TSMC 廠務季刊

2022.12, Vol.48 / 技術專文

The safety design and definition of public hazardous substances places using the supply dispense system and environment of trichlorosilane

三氯矽甲烷供應系統之公危品安全設計定義與探討

文 | 盧從智 | 吳文瑞 | 台南廠務五部 |

三氯矽甲烷(Trichlorosilane, TCS)是由矽、氫及氯所組成，其化學式為SiHCl3，為半導體相關產業使用之重要化學品。因其具可燃性、禁水性、毒性與腐蝕性等物化特性，故其使用場所的選定...

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2022.12, Vol.48 / 技術專文

Innovative management of Chemical Filters-Pre-clean and Transferred

化學品濾心創新管理-預洗與活體移植

文 | 梁高維 | 廠務 | 羅立偉 | 亞太廠務處 |

半導體製程的快速演進，高純度化學品供應面臨嚴苛挑戰，廠務系統定時保養更換系統耗材或配件影響風險較高，每一次的更換，除了要維持金屬及不純物含量的品質監控，如何快速達成必然成為廠務義不容辭的課題，本文以經常性更換之濾心(Fi...

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2022.12, Vol.48 / 技術專文

Find the voice in the extreme environment-application of Industrial Acoustic Imager in foundry

在極限環境中看見你所未聞之物-工業聲學顯像儀實務應用

文 | 張謙獻 | 新竹廠務四部 |

廠務工程師的專業職責在於安全的供應晶圓廠區設備的一切所需，身為工廠的安全守護第一線，於廠區擁有數以千計的機台/附屬機台需要進行監控、巡檢，如何在短時間內有效地找出機台問題點是很大的挑戰。對於這項挑戰，本篇使用工業聲學顯像...

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2022.12, Vol.48 / 技術專文

Source management and reduction of Wastewater Management Indicator "Acetone" in Advanced Process Plants

先進製程廠區污水納管指標「丙酮」之源頭管理與減量對策

文 | 林雋凱 | 新竹廠務六部 | 洪士超 | 新竹廠務六部 | 吳貴弘 | 新竹廠務四部 |

自2021年5月21日起科管局將放流丙酮列為管制項目(<5mg/L)，並將其劃分為三個級距徵收污水費，其中廠區因製程原料廢水中異丙醇(晶圓乾燥使用)與氧化劑(雙氧水居多，作為晶圓清洗使用)反應產生丙酮，導致放流水丙...

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2022.12, Vol.48 / 技術專文

COD Reduction Strategy and Biological System Operation Management in Advanced Process Plants

先進製程廠區放流水COD削減策略及生物系統運轉管理

文 | 吳尚興 | 林俊龍 | 魏仲君 | 台南廠務七部 |

隨半導體先進製程發展，晶圓乾燥使用的IPA(Isopropyl alcohol)用量大幅增加(N5約為N7製程的1.5倍)。同時，WET製程中單槽式晶圓濕式清洗機台占比增多，此類型機台排水量大且易造成IPA與其他種...

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2022.12, Vol.48 / 技術專文

Bio-ACF(BAC)'s technology applied decreasing TMAH of the effluent water

Bio-ACF(BAC)技術應用於廢水TMAH濃度減量之機制與研究

文 | 郭適瑜 | 林昱廷 | 蔡億茂 | 台南廠務五部 |

因全球半導體與光電業蓬勃發展，大量使用氫氧化四甲基胺(TMAH)顯影劑。本文中提到傳統樹脂可以有效吸附高濃度TMAH，但對於低濃度TMAH處理效益低，導致放流水TMAH雖符合園區納管標準卻未達ESG排放目標(<1m...

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2022.12, Vol.48 / 技術專文

System Design and Removal Strategy of PFAS from Semiconductor Wastewater

製程廢水中短鏈全氟化合物去除策略與設計規劃

文 | 蔡宇軒 | 何顯利 | 新廠設計部 |

半導體界近年積極開發工業再生水技術，將自身排放的工業廢水再製供前段製程重新使用，廢水中不易被水處理系統去除的短碳鏈全氟化合物，雖然台灣目前未有制訂法規管制排放濃度，但已開始被重視是否影響再生水水質。本研究探討多方文...

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2022.12, Vol.48 / 技術專文

Chloride Sources and Reduction Strategies in Semiconductor Effluent Wastewater

半導體排放廢水氯化物來源與削減策略

文 | 姜東 | 上海廠務部 |

隨著國內半導體、光伏企業的快速發展，對純水的需求量與含氟廢水的處理量也大幅增加，由於大多企業使用鹽酸再生樹脂，氯化鈣處理含氟廢水，隨之而來廢水排放中氯離子濃度也居高不下。隨著環保法規日趨嚴格，對水中氯化物的濃度也有了明確...

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2022.12, Vol.48 / 技術專文

Transfer Waste High Concentration HF to A Highly Value Product, Cryolite

點氟成晶-廢氫氟酸轉製成正價值冰晶石

文 | 林佑勳 | 台中廠務四部 |

廠務持續推動循環經濟，致力將製程產生的廢棄資源再製為異業可使用的產品，隨著先進製程的演進(N7~)，需蝕刻及清潔的次數增加，導致氫氟酸需求量大幅上升，也增加了氫氟酸的廢液量，預估2025年將達6,927噸/月，佔全...

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2022.12, Vol.48 / 技術專文

Recovery Enhancement and Quality Optimization of Low-concentration Waste-Sulfuric Acid

無憂無氯-低濃度廢硫酸回收效率提升及品質優化

文 | 林力雋 | 台中廠務二部 |

目前tsmc各廠皆以鹽酸法去除廢硫酸中之過氧化氫，反應副產物氯氣再藉由尾氣處理系統去除。因鹽酸於低濃度硫酸中溶解度較大之特性，因此鹽酸法運用於低濃度硫酸處理時，不易形成氯氣，導致再生硫酸中氯離子殘留濃度偏高；進而影響氨氮...

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2022.12, Vol.48 / 技術專文

Eco-Industrial Parks(EIP)-The Planning, Design, and Challenge for Taichung Zero Waste Manufacturing Center

台中零廢製造中心設計規劃實務

文 | 鄭凱倫 | 台中廠務處 |

台積電產能持續擴充，廢棄物產出量亦同步攀升，如公司ESG報告所揭露委外廢棄物總量由2016年約30萬噸/年，至2020年已增長至55萬噸/年的水準，依公司產能規劃預估至2025年廢棄物委外將高達100萬噸/年以上。...

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2022.9, Vol.47 / 技術專文

The application of two-fluid atomization nozzle and cyclone dust collection

粉塵變不見 - 二流體與旋風集塵的綜合運用

文 | 姚明宗 | 曾喚培 | 台中廠務三部 |

半導體製程當中，每一道製程均有不同的副生成物，其中爐管製程中的六氯矽乙烷(HCD)與二氯矽甲烷(DCS)高溫燒結與水洗後所產生的二氧化矽(SiO2)粉塵與鹽酸(HCl)一直是難以處理的項目，不但會造...

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2022.9, Vol.47 / 技術專文

Development and application of an integrated auto-clean machine for Pumping-line

Pumping-line 全自動清管器的開發與應用

文 | 植軍章 | 謝儀明 | 南京廠務部 |

「製程排氣管路」(Pumping-line)作為「生產機臺附屬系統的一環，一方面承載著提供製程chamber高真空度環境的作用，另一方面也是製程排氣輸送至「現址式廢氣處理洗滌塔」(Local scrubber, L...

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2022.9, Vol.47 / 技術專文

The Breakthrough in the Spatial Location of Local Scrubber

8吋成廠區在LSC拆裝的空間位置突破 - 以8廠為例

文 | 曾能駿 | 李家維 | 謝穎至 | 新竹廠務一部 |

F8從世大建廠之初運轉至今已超過20年，隨著半導體產業日新月異及製程的進步，產能需求銳不可擋，如何在有限的空間把機台安裝效率最大化已成為製造生產端、設備機台端與廠務運轉端最大挑戰。本文旨在分享及介紹F8拆裝機過程的規劃，...

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2022.9, Vol.47 / 技術專文

The Breakthrough and Innovation of Local Scrubber Stable Operation by iSystem Implementation

iSystem導入對廠務LSC穩定運轉的突破與創新

文 | 李珩銘 | 台中廠務三部 |

Local Scrubber欲達成有效節能運轉成效，其先決條件是確保其製程尾氣處理效能可達到良好水準。iSystem藉由確認製程機台所使用的製程氣體，並依據定義該製程氣體於Local Scrubber處理的方式，即時依據...

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2022.9, Vol.47 / 技術專文

Air Distribution Improvement and Management of Downflow Clean Room

單向流無塵室氣流組織改善及精進管理

文 | 葉濤 | 姜玉龍 | 上海廠務部 |

不同於其他廠區無塵室內前期造價昂貴的天車系統(Automatic Material Handling System, AMHS)，F10廠區無塵室內採用的是人工物料搬運系統(Manual Material Handlin...

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