TSMC 廠務季刊

2022.12, Vol.48 / 技術專文

Management Of Facility Water System Operation for Fast Ramping Up

因應新廠快速擴產下的水系統運轉管理心法

文 | 林志剛 | 台南廠務九部 |

近年新廠快速擴展，於2021年達到前所未見的高峰(F12P8, F18P4/P5, AP2C, AP06)，平均每90天完成一座FAB。因應裝機時程緊湊，整體工期需較以往縮減6~9個月，主要挑戰如下 : ①缺工缺料 : ...

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2022.12, Vol.48 / 技術專文

Find the voice in the extreme environment-application of Industrial Acoustic Imager in foundry

在極限環境中看見你所未聞之物-工業聲學顯像儀實務應用

文 | 張謙獻 | 新竹廠務四部 |

廠務工程師的專業職責在於安全的供應晶圓廠區設備的一切所需，身為工廠的安全守護第一線，於廠區擁有數以千計的機台/附屬機台需要進行監控、巡檢，如何在短時間內有效地找出機台問題點是很大的挑戰。對於這項挑戰，本篇使用工業聲學顯像...

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2022.12, Vol.48 / 技術專文

COD Reduction Strategy and Biological System Operation Management in Advanced Process Plants

先進製程廠區放流水COD削減策略及生物系統運轉管理

文 | 吳尚興 | 林俊龍 | 魏仲君 | 台南廠務七部 |

隨半導體先進製程發展，晶圓乾燥使用的IPA(Isopropyl alcohol)用量大幅增加(N5約為N7製程的1.5倍)。同時，WET製程中單槽式晶圓濕式清洗機台占比增多，此類型機台排水量大且易造成IPA與其他種...

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2022.12, Vol.48 / 技術專文

Bio-ACF(BAC)'s technology applied decreasing TMAH of the effluent water

Bio-ACF(BAC)技術應用於廢水TMAH濃度減量之機制與研究

文 | 郭適瑜 | 林昱廷 | 蔡億茂 | 台南廠務五部 |

因全球半導體與光電業蓬勃發展，大量使用氫氧化四甲基胺(TMAH)顯影劑。本文中提到傳統樹脂可以有效吸附高濃度TMAH，但對於低濃度TMAH處理效益低，導致放流水TMAH雖符合園區納管標準卻未達ESG排放目標(<1m...

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2022.9, Vol.47 / 技術專文

Air Distribution Improvement and Management of Downflow Clean Room

單向流無塵室氣流組織改善及精進管理

文 | 葉濤 | 姜玉龍 | 上海廠務部 |

不同於其他廠區無塵室內前期造價昂貴的天車系統(Automatic Material Handling System, AMHS)，F10廠區無塵室內採用的是人工物料搬運系統(Manual Material Handlin...

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2022.9, Vol.47 / 技術專文

AI application-AMC prediction by machine learning and pollution source analysis

應用AI-AMC機械學習預測與污染來源分析

文 | 莊鎧瑋 | Arizona Facility |

因應市場的需求，半導體製程技術演進快速，電晶體30年內已縮小了1000倍，到了五奈米的技術，而隨著規格及產線環境要求的提升，氣態分子微汙染(airborne molecular contamination, AMC...

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2022.9, Vol.47 / 技術專文

Lubrication Improvement for Electric Motor Bearing and Investigation of Predictive Maintenance by Ultrasound Detection.

馬達軸承潤滑改善與超音波預知保養手法探討源分析

文 | 林煒喆 | 林成彥 | 陳博政 | 台南廠務四部 |

馬達故障原因中，軸承故障佔41%，大部分為潤滑不良造成。潤滑失效中最主要因素為潤滑不足，造成介面間直接摩擦而磨損。然而潤滑不足導致的因素卻不只是油加的不夠，反而過度注油也會間接造成潤滑不足與其他不良影響。 ...

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2022.9, Vol.47 / 技術專文

Application of IOT Tech. on Air abatement system Failure Prediction

應用IOT技術於AAS早期震動故障預警系統

文 | 曾柏憲 | 張子鴻 | 台南廠務四部 |

因應趨向嚴苛的空氣污染防制法，降低因保養不當/未發現異常/系統壽命造成之系統異常為本廠相當重視之議題，於本篇中以互聯網與機械學習作為主軸。來探討使用具有高彈性的αduino架構用於空氣污染防治設備上以期...

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2022.6, Vol.46 / 技術專文

APM experience sharing on maintenance of MB200 low voltage switchgears and insulation enhancement opportunities

MB200低壓配電盤歲修保養經驗及絕緣強化機會點分享

文 | 黃御庭 | 蔡祐立 | 台南廠務四部 |

低壓配電盤在工廠配電系統中猶如心臟一般，負責輸送電力至工廠內各角落之分電箱或下游設備，其重要性不言而喻。如何確實的維護低壓配電盤及確保其運轉的可靠度成為一門非常重要的學問。本文一開始先介紹廠內電力設備APM的主要檢...

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2022.3, Vol.45 / 技術專文

With more strictly air pollution regulations, Local Scrubber improve strategy for aged operation Fab

日趨嚴謹空污法規對於成廠區LSC之精進改善

文 | 盧泓佑 | 新竹廠務二部 | 康智翔 | 新竹廠務二部 |

歷經二三十年的發展，半導體工業已經成為台灣最重要的經濟支柱之一，隨著半導體工業的高度成長，明星產業背後所隱藏工業污染問題也日益受到重視。各界漸漸對空污排放提高標準，而對於運轉多年半導體廠區，既設製程尾氣處理設備如何...

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2022.3, Vol.45 / 技術專文

The accuracy and application of Online IC in Stack monitoring

煙道酸鹼連續監測(Online IC)精確度提升改善及其應用

文 | 溫閎元 | 亞太廠務處 | 錢立行 | 新竹廠務四部 | 趙世閔 | 新竹廠務四部 |

於廠務運轉，各項污染物減量改善也隨之展開，如酸槽機台IPA(異丙醇)源頭改善及排放減量，煙道不透光率及F2(氟氣)異味改善。在這些項目執行過程中，選擇以何種方式量測污染物及驗證改善成效更是重中...

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2022.3, Vol.45 / 技術專文

Inspection and Re-creation a Friendly Environment for Air Pollution Reduction for 30-year-old Factory

30年老廠空污健檢減量與再造友善環境

文 | 魏君穎 | 新竹廠務一部 |

由於環境污染日趨惡化，加上近年來環保意識抬頭，各界對於污染管制紛紛提高標準，工廠廢氣的排放也受到關注。對企業而言，除了必須遵守空氣污染法規的要求外，如何在資源有限的情況下降低廢氣的排放量和改善防制設備發揮最大效益，...

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2022.3, Vol.45 / 技術專文

Air Pollution Improve Strategy for Environmental assessment Fab

環評廠空污減量躍進做法及未來思維

文 | 陳昭文 | 台中廠務三部 | 姚明宗 | 台中廠務三部 |

2016年12月通過環保署第306次環評大會審查，中科空氣污染減量、符合總量管制之承諾。隨著台積製程演進與產能需求的增加，為了符合最關鍵的空污總量管制，對於空污的改善是持續演進，廠務處集合新廠設計部、ISEP眾多專...

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2022.3, Vol.45 / 技術專文

Air pollution Improvement-As Emission Reduction Analysis

空污改善-煙道有害空氣污染物-砷及其化合物減量研究

文 | 楊映茹 | 台南廠務四部 | 鄭詠丞 | 亞太廠務處 |

因應環保署新增半導體煙道有害空氣汙染物排放限值，廠內離子植入使用之砷化氫經處理後產生之砷及其化合物屬於公告物種之一，公司除需符合法規也有責任降低砷及其化合物之排放量。

解析F14B歷年煙囪檢測砷...

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2022.3, Vol.45 / 技術專文

Destruction efficiency promotes with LOW NOx Operational Parameters of Dual Rotor VOCs Process System for Green Manufacturing

綠色製造 - VOC雙轉輪系統處理效率提升與LOW NOx運行參數

文 | 盧人瑜 | 亞太廠務處 | 楊詠翔 | 台南廠務六部 |

雙轉輪VOC開始使用，目的為提高VOCs的處理效率，降低排放量以利空污減量，廠區內使用廠商分為D公司與J公司，單轉輪設計處理效率為95%，雙轉輪設計預計能到達99%以上處理效率，VOCs的排放量減少為單轉輪設計的1/5。...

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2022.3, Vol.45 / 技術專文

Exploration and Application of Autonomous air pollution detection in Nanjing Factory

南京廠空污自主檢測的探索與應用

文 | 張波 | 南京廠務部 |

環境問題已然成為當今全球最重視的話題之一，隨著半導體行業的飛速發展，人們也越來越重視該行業廢氣排放的研究與改善，但受限於在綫監測儀器的分佈率及成本，實驗手動檢測仍然是空污改善最常用的量測手段。因此南京厰建立廠內空污檢測實...

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