Exhaust Revolution - Innovatory Idea of Volatile Organic Compounds Reduction
排氣革命 - 揮發性有機物減量新思維
The Control Mechanism for Hazardous Air Pollutants
有害空氣污染物防制機制
有害空氣污染物包括VOCs、多環芳香烴化合物、重金屬及戴奧辛等。有害空氣污染物污染來源繁雜，其中多數可經過接觸、呼吸等方式危害國民健康安全。職業安全衛生與動物實驗均顯示，有害空氣污染物對人類具有致癌性、致突變性與致...
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Improvement of White Smoke and H2SO4 Particle from Stack
煙囪白煙及硫酸微粒防制改善
南科十四廠五期於2012年5月開始投入量產，隨著新製程開發也衍生出前所未見的問題與挑戰，其中以濕式蝕刻製程因酸鹼混排延伸出煙道排放白煙以及硫酸微粒等問題最為困擾，既有的廢氣濕式洗滌塔與水渦流機已無法妥善處理白煙以及...
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Application of Exhaust Shunting Retrofit in Particulate Matter Reduction
排氣分流改造應用於粒狀物減量
PM2.5空氣污染與健康危害之議題開始受到重視，近年來PM2.5超過空氣品質標準，環保署公告2017年1月1日起各縣市列為三級空氣污染防制區，面對未來將進行總量管制及排放物種削減之趨勢，各廠需進行白煙粒狀物改善。目...
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Air Pollution Control Strategy for Next Generation Fab
新世代廠房的空氣汙染防制
台積公司最新世代的晶圓廠房座落於中科擴建區，為因應日益嚴峻的環保法規及民眾對環境品質要求提升的期望，新廠在空氣汙染防治部分，導入最先進的技術與設備，包括：中央洗滌塔水力薄膜、排放源導入現址型洗滌塔、水霧系統及HEP...
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New Challenges of Exhaust Reduction - EPI Dual ACP Exhaust Reduction Project
排氣減量新挑戰 - 雙磊晶反應室機台排氣
磊晶機台共分成Main Chamber和氣櫃（Gas Box）兩個箱體，彼此互通，每個箱體上方銜接6吋的排氣風管，調整前兩支風管總抽風量為1248CMH，另外還有兩個預潔淨反應室（SiCoNi），各接6吋的排氣風管...
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High Boiling VOCs Treatment Techniques for Advanced Process of Semiconductor Plant
先進製程之高沸點揮發性有機物處理技術應用
半導體製程中，最主要的揮發性有機化合物汙染物包含乙醇、異丙醇、丙酮、丁酮、丙二醇單甲醚乙酸酯、單乙醇胺、雙三甲基矽胺，當中組成後沸點成分高過於150℃的汙染物可稱為高沸點揮發性有機化合物，其對半導體業常用的汙染處理...
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Central Scrubber Improvement Approaches
濕式洗滌塔宿疾改善對策
本文主要探討因應半導體廠氣體特性，將既有廠內排氣中酸鹼處理設備-中央洗滌塔進行改善，嘗試以新思維改善半導體廠排氣中矽微粒堵塞拉西環、菌類生長及因污泥堆積底部而須進行冗長保養程序之中央洗滌塔宿疾，並針對未攔截水量、塔...
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On-line IC Monitor System for AAS Chimney
煙囪連續監測系統技術探討
本文主要說明煙囪連續監測採樣系統的建構緣由及目的，探討此系統與手動採樣方法的優缺點，並與檢測公司使用之標準手法做比較。初步結果顯示由連續監測結果可發現，無機酸及氨隨時間的進行有明顯的變動，可見本採樣系統能及時的反應...
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Air Pollution Issues and Challenges of High Tech Industry
空氣污染問題與高科技產業所面對的挑戰
空氣污染議題近年已成為臺灣社會關注之環境議題，引起民眾對健康與生活品質疑慮，亦造成社會經濟與產業發展之困擾。本文探討臺灣地區空氣品質變化特徵，介紹國內推動空氣污染防制策略沿革暨管制政策進展，亦針對科學工業園區排放空...
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Removal Efficiency and Safety Assessment of Wet Electrostatic Precipitator Destruction for Total Suspended Particulate
濕式靜電集塵對粒狀污染物的處理評估與安全分析
靜電集塵器具備高處理效率、高可靠度、低壓力損失、低耗能、無壓力波動、可連續運轉的特點。因此，靜電集塵器廣泛地被一般工業界所應用在改善空氣污染排放。然而，傳統乾式靜電集塵器有以下問題：粉塵沉積於集塵板表面與極線上造成...
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On-site Earthquake Early Warning System Set Up and Performance Verification
現地型地震預警系統的設置實務與績效驗證
本文將先簡單介紹地震預警系統的發展歷史及目前的應用層面，然後再詳細說明地震預警系統的理論及種類，並比較各系統硬體及運算邏輯的差異。在讀者已有基本的地震預警知識後，才進入到本文的主題「現地型地震預警系統的設置實務與績...
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銀筆獎
Exhaust Revolution - Innovatory Idea of Volatile Organic Compounds Reduction
排氣革命 - 揮發性有機物減量新思維
本文主要探討半導體廠排氣中揮發性有機物處理設備─沸石濃縮轉輪系統之設計改善，將脫附用載流氣體從入口高濃度廢氣變更為脫附後乾淨空氣，嘗試以新思維降低揮發性有機物排放量，並針對轉輪後確實殘留高沸點VOCs進行實證，供後...
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New Cleaning Technology of Exhaust Ducting Powder
排氣風管結晶清潔新技術
南科十四廠五期於2013年5月開始將20奈米製程投入量產，伴隨著新製程開發，意味著新型態前所未見的問題也將衍生出來，其中又以濕蝕刻製程中酸鹼氣混和產生的結晶問題最為困擾。往例的清理採取定期清潔方式，不僅造成人力的負...
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Prevention is Better than Cure - Preventive Maintenance of Local Scrubber a Thorough Study and Breakthrough
預防勝於治療 - 製程尾氣處理設備預防保養追根究底與瓶頸突破
本文主要分析製程尾氣處理設備(以下簡稱Local Scrubber)粉末(以下簡稱Powder)阻塞的原因，並針對廢氣處理系統設備內部引氣管路進行改善，依據製程氣體特性及管路流場，分析製程尾氣經彎曲段或流向改變時，...
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The Evaluation and Exploration of New Technology on THC Air Pollution Monitoring
空污總碳氫化合物監測新技術評估及探討
目前廠內有機廢氣污染防治設備，均使用Baseline 9000的總碳氫化合物（Total Hydrocarbon, THC）分析儀器量測廢氣的排放濃度。為了提昇競爭力及運轉彈性，本文依據環保署制訂的空污法規，進行T...
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The Retrospect and Innovation of Cooling Tower Plume Reduction Design
冷卻水塔水蒸氣改善設計回顧與創新
本文主要分析水蒸氣產生的原因，並參照國內外最新技術，比較各種應用實例，以此發展適合廠區使用之改善方式，經過事前的評估計算及分析，設計了消霧裝置，再經現場量測驗證後，確實有效的減少自冷卻水塔排放至大氣中的水氣，並減少...
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