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2018.12, Vol.32 / 技術專文
The Discussion of Arsenic Compounds Measurement in Exhaust of Local Scrubber
砷尾氣處理設備量測方法探討
文 | 顏雅琳 | 六廠工安環保部 | 陳怡兆 | 六廠廠務部 |
砷化氫為半導體業製程氣體，具有毒性及致癌性，反應殘氣由機台排出後，進入吸附式尾氣處理設備處理，去除效率則以砷化氫偵測器確認，經過處理的尾氣會再經過中央濕式洗滌塔後由煙囪排出。處理過程中，部分砷化氫轉化為固態砷化物，...

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2018.12, Vol.32 / 技術專文
Safety Design for the System to Remove Hydrogen Peroxide from Waste Sulfuric Acid
廢硫酸去除雙氧水系統 安全防護提升
文 | 呂欣 | 十四B廠工安衛生部 | 劉明翰 | 十四B廠工安衛生部 | 唐祺夏 | 十八廠 | 劉柏青 | 南科廠務五部 | 蕭千城 | 南科廠務五部 | 吳厚萱 | 中科廠務五部 |
本文以危害與可操作性分析(HAZOP)及收集13個廠區運轉經驗，評估廢硫酸 (W-H2SO4) 去除雙氧水 (H2O2) 回收...

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點閱 (338)
2018.12, Vol.32 / 技術專文
Risk Analysis and Coping Strategies for Pyrophoric Material in Usage of Semiconductor Manufacturing Plant
發火性物質運轉風險與安全對策
文 | 韓兆祥 | 謝佳霖 | 呂欣 | 十四B廠工安衛生部 |
半導體製程陸續使用越來越多發火性物質於生產過程中，此類發火性物質大部份兼具禁水特性，於異常洩漏時遇空氣自燃且接觸水會產生非常劇烈反應。本研究應用HazOp風險分析方法及參考SEMI-5761B草案規範，針對使用發火...

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2018.12, Vol.32 / 技術專文
E-Management of Emergency Response Center and Its Application
緊急應變中心電子化管理與應用
文 | 陳俊 | 十廠安全環保部 |
緊急應變中心（ERC）在半導體工廠乃至所有企業是至關重要的一個機構，處理異常時需要借助的資源多、器材多、人力多，且遍佈廠區。若開發電子化的管理系統，輔助異常緊急應變，必能產生可觀效益。為此，經由ISEP、IT等部門...

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2018.9, Vol.31 / 技術專文
New Auto Jar Test Application of the CMP Waste Water of Coagulation and Sedimentation
先進研磨廢液混凝沉降自動化系統開發與應用
文 | 鄭權慶 | 中科廠務二部 |
半導體產業於廢水處理系統中，研磨廢水的部份採用混凝沉降的方法進行處理。而混凝沉降方式主要在於降低水中粒子間的相斥電位，相互接觸凝集而達到固液分離的目的(電性中和)，而混凝劑及膠凝劑加藥量控制精準與否？將影響最終處理...

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2018.9, Vol.31 / 技術專文
New Generation Chemical Coupler Booth Design
新世代化學品灌充口設計
文 | 潘耿輝 | 新廠工程管理部 | 張育正 | 新廠設計部 | 黃介然 | 新廠設計部 |
隨著半導體製程持續演進，槽車化學品用量不斷被提高，化學品灌充作業人力也逐年上升；過去也曾因為外部環境品質影響，造成灌充前取樣量測不穩定。本文主要說明如何應用滑軌、氣壓缸與訂製夾具等動力元件於化學品灌充設備中，來設計...

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2018.9, Vol.31 / 技術專文
A Study of Ultrapure Water Nanoparticle Detection Technologies
談超純水 奈米顆粒偵測技術
文 | 林恩添 | 新廠設計部 |
對於液體中顆粒數量之檢測，現今大都以雷射散射法作為判斷依據，受限於光學繞射極限，要偵測到 20nm 以下之奈米顆粒有很高難度，特別是在液體中顆粒數量稀薄的狀況下，如超純水；同時，超純水的奈米顆粒潔淨度又與半導體製程...

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2018.6, Vol.30 / 技術專文
The Challenge of Semiconductor VOCs Exhaust Treatment System & Innovation of High Removal Efficiency
半導體業揮發性有機物高效率尾氣處理系統的設計挑戰與創新
文 | 楊詠翔 | 新廠工程管理部 |
由於半導體製造技術日趨複雜、環保意識抬頭，讓空污排放的議題成為輿論關注的焦點。目前公司所採用的沸石轉輪搭配焚化系統已具備可接受的處理效率及高可靠度之特點，也是目前業界主要的VOCs 處理技術。在面對空污排放的要求越...

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2018.6, Vol.30 / 技術專文
Innovative Method of Optimization Energy Saving Control for Positive and Negative 2°C -Chilled Water System
正負2℃–冰水系統最佳化控制創新方法
文 | 莊哲嘉 | 竹科廠務三部 |
在半導體廠房因冰水系統佔廠區用電量約20%，所以許多同行和專家在冰水系統節能控制方面投入了相當大的精力，但要使冰水系統中各運轉設備運轉於最佳效率點(最省能)目前在業界一直無法有效方法突破。本文應用大數據分析及利用各...

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2018.6, Vol.30 / 技術專文
Research on IPA Chemical Filter Efficiency Improvement
談異丙醇化學濾網使用效率提升之研究
文 | 林瑞昆 | 竹科廠務三部 |
異丙醇(IPA)對於電化學電鍍(ECP)製程之晶邊良率具有極大的影響，ECP區域IPA主要來源為外氣空調箱(MAU)引入，汙染源來自於本身或鄰近廠區煙囪排放(約佔70%)，其次為化學研磨製程(CMP)機台洩漏或蝕刻...

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2018.6, Vol.30 / 技術專文
The Application of High-temperature Desorption for Honeycomb Zeolite Concentrator Treatment System in Semiconductor Fab Facility Systems
高溫脫附法應用於沸石轉輪處理效率改善之探討與驗證
文 | 陳仲祥 | 陳元昊 | 南科廠務一部 |
為了使揮發性有機物(VOC)處理設備保持良好的去除效率，例行保養(PM)是不可或缺的。然而，有些高沸點VOC是無法透過沸石轉輪清洗被清除，甚至隨著時間會有殘留於沸石轉輪的現象，迫使去除效率漸漸衰減至91%。因此，本...

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2018.6, Vol.30 / 技術專文
The By-product and Parameter of Burning Type Local Scrubber
燃燒水洗式洗滌塔 操作參數與副產物探討
文 | 范銘哲 | 王仁暉 | 楊孟堯 | 南科廠務三部 |
製程廢氣中危害性氣體及全氟碳化物(PFCs)僅能由現址式空氣處理設備(Local scrubber)處理削減，而Local scrubber之操作參數與製程廢氣去除效率息息相關，為確保削減效率，大多以「Worst ...

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2018.6, Vol.30 / 技術專文
Tool Exhaust HEPA Retrofit in Particulate Matter Reduction
高效濾網於機台排氣粒狀物減量之運用
文 | 陳昭文 | 中科廠務三部 | 吳曜安 | 新廠工程管理部 |
近年來PM2.5超過空氣品質標準，環保署公告2018年7月1日起將針對固定污染源的懸浮微粒、細懸浮微粒等粒狀污染物開徵空氣污染防制費，因應粒狀污染物減量趨勢，各廠需積極進行白煙粒狀物改善。目前先進製程的粒狀污染物排...

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2018.3, Vol.29 / 技術專文
Application of duino IoT Technology to Facility Equipment Failure Prediction Ability Enhancement
應用αduino物聯網技術於強化廠務設備之故障預知能力
文 | 張子鴻 | 南科廠務三部 |
為因應未來人工智慧(AI)工廠之需求與分擔工程師之工作負荷，將應用αduino 物聯網(αIoT)技術來強化廠務設備之故障預知能力。αduino應用架構主要分為7個單元，各單元之...

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2018.3, Vol.29 / 技術專文
RF Wireless Communication in Energy Management Applications
無線射頻通訊於能源管理之應用
文 | 張書僑 | 楊宗達 | 賴奐旭 | 南科廠務三部 |
本文主要建立全廠無線射頻（RF）能源管理系統，不僅擷取廠務系統資料，包含生產製程機台的耗能數據都能夠進行分析。為了可迅速且有效的量測用電資訊，使用無線CT搭配無線通訊模組，直接勾掛於電盤內，工程師可立即抓取資料位址...

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2018.3, Vol.29 / 技術專文
Selection of Series Reactors for AC-Capacitor-Filter Set on Low-Voltage Level and Operating Experience
交流低壓電容盤電抗器的選用與運轉經驗
文 | 廖日能 | 陳信任 | 中科廠務一部 |
為落實高科技廠房節能減碳之目標，廠內UPS運轉皆採節能模式，下游負載諧波可直接流回系統導致諧波增高，如何治理系統諧波成為廠務一項重要課題。本文目標主要針對被動式濾波器4.04%和6.06%(交流低壓電容盤)進行諧波...

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