Treat Wastewater by Wastewater! Treatment of IPA and COD Wastewater by UV/AWD H2O2 Process
廢水處理廢水！以紫外光結合雙氧水 廢水程序處理異丙醇與化學需氧量廢水
Nitrogen oxide reduction strategies in advanced fabs
先進廠區氮氧化物減量策略
半導體在製造晶圓的過程中，經常使用大量的「全氟烷化合物」(Perfluorinated compounds, PFCs)，防治設備處理這類型污染物通常是利用高溫裂解使其與氫與氧離子(H+、O...
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Plan the construction of air pollution prevention equipment in the limited space of the factory area
成廠區有限空間的空污防治設備建置對策
隨著環保意識抬頭及空污法規的演進，台積電呼應前述，提出ESG 2050年淨零排放目標，老舊成廠區在空污排放系統架構上有著難以改善的硬傷，除了防治設備老舊及備源機制不完全造成停機保養困難，更是有不同種類排氣風管串接混...
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Standardization of LSC DRE measurement method and strategy for De-N2O and NOx by Plasma-based LSC
LSC DRE檢測手法標準化及電漿式LSC De-N2O和NOx之策略
隨著日趨嚴謹之空污法規、新建廠之環評及公司ESG 2050年淨零排放之目標，FAC致力於發展各種污染物的減量技術。目前多數的CIT案皆是在LSC進行，也因此為了確保這些CIT能有效對空污減量，LSC DRE的檢測手...
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Improvement Strategy and Implementation Effect of Mixed Air Emission in RD Fab
RD廠區空污混排改善策略與執行成效
RD Fab 先進製程研發致使製程不斷變化，2020 new chemical申請數較前幾年上升71%(全年120件)，依F12B實驗運轉經驗制訂從源頭、現址式洗滌塔(Local Scrubber)至中央處理設備(...
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VOC introduces new technology and moves towards net zero emission of air pollution
VOC導入新技術_邁向空污淨零排放
沸石轉輪濃縮系統作為台機廠區的主要揮發性有機物（VOCs）防制設備，其中其吸附能力為處理效率之關鍵，然而高沸點VOCs會因脫附溫度不足進而隨時間殘留於沸石轉輪中，大部分廠區透過提升脫附溫度來改善此一現象，卻忽略材料...
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Improving the Removal Efficiency of Particulate Matters
固態污染物_去除效率精進改善
F15B 空污排放標準除須符合半導體製造業相關法規外，亦須符合環境影響評估法及科管局之核定總量。因 2021年產能增量 30%，推估硫酸、氫氟酸、鹽酸排放總量會超過環評及科管局限值。本研究於不影響產能之條件下，將現...
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The Investigation and Application of Central Scrubber for Ammonia Emission Reduction
與時俱進的煙道革命_廠區洗滌塔氨氣排放削減研究與應用
隨著空氣污染防治議題蓬勃發展、環保法規日益嚴峻等等原因，空氣污染防治技術及煙道排放濃度減量逐漸成為關注焦點。TSMC F6及F14A共同遭遇的空污問題以酸性洗滌塔(SEX)酸鹼混排及去除效率不佳為主，為符合未來法規...
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Establishment of ammonium sulfate drying system and air pollution control technology
循環經濟_硫酸銨乾燥系統設立與空污防治技術
隨著產能及研發規模持續擴充，台積公司採取「廢棄物產出最小化，資源循環使用最大化」的廢棄物管理方針。其中，針對廢硫酸及氨氮廢水，繼民國104年成功轉製為可委外再利用的硫酸銨廢液；台積公司再次領先業界、進一步導入「機械...
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Discussion of the ability of Salix to capture ammonium salt droplets and the outlook of VOCs flow at Polymer/PR Stripping process.
Salix應用於Polymer/PR Stripping之銨鹽類霧滴捕捉能力提升與VOCs流向展望
Polymer/PR Stripping 濕製程使用Wet Bench常見的高溫硫酸(SPM)與NH4OH，並同時利用IPA洗滌Wafer表面，故在製程尾氣處理具有酸性氣體與有機物(VOCs)...
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Burn Type Local Scrubber Decrease NOx Emission
現址式燃燒洗滌塔NOx減量
目前廠內現址式燃燒洗滌塔(Burn Type Local Scrubber)主要處理全氟化合物(PFC)，因其處理溫度較高，容易產生副產物-NOx，本文將以降低處理溫度及減少反應物兩方面探討，在符合廠內破壞去除效率...
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Development and research on monitoring technology of arsenic-containing waste gas in Nanjing Factory
南京廠含砷廢氣的監管技術的發展與研究
含砷廢氣作為劇毒性氣體，在大陸環保管制被從嚴要求，監管手段除了常規的煙囪出口量測，更趨向于源頭管控。本文因應法規要求，於前端現址式處理裝置出口設置單獨風管收集，並設立標準檢測口進行標準化採樣檢測，在廢氣進入主管段之...
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Kitchen Waste Recovery Technology
餐廳廚餘資源化處理技術
因非洲豬瘟疫情延燒，國內以廚餘作為養豬飼料的業者面臨更嚴苛的法令管制，因此部分廚餘轉為用堆肥或焚化的方式處理，除增加處理費用也影響了環境生態，且現階段台灣的堆肥場及焚化爐剩餘可處理容積已趨近飽和。為處理台積電每月達 15...
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Discussion and Practice of COD Reduction in Wastewater
外排廢水化學需氧量減量方法探討與實務
隨著製程技術持續推進，許多新的製程機台以及化學品首次導入，我們發現新建廠區有放流水之 COD 值偏高問題。為解決這個問題，我們一方面進行廠內 COD 污染源之追查，透過源頭分析及查找，發現 IPA 為廢水中 COD 之貢...
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Intelligent Learning Algorithm in Fluorine Emissions Warning Mechanism of Local Scrubber
應用智能學習演算法建立製程尾氣處理設備氟氣排放預警機制
台積電空氣污染防制設計採用「源頭分類、多段式處理」做法，除了依國家法規設置中央式空氣處理設備(CSC)外，同時更針對不同製程氣體特性增設高效率現址式空氣處理設備(LSC)，使排入大氣的污染物含量符合或優於政府規定。...
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Challenges and Strategies of Air Pollutants Emission Reduction in R&D Fab
研發廠空氣污染物排放減量之挑戰與策略
空氣污染問題已成為人們日常討論的議題，統計陳情案件，以高科技廠較為集中的新竹科學園區周圍空氣污染問題最多，而空污的來源大多數由未經適當處理的污染物經由煙囪排出。面對民眾生活環境及複雜製程所使用的化學物質，操作者應思...
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Aerosol Reduction Using Depth-filtration Technology in Exhaust System
廢氣中氣膠微粒深度淨化處理技術
半導體製程產生之酸鹼廢氣經化學反應為鹽類固體，分散在空氣中成為懸浮微粒，造成排氣煙囪產生煙霧現象，而引起健康及環保問題。本研究運用高度密合纖維材料構成之深度淨化裝置與現址式洗滌塔設備串聯，針對酸槽之機台尾氣進行氣膠...
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