半導體業製程氣體，具有毒性及致癌性，反應殘氣由機台排出後，進入吸附式尾氣處理設備處理，去除效率則以砷化氫偵測器確認，經過處理的尾氣會再經過中央濕式洗滌塔後由煙囪排出。處理過程中，部分砷化氫轉化為固態砷化物，...
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A Case Study on Improvement to Mixed Acid Exhaust System for New Process Tools
先進製程酸性排氣混排改善對策探討
隨著公司近年來陸續進入先進製程，使用的氣體及化學品種類變得更多，生產過程也變得更複雜，衍生出排氣煙道中有混排及白煙問題，顯示既有系統已無法完全妥善且有效的處理製程廢氣。本文使用半定量及定量儀器進行採樣，鑑別出酸性排...
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Safety Design for the System to Remove Hydrogen Peroxide from Waste Sulfuric Acid
廢硫酸去除雙氧水系統 安全防護提升
本文以危害與可操作性分析(HAZOP)及收集13個廠區運轉經驗，評估廢硫酸 (W-H2SO4) 去除雙氧水 (H2O2) 回收...
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Remediation of Soil Pollution in Semiconductor Facility
半導體廠房土壤污染整治
台積電先進封測三廠為公司首次跨產業、坐落桃園市並與合作客戶收購廠房，進行土地移轉時，依法應提供土壤污染檢測資料，執行全廠區及重點區細部土壤檢測。經XRF篩測後發現，碼頭區受重金屬鉻、汞、鎳污染，且污染集中於 1 公...
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Risk Analysis and Coping Strategies for Pyrophoric Material in Usage of Semiconductor Manufacturing Plant
發火性物質運轉風險與安全對策
半導體製程陸續使用越來越多發火性物質於生產過程中，此類發火性物質大部份兼具禁水特性，於異常洩漏時遇空氣自燃且接觸水會產生非常劇烈反應。本研究應用HazOp風險分析方法及參考SEMI-5761B草案規範，針對使用發火...
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Safety Management for EUV Tool
超紫外光機台 全方位安全管理
超紫外光(EUV)為半導體製程持續微縮並延續摩爾定律(Moore's law)的新世代微影技術，亦是台積公司能持續保持先進製程技術領先的關鍵設備，EUV造價昂貴且使用大量具極度易燃特性的氫氣(Hydroge...
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Innovative Method of Optimization Energy Saving Control for Positive and Negative 2°C -Chilled Water System
正負2℃–冰水系統最佳化控制創新方法
在半導體廠房因冰水系統佔廠區用電量約20%，所以許多同行和專家在冰水系統節能控制方面投入了相當大的精力，但要使冰水系統中各運轉設備運轉於最佳效率點(最省能)目前在業界一直無法有效方法突破。本文應用大數據分析及利用各...
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The Roadmap of Circular Economy and Resource Recycling Technologies in TSMC
台積電的循環經濟藍圖及資源再生技術
「循環經濟」是近年來的熱門議題，是以創新思維擺脫過去「線性經濟」模式，透過資源的妥善循環，帶動經濟發展及環境保護。至今，全球各國家或者企業層級，均積極地透過循環經濟創造下一波經濟的發展策略，而循環經濟也將是台灣下一...
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金筆獎入圍
TMAH Reclaim in Green Recycle
四甲基氫氧化銨(TMAH)綠色循環回收再利用
以四甲基氫氧化銨(TMAH) 作為顯影劑，已廣泛使用在半導體業及光電產業等高科技產業，所產生之污染也因此與日俱增。TMAH廢液同一般鹼類具有腐蝕性，亦因製程之不同，不純物可能包含: 光阻劑、介面活性劑、重金屬陽離子...
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The Application of High-temperature Desorption for Honeycomb Zeolite Concentrator Treatment System in Semiconductor Fab Facility Systems
高溫脫附法應用於沸石轉輪處理效率改善之探討與驗證
為了使揮發性有機物(VOC)處理設備保持良好的去除效率，例行保養(PM)是不可或缺的。然而，有些高沸點VOC是無法透過沸石轉輪清洗被清除，甚至隨著時間會有殘留於沸石轉輪的現象，迫使去除效率漸漸衰減至91%。因此，本...
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Improvement of Removal Efficiency Using Reverse-direction Desorption in Zeolite Rotor
高溫逆脫附技術改善沸石濃縮轉輪去除效率
現今台積廠區均使用沸石轉輪濃縮系統作為主要揮發性有機物（VOCs）防制設備，其中沸石轉輪之吸附能力為處理效率之關鍵。而沸石轉輪藉由高溫脫附以及定期水洗兩種方式維持吸附能力。然而在長期使用後，沸石轉輪會因脫附溫度不均...
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Flood Control Strategies of Plants in Southern Taiwan Science Park
南科防洪策略
南科地區在2009年莫拉克風災時，出現超過200年重現期的降雨量，當時廠房雖未淹水受損，但從風險預防及營運持續管理的角度，我們希望具體量化洪水風險，檢討對應的改善措施，並建立預防機制。考量氣候變遷可能惡化極端氣象條...
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The Challenge and Coping Strategies of Hazardous Chemical Exposure Assessment and Control Banding in High-tech Industries
高科技業危害性化學品暴露評估及分級管理制度面臨之挑戰與因應策略
高科技產業先進製程繁複且變化快速、使用化學物質多，其中並非所有危害性化學品皆具容許濃度標準，而具容許濃度也有可能無建議採樣方法，且環測數據多為未檢出，因而在技術、經費與人力需求上，無法單純使用作業環境監測來解決。如...
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