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2021.03, Vol.41 / 技術專文
The last mile of the factory construction project–Commission Aesthetic
建廠工程的最後一哩路–試俥美學
文 | 沈炫孚 | 黃煒添 | 新廠工程管理部 |
試俥管理是一系列有系統有組織架構的執行過程；從設計階段開始，經全方位的營建施工與施工品質查驗控管，然後在完整的系統上進行一系列測試與運轉過程。利用5-Tier[1]試俥管理手法搭配標準試俥流程及完整...

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2021.03, Vol.41 / 技術專文
Advanced Process Quality Guardian by Ensuring Pure Chemical Storage Tank Lining Fabrication Performance
先進製程守門員-以高純度化學桶槽內襯製造為例
文 | 游智評 | 新廠工程管理部 | 鄭麗秋 | 台灣華爾卡 |
台積新建廠化學品儲槽於運轉啟用後須確保品質安全無虞，一旦發生內襯或相關構件的汙染或滲漏(8吋廠區曾更換NH4OH及硫酸桶槽)，要進行維護或桶槽置換難度極高。目前內襯桶槽依不同內容物及汙染物阻隔需求已...

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2021.03, Vol.41 / 技術專文
Precast Beam-Column-Plate manufacturing assembly and quality inspection practice
預鑄樑柱板製造/組立及品質查驗實務
文 | 賴明孝 | 新廠工程管理部 | 蘇怡先 | 潤弘精密工程事業股份有限公司 |
隨著社會發展，勞力短缺且薪資高漲，傳統需要大量勞力的廠房建築鋼筋混凝土構造工程，就是由工人在工地現場灌漿、綁鋼筋、灌水泥等，並且會因為天氣、設備、甚至是施工者的心情、身體狀況等，出現品質不容易控管的情況，此外對節能、資源...

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2021.03, Vol.41 / 技術專文
Metal Welding Evolution–Welding Quality Improvement
金屬銲接進化論之銲接品質提升
文 | 謝大為 | 新廠工程管理部 | 譚偉華 | 欣亞品管科技 |
金屬銲接在半導體產業，主要應用於四大主系統，包含氣體供應系統(Gas supply system)，化學供應系統(Chemical supply system)，水供應系統(Water supply system)， 機...

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2021.03, Vol.41 / 技術專文
Seismic Isolation Engineering of Semiconductor Process Tools
半導體製程機台隔震工程實務
文 | 吳家榮 | 郭昺辰 | 新廠工程管理部 |
依據歷史地震資料顯示，半導體製程機台受地震影響最嚴重的是爐管機台，晶片也是在爐管機台內損失最嚴重，因此保護爐管機台與爐管機台內的晶片就成為對抗地震的重點目標。本文針對爐管機台隔震工程實務，做了一系列深入的探討，配合國家地...

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2021.03, Vol.41 / 技術專文
Smart Temperature Detecting system application in new construction sites
智慧型防疫體溫異常偵測技術在新建廠工地的實務應用
文 | 洪文當 | 鄒李達 | 新廠工程管理部 |
根據世界衛生組織WHO在今年2月底所公布的報告顯示，新型冠狀病毒肺炎COVID-19的前十大患者症狀排行榜，有高達87.9%的人都曾出現發燒症狀，發燒病兆可識別度居排名第一位，因此在防疫管制措施及自我健康管理上，能在一開...

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2020.12, Vol.40 / 技術專文
Study of Desalination Technology in Waste-water Treatment
廢水降導電度技術探討
文 | 曾杰玉 | 新廠設計部 | 周劻輝 | 南科廠務1廠務五部 | 黃冠諭 | 南科廠務1廠務五部 |
隨著科技發展進步，人們在享受便利與娛樂時，同時也對環境造成一定程度的污染與影響。近年來環保意識抬頭，且為了減低工業廢水排放對生態環境的衝擊，水污染防治改善成為水資源管理中不可或缺的一環。當主要的水質污染指標，如重金屬、氨...

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2020.12, Vol.40 / 技術專文
The wastewater treatment challenge of metal-organic compound in leading-edge semiconductor manufacturing technology
有機型鈷於半導體先進製程中水處理的挑戰
文 | 蕭宇辰 | 新廠設計部 | 蘇俊豪 | 中科廠務五部 | 吳旻學 | 中科廠務二部 | 邱德欽 | 竹科廠務四部 |
為延續摩爾定律，導入低電阻金屬材料成為必然，半導體業並於先進製程10/7nm導入鈷作為應用，鈷具毒性，為國內放流水標準今年新增管制項目之一。目前製程鈷排放90%以樹脂及電鍍回收，剩餘10%為Co-CMP排放，暫以ACF+...

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2020.12, Vol.40 / 技術專文
Challenges and Strategies for the Biological Acute Toxicity of Effluents to Daphnia
放流水生物急毒性悠活水蚤的挑戰與對策
文 | 吳旻學 | 中科廠務二部 |
現況廠內放流水之H2O2經由過氧化氫酶(Catalase)酵素的降解後，已使得脊椎生物TUa<1.43(Toxicity Unit Acute, TUa)之機率大幅提高，...

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2020.12, Vol.40 / 技術專文
Investigation and Improvement of the Biological Acute Toxicity to The Dosing Chemicals from Fab Effluent Water
廢水系統藥劑對放流水生物急毒性探討與改善
文 | 王慶林 | 劉柏青 | 蕭千城 | 南科廠務1廠務五部 |
隨著環境保護受到國人關注，生物急毒性(TUa)是判斷水質的一項重要指標，目前生物急毒性尚未全部納入科學園區納管法規，台積電在環保的議題始終不遺餘力地提出新的觀點、創新的改善方法 ，讓環境變得更美好，生物急毒性便是值得付出...

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2020.12, Vol.40 / 技術專文
The assessment of combining stripping application for IPA wastewater improvement and VOCs waste-heat recovery
以氣提法進行IPA廢水改善評估與VOC廢熱回收展望
文 | 李明曄 | 竹科廠務一部 | 何顯利 | 新廠設計部 |
半導體製程在晶圓清洗及乾燥程序中使用大量的異丙醇(IPA)，因其有機溶劑揮發特性及製程排放廢水衍生丙酮，對各廠區空水污影響甚鉅。半導體廠房因次級用水之回收水量與水質需求，常見以RO膜進行廢水濃縮精煉處理，但經過精煉而產出...

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2020.12, Vol.40 / 技術專文
Operation and Maintenance for Crystallization Technology of Industrial Grade Ammonium Sulfate Liquid
硫酸銨乾燥系統運轉實務與維護保養
文 | 曾俞勳 | 田鎰菁 | 中科廠務二部 |
應用節能的機械式蒸氣再壓縮技術，將30%液態硫酸銨經由蒸發、濃縮再結晶 ，製作成為固態再生資源產品，以物理反應執行，將液體相變化為固體，使體積減少的機制達成減廢，雖原理簡單，但由於高濃度含結晶顆粒溶液，運作特性不同於以往...

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2020.12, Vol.40 / 技術專文
Improvement and practice of wastewater biological treatment system operation
廢水生物處理系統運轉精進與實務
文 | 楊文守 | 新廠工程管理部 | 邊逢沂 | 南科廠務2廠務二部 |
隨著半導體製程技術演進，製程機台使用的有機化學品用量大增，且單槽式晶圓濕式清洗機台數量增多，此型式機台排水有混排狀況，因此先進製程廠區面臨廢水排放化學需氧量(Chemical Oxygen Demand, COD)以及氨...

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2020.12, Vol.40 / 技術專文
Evolution and Integration of Compressed Air System Energy-Saving Technologies
壓縮空氣系統節能技術演進與整合
文 | 薛弘仁 | 南科廠務1廠務五部 | 游昇哲 | 南科廠務2廠務二部 |
我們整合了文獻上的節能技術進行壓縮空氣系統之環境改善、機台改善、控制模式改善，最後導入新的物聯網大數據分析概念，使用Atlas ES360中央控制器進一步程式運算分析配置端緩衝槽壓力數據然後由其動態預測壓力回饋調整供應端...

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2020.12, Vol.40 / 技術專文
Comprehend the characteristics of material and enhance the quality of mixing chemical
掌握原物料特性–精進CR168混酸品質
文 | 李家逢 | 黃玄根 | 南科廠務2廠務二部 |
黃光微影製程為半導體製造技術之瓶頸，主要在於現代科技的進步導致線寬的縮限，為了提高晶圓產能及良率，廠區對於原物料供應品質尤其要求。然而許多原物料也因應製程需求添加額外成分(例如 : CR168界面活性劑)連帶影響本身化學...

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2020.12, Vol.40 / 技術專文
Management of Chemical Quality– Calculation Model for the Index of Chemical Filtration Times
化學品品質管理–循環過濾次數指標之計算模式
文 | 劉俊男 | 楊仁毅 | 中科廠務五部 |
本研究提出兩種新型計算模式，用於計算桶裝化學品供應系統(Drum Unit, DU)的循環過濾次數，分別為概略型估算模式(Rough Estimation Mode, REM)及動態型精算模式(Dynamic Calcu...

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