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2022.3, Vol.45 / 技術專文
Diagnosis systemic for Fluorine emission
氟氣排放診斷
文 | 林朝順 | 台南廠務二部 |
半導體製程原物料與副產物中含有多種危害性氣體(腐蝕/爆炸/毒性/...等)，因此需在主機台後端裝設前段廢氣處理設備(LSC)來處理這些危害性氣體，才可確保廢氣排放達到安全及環保的規格。然而這些高腐蝕性氣體也會侵蝕L...

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2022.3, Vol.45 / 技術專文
IOT Technology Is Applied To The FFU Speed Control Automatically For The Evenly Temperature Of The Clean Room
IOT技術應用於FFU轉速自動化調整無塵室溫度均勻分布
文 | 蕭睿呈 | 台南廠務六部 |
近年來物聯網技術發展越趨成熟，與半導體產業相輔相成，電晶體到了21世紀，製程已達到奈米等級，大幅降低功耗，而低功耗設計正是物聯網中的感測器可否被廣泛運用的關鍵因素，因此半導體技術的進步是促成物聯網快速發展的推手，也...

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2022.3, Vol.45 / 技術專文
Air pollution Improvement-As Emission Reduction Analysis
空污改善-煙道有害空氣污染物-砷及其化合物減量研究
文 | 楊映茹 | 台南廠務四部 | 鄭詠丞 | 亞太廠務處 |
因應環保署新增半導體煙道有害空氣汙染物排放限值，廠內離子植入使用之砷化氫經處理後產生之砷及其化合物屬於公告物種之一，公司除需符合法規也有責任降低砷及其化合物之排放量。

解析F14B歷年煙囪檢測砷...

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2022.3, Vol.45 / 技術專文
Chiller Refrigeration Cycle Anomaly Detection with Machine Learning methodology and operation
機械學習診斷冰機冷媒系統方法與實例
文 | 蔡昆憲 | 廠務數位發展部 | 鄭凱元 | 十四廠暨廠務自動化整合部 | 謝子宸 | 十四廠暨廠務自動化整合部 |
本案為廠務數位發展與廠務CIM合作為台積電廠務首度成功推廣至全公司使用機器學習方法達到超越專家能力的異常偵測系統。主要應用於缺乏代表性感測元件的冰機冷媒密閉迴路，在不額外增加廠務工程與維護成本條件下，藉由現有資訊進...

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2022.3, Vol.45 / 技術專文
Optimization of Intelligence application efficiency_Real-time analysis for exhaust sub-main with tool FDC
智能應用效率最佳化_Exhaust sub-main自動連結設備FDC即時分析系統
文 | 吳聖儀 | 台南廠務六部 |
300mm廠務組織合併後，集合眾專家所長推出了廠務資訊整合平台-OneFAC，藉此輔助廠務運轉管理，也因系統整合，廠務有平台可獲取各廠的廠務相關資訊，可說廠務運轉管理已邁向成熟階段。然而對廠內資訊的呈現仍不夠即時，...

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2022.3, Vol.45 / 技術專文
Destruction efficiency promotes with LOW NOx Operational Parameters of Dual Rotor VOCs Process System for Green Manufacturing
綠色製造 - VOC雙轉輪系統處理效率提升與LOW NOx運行參數
文 | 盧人瑜 | 亞太廠務處 | 楊詠翔 | 台南廠務六部 |
雙轉輪VOC開始使用，目的為提高VOCs的處理效率，降低排放量以利空污減量，廠區內使用廠商分為D公司與J公司，單轉輪設計處理效率為95%，雙轉輪設計預計能到達99%以上處理效率，VOCs的排放量減少為單轉輪設計的1/5。...

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2022.3, Vol.45 / 技術專文
Exploration and Application of Autonomous air pollution detection in Nanjing Factory
南京廠空污自主檢測的探索與應用
文 | 張波 | 南京廠務部 |
環境問題已然成為當今全球最重視的話題之一，隨著半導體行業的飛速發展，人們也越來越重視該行業廢氣排放的研究與改善，但受限於在綫監測儀器的分佈率及成本，實驗手動檢測仍然是空污改善最常用的量測手段。因此南京厰建立廠內空污檢測實...

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2022.3, Vol.45 / 技術專文
Hollow Fiber-based TOC Filter
中空纖維TOC濾網 - AMC濾網設備化的新紀元
文 | 曹志明 | 廠務技術發展部 |
針對先進製程區域MAU出口端異丙醇/丙酮極低濃度的規範要求，既有活性碳(Active Carbon)型濾網對異丙醇(Isopropyl Alcohol, IPA)以及丙酮(Acetone)去除效率差且握持量不足，極短的時...

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2021.12, Vol.44 / 技術專文
Prevention of chemical filter contamination
化學系統濾心污染防治
文 | 羅立偉 | 日本新廠專案 | 鍾易龍 | 新廠設計部 | 梁高維 | 台南廠務七部 |
隨先進製程技術不斷推進，化學供應品質也面臨挑戰，偵測品質標準中的金屬含量及含不純物成為製程關鍵。既往影響產線供應品質汙染源，以原物料及耗材供應商製造與包裝品質異常之案例為甚，又以定時保養更換系統耗材或配件影響風險較...

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2021.12, Vol.44 / 技術專文
The defense and strategy against small molecule TOC in UPW system
純水小分子TOC的防禦與對策
文 | 楊昀瑍 | 台南廠務九部 | 傅正貴 | 台南廠務九部 |
隨著半導體製程的精進(N5→N3製程)，使用的超純水越趨純淨，其中總有機碳(TOC)過高將導致晶圓表面氧化及結晶缺陷，導致蝕刻不均、清洗效率不佳。各廠廠務超純水系統對TOC素有極高的去除效率(POU出口已...

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2021.12, Vol.44 / 技術專文
An Annoying Operation Problem : Regulator Clog in B2H6 Gas Cabinet -Root Cause Investigation and Possible Solution Evaluation
惱人的運轉問題 : B2H6氣櫃調壓閥阻塞-原因探討與解決方法評估
文 | 劉俊男 | 林郁賢 | 蔣竣光 | 林安助 | 台中廠務四部 |
5% B2H6/Ar氣櫃調壓閥受到B2H6粉末狀副產物阻塞，為一項常見且擾人的運轉問題。經文獻探與過去的經驗顯示副產物粉末可能來自於...

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2021.12, Vol.44 / 技術專文
Decreasing COD concentration of effluent by increasing efficiency of Bio-System
實現綠色製造-增進生物系統處理效率達到放流COD減量
文 | 林佑勳 | 台中廠務四部 |
隨著半導體製程的精進，晶圓製程用於防倒線及除水痕異丙醇(IPA)的使用量逐漸上升，N7世代IPA使用量已為N16世代之6倍，在已可觸及的N2世代，IPA用量更可達N16之16倍。對於放流水中化學需氧量濃度，如何能低...

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2021.12, Vol.44 / 技術專文
Application of valve abnormally detected in gas cabinet
氣櫃閥件異常偵測應用
文 | 陳彥儒 | 孫愛迪 | 謝銘忠 | 台中廠務二部 |
特殊氣體供應系統(Special gas supply system, SGS)的穩定供應源自於氣櫃(Gas cabinet, GC)的落實管理，想要有效的管理氣櫃就必須了解氣櫃的操作流程及氣櫃PLC的控制邏輯。亞...

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2021.12, Vol.44 / 技術專文
Painless upgrade method and practice of old technology plant's gas/ chemical supply system
舊科技廠房氣化供應系統無痛升級方法與實務
文 | 劉桐村 | 台南廠務一部 | 廖俊凱 | 台南廠務一部 |
本文主要說明高科技廠房的廠務設備會隨時間不斷的演化和進步，並伴隨著長時間的運轉經驗而提出更好的系統改善方案，老舊的科技廠房將面臨兩大挑戰。
第一 : 系統硬體部分因逐年老化需汰舊換新並藉由不斷完善改善...

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2021.12, Vol.44 / 技術專文
Optimization Of Waste H2SO4 Decrease H2O2 System
廢硫酸去除雙氧水系統最佳化探討
文 | 曾治寰 | 郭中閔 | 劉柏青 | 台南廠務三部 |
本文以「最佳化探討」(Optimization)廢硫酸去除雙氧水系統，針對廢硫酸(W-H2SO4)去除雙氧水(H2O2)回收系...

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2021.12, Vol.44 / 技術專文
Static electricity prevention is done well, no worries at work!
靜電防治做得好，工作沒煩惱
文 | 林佳瑩 | 台南廠務五部 |
半導體製程中高分子有機溶劑為常見使用之化學品，因其低導電率特性，廠務端供應機台容易經高分子有機溶劑流動摩擦發生靜電擊穿現象增加供應上之風險。在不影響廠務端穩定運轉卻能達到靜電防治效果狀況下建議供應機台使用抗靜電材料...

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