TSMC 廠務季刊

2023.12, Vol.52 / 技術專文

Slurry Quality defense-SDS On-type Drum IQC

品質把關-化學研磨液原液直供系統強化品質檢驗

文 | 孫聖哲 | 新竹廠務六部 |

化學研磨供應系統的原液直供型系統對於原物料品質監控的防禦機制不足，當物料異常時只能在供應桶槽量測時才能發現，但此時已經供應至機台端造成線上影響。故本篇對原液直供型系統以現有系統架構新增原物料桶品質量測機制，當原物料...

按讚

0

點閱 (51)

2023.12, Vol.52 / 技術專文

Increasing the capacity of Ammonium Sulfate Crystallization

循環經濟-硫酸銨結晶系統產能提升策略

文 | 劉子豪 | 周彥呂 | 林冠維 | 張子宸 | 張詠翔 | 新竹廠務六部 |

2018年台積引入機械式蒸氣再壓縮技術處理硫酸銨廢液，2021年將此技術由中科導入至竹科與南科。竹科與中南科非同系統商建造，其系統設計有部分不同，故在實務運轉之操作參數亦有差異；F12B藉由控制結晶顆粒大小來穩定推...

按讚

0

點閱 (32)

2023.12, Vol.52 / 技術專文

The Assessment of Zero Liquid Discharge in Advanced Packing Process wastewater

先進封裝製程廢水零排評估與規劃

文 | 林俊凱 | 先進封裝廠務一部 |

隨著半導體製程發展，製程用水日益增多，如何有效將機台排水適當分流並利用水回收技術進行廢水回收成為廠務重要課題。近年來水處理技術不斷發展，實廠應用EDR/BWRO/蒸發罐/結晶罐等技術達成零排放目標，但近年全球公司注...

按讚

0

點閱 (46)

2023.12, Vol.52 / 技術專文

Improving reclamation efficiency of Waste Piranha Solution

高濃廢硫酸再利用創新改良-廢硫酸稀釋法實務應用

文 | 林冠宇 | 新竹廠務八部 | 王建翔 | 新竹廠務八部 | 陳宜樂 | 先進封裝廠務一部 |

廢硫酸回收系統(Waste Sulfuric acid recycling system)有其運轉規範要求，針對新建廠初期即面臨廢硫酸濃度過高、雙氧水(Hydrogen peroxide)濃度過低之狀況，若採用現況...

按讚

0

點閱 (26)

2023.12, Vol.52 / 技術專文

The key challenges of advanced packaging process in Zhunan_Recovery for phosphoric acid wastewater

先進封裝廠零排放技術鑰徑-磷酸廢水資源化

文 | 李明遠 | 洪新雅 | 新竹廠務九部 |

含磷酸之化學藥劑被大量應用於先進封裝製程，而針對此含磷廢水做的化混加藥處理所產生的高導廢水及大量鹽類廢棄物將為未來邁向零排的最重要挑戰之一，故本篇研究藉由電透析法及薄膜法純化磷酸後再利用熱蒸發法使磷酸達再利用濃度，...

按讚

0

點閱 (51)

2023.12, Vol.52 / 技術專文

Optimization of Hydrogen Peroxide Concentration Measurement in Slurry Supply System

化學研磨液供應系統H2O2濃度測量優化

文 | 潘明楷 | 台中廠務二部 |

本篇文章介紹氣化系統在面對新世代製程的需求下，對化學研磨液線上雙氧水濃度測量穩定性的改善。文章針對自動滴定儀(ATRS)的三大儀器架構進行改良，包括取樣元件、滴定元件和反應槽各自的缺點。
經過實驗討論...

按讚

0

點閱 (28)

2023.12, Vol.52 / 技術專文

New Waste Sulfuric Acid Recycle System Development

新世代的廢硫酸回收處理系統開發

文 | 吳世霖 | 綠色製造部 |

目前台積電各廠皆以鹽酸法去除廢硫酸中的雙氧水後回用於氨氮廢水處理等系統，本文針對既有鹽酸法所衍生之含氯物質(氯氣、氯離子)之腐蝕、殘留等問題作一探討和研究後，提出新的處理技術-硝酸法，並透過實驗室以及模廠兩種不同等...

按讚

0

點閱 (37)

2023.12, Vol.52 / 技術專文

Development of a quality monitoring technique of low-pressure gases by applying the Optical Emission Spectroscopy(OES)

光譜分析儀應用於低壓氣體品質監測之技術開發

文 | 王紹宇 | 蔣竣光 | 劉俊男 | 台中廠務四部 |

F15B廠務過去三年曾歷經了多次SiCl4氣體鋼瓶供應品質異常的狀況。每次事件都是發生在氣櫃切邊供應之後約莫20-60分鐘，線上機台反映測得N2不純物，今年在F18A與F...

按讚

0

點閱 (44)

2023.12, Vol.52 / 技術專文

FAB6 UPW Degassing system retrofit-challenge and experience sharing

FAB6 純水脫氣系統架構升級-翻新挑戰與經驗分享

文 | 古名竣 | 台南廠務一部 | 潘錦橐 | 高雄廠務二部 |

超純水系統在面對「如何達成系統穩定供應」的製程挑戰時，舊廠區首要面對的就是真空脫氣單元的翻新，在評比了早期設計的真空脫氣系統(VDG)以及新設廠區慣用的薄膜脫氣系統(MDG)的優缺點後，我們可以得知在晶圓廠的運轉需...

按讚

0

點閱 (21)

2023.12, Vol.52 / 技術專文

Management of chemical supply backup system

化學品供酸系統備援機制管理

文 | 郭泓志 | 台南廠務三部 |

聯通管路長時間靜置於化學品中，伴隨著不純物析出等品質風險，因此為確保緊急開啟聯通管路供應時不造成品質的異常，本文藉ICPMS及 particle counter數據解析聯通管路內化學品品質，最終透過化學品的flus...

按讚

0

點閱 (38)

2023.12, Vol.52 / 技術專文

Regenerated carbon-Green consumerism

再生廢碳-綠色相伴

文 | 蔡培裕 | 台南廠務五部 |

本研究使用回收系統之廢碳製成再生碳並以新碳為比照組進行H2O2去除率比對，以AWR及含高濃度H2O2的CWR系統進行測試，紀錄...

按讚

0

點閱 (31)

2023.12, Vol.52 / 技術專文

The condensation investigation of the supply dispense system of dichlorosilane

二氯矽烷供應系統之冷凝現象探討

文 | 楊中星 | 郭冠良 | 台南廠務五部 |

二氯矽烷(dichlorosilane, DCS)是由矽、氫及氯所組成，化學式為SiH2Cl2，為半導體相關產業使用之重要化學品。廠務DCS供應系統可分為兩大模式：氣櫃直...

按讚

0

點閱 (40)

2023.12, Vol.52 / 技術專文

Challenges of Underground Hydrogen in the Semiconductor Industry

地下氫氣應用於半導體產業之挑戰

文 | 謝宗成 | 台南廠務七部 | 游昇哲 | 廠務 |

氫氣地下管之應用為未來半導體產業之趨勢，為了能夠提升工廠運轉穩定度，除了參考中油地下管設計及高雄氣爆案例，另外委託第三方社團法人進行地下管完整性評估並執行相關削減措施。為了提升工廠品質，制定氫氣不純物濃度標準及工廠...

按讚

0

點閱 (20)

2023.12, Vol.52 / 技術專文

Advanced Process Cobalt Wastewater Treatment and Recycling Achievements

先進製程含鈷廢水處理及其資源化再利用成果

文 | 蔡和生 | 曾杰玉 | 台南廠務七部 |

台積電新世代製程新增使用含鈷化學品及靶材，導致廢水鈷濃度提高，因鈷為國際癌症研究機構定義之致癌物，基於企業社會責任台積電以ICP-OES檢測偵測極限(2.3ppb)作為自主管理標準，本文主要呈現先進製程廠區含鈷廢水...

按讚

0

點閱 (65)

2023.12, Vol.52 / 技術專文

Practical Experience for a New Fab Commission of Chemical Dispense System

新成廠化學供應系統快速驗機方法與實務

文 | 張碩修 | 台南廠務九部 |

化學品供應系統於新廠初期，通常第一波供酸是最緊迫的，建置過程除了工程進度不足還要留意機台需求變更，以及相關毒化物證照取得前也會限制原液洗酸作業，為了滿足機台送酸需求，需要規劃驗機程序，配合commission te...

按讚

0

點閱 (25)

2023.12, Vol.52 / 技術專文

Innovative management strategies for water systems in the new generation of manufacturing processes

新世代製程之水系統創新管理對策

文 | 郭中閔 | 台南廠務九部 | 劉家亨 | 台南廠務九部 | 鍾友維 | 台南廠務九部 | 李韋德 | 台南廠務九部 | 劉憲文 | 先進封裝廠務處 |

本文累積過往新成廠經驗，水處理系統在這些過程中遇過許多挫折但也因這些經驗，逐步強化水處理系統防禦機制，發展出一套管理方法，面對快速成廠的過程中，面臨系統尚未完成建置，需逐步與設備協調其純水與化學品洗淨的總量管制，在...

按讚

0

點閱 (46)

文章分類

熱門關鍵詞