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2018.9, Vol.31 / 技術專文
The Practice of Waste IPA Reduction by VEX Waste Heat Recycle
以回收有機排氣系統廢熱進行廠內異丙醇減量之實務應用
文 | 吳世霖 | 南科廠務五部 |
在半導體製程中常使用於晶圓乾燥、清潔之IPA化學品，隨著製程技術之推進以及晶圓線寬之微縮，導致IPA廢液在質與量均大幅改變：廢液量大幅增加但含水率過高，導致已無回收價值，僅能以焚化方式處理，造成處理費用增加。本研究...

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2018.9, Vol.31 / 技術專文
The Study of Water Hammer Effect on Process Cooling Water Improvement in High Flow Tool
大用水量機台之水槌效應於製程冷卻水之研究改善
文 | 謝忠憲 | 簡義庭 | 竹科廠務五部 |
製程冷卻水（PCW）用途為供應製程冷卻水，將製程機台所產生的熱量透過熱交換方式帶走。本文將探討如何改善高用水量機台觸發緊急停止(EMO,Emergency Off)時，對PCW系統產生水錘效應與供應溫度變化的影響。...

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2018.9, Vol.31 / 新象新知
Development of the Quality Check System for Specialty Gases
特殊製程氣體之品質監測系統開發
文 | 劉俊男 | 中科廠務五部 | 巫幸峰 | 新廠設計部 | 黃介然 | 新廠設計部 |
本計畫設計了一套特殊製程氣體之品質監控系統(SGQCS)，以補足目前特殊氣體在所有生產原物料中品質監控較弱的一環。此系統結合了現有的氣瓶櫃(GC)，再由一個選擇箱體(Select Box)、一套分析儀器主體及一個氣...

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2018.6, Vol.30 / 技術專文
The Challenge of Semiconductor VOCs Exhaust Treatment System & Innovation of High Removal Efficiency
半導體業揮發性有機物高效率尾氣處理系統的設計挑戰與創新
文 | 楊詠翔 | 新廠工程管理部 |
由於半導體製造技術日趨複雜、環保意識抬頭，讓空污排放的議題成為輿論關注的焦點。目前公司所採用的沸石轉輪搭配焚化系統已具備可接受的處理效率及高可靠度之特點，也是目前業界主要的VOCs 處理技術。在面對空污排放的要求越...

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2018.6, Vol.30 / 技術專文
Innovative Method of Optimization Energy Saving Control for Positive and Negative 2°C -Chilled Water System
正負2℃–冰水系統最佳化控制創新方法
文 | 莊哲嘉 | 竹科廠務三部 |
在半導體廠房因冰水系統佔廠區用電量約20%，所以許多同行和專家在冰水系統節能控制方面投入了相當大的精力，但要使冰水系統中各運轉設備運轉於最佳效率點(最省能)目前在業界一直無法有效方法突破。本文應用大數據分析及利用各...

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2018.6, Vol.30 / 技術專文
The Study for Enhancement in the Removal Efficiency of Central Scrubber with Bubble Tower
罩泡塔應用於立式洗滌塔處理效率改善研究與探討
文 | 許顥儒 | 潘衍霖 | 陳能泉 | 中科廠務一部 |
半導體廠內洗滌塔為主要空氣污染物去除設備，但半導體廠有酸鹼混排問題，且氨氣佔年總排放量相對高，酸排氨氣主要來源為酸槽機台，在鹼洗酸性排氣洗滌塔中去除效率不佳。因此本文的目的在於探討改善既有立式洗滌塔的廢氣處理效率，...

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點閱 (172)
2018.6, Vol.30 / 技術專文
Research on IPA Chemical Filter Efficiency Improvement
談異丙醇化學濾網使用效率提升之研究
文 | 林瑞昆 | 竹科廠務三部 |
異丙醇(IPA)對於電化學電鍍(ECP)製程之晶邊良率具有極大的影響，ECP區域IPA主要來源為外氣空調箱(MAU)引入，汙染源來自於本身或鄰近廠區煙囪排放(約佔70%)，其次為化學研磨製程(CMP)機台洩漏或蝕刻...

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2018.6, Vol.30 / 技術專文
The Application of High-temperature Desorption for Honeycomb Zeolite Concentrator Treatment System in Semiconductor Fab Facility Systems
高溫脫附法應用於沸石轉輪處理效率改善之探討與驗證
文 | 陳仲祥 | 陳元昊 | 南科廠務一部 |
為了使揮發性有機物(VOC)處理設備保持良好的去除效率，例行保養(PM)是不可或缺的。然而，有些高沸點VOC是無法透過沸石轉輪清洗被清除，甚至隨著時間會有殘留於沸石轉輪的現象，迫使去除效率漸漸衰減至91%。因此，本...

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點閱 (162)
2018.6, Vol.30 / 技術專文
Local Scrubber Clogging Improvement and PM Frequency Reduction
製程廢氣處理設備 阻塞改善與保養頻率有效減量
文 | 王仁暉 | 南科廠務三部 |
製程廢氣處理設備因為會有副產物的產生，而需進行預防保養，但若副產物過於頻繁的阻塞問題發生，使得保養頻率升高，造成人力資源投入與負荷過大，即為異常阻塞事件，因此必須要進行各項阻塞改善措施去減量。本文即以南科廠所遇到的...

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2018.6, Vol.30 / 技術專文
The By-product and Parameter of Burning Type Local Scrubber
燃燒水洗式洗滌塔 操作參數與副產物探討
文 | 范銘哲 | 王仁暉 | 楊孟堯 | 南科廠務三部 |
製程廢氣中危害性氣體及全氟碳化物(PFCs)僅能由現址式空氣處理設備(Local scrubber)處理削減，而Local scrubber之操作參數與製程廢氣去除效率息息相關，為確保削減效率，大多以「Worst ...

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2018.6, Vol.30 / 技術專文
Application of Demister in Removal Performance Enhancement of Inorganic Acid and Base in Scrubber
水力薄膜應用於洗滌塔中 無機酸鹼去除效率之探討
文 | 張皓隆 | 南科廠務三部 |
半導體製程中經常使用到大量的有機溶劑及化學酸鹼溶液，部分化學物質會經由揮發或者高溫霧化而被排氣系統所收集至中央洗滌塔處理後排放，其中以濕式蝕刻製程因酸鹼混排延伸出排氣風管結晶與煙囪排放白煙以及硫酸微粒等問題最為困擾...

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2018.6, Vol.30 / 技術專文
Tool Exhaust HEPA Retrofit in Particulate Matter Reduction
高效濾網於機台排氣粒狀物減量之運用
文 | 陳昭文 | 中科廠務三部 | 吳曜安 | 新廠工程管理部 |
近年來PM2.5超過空氣品質標準，環保署公告2018年7月1日起將針對固定污染源的懸浮微粒、細懸浮微粒等粒狀污染物開徵空氣污染防制費，因應粒狀污染物減量趨勢，各廠需積極進行白煙粒狀物改善。目前先進製程的粒狀污染物排...

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2018.6, Vol.30 / 新象新知
Application of Non-thermal Plasma Catalysis for Energy Saving and Greenhouse Gas Reducing
低溫電漿加觸媒─節能減碳新技術
文 | 謝曜謙 | 竹科廠務一部 | 張木彬 | 國立中央大學 |
本文主要探討因應半導體廠排放氣體特性，將廠內熱電漿現址式空氣處理設備(Local Scrubber)進行節能改善，嘗試以新思維改善其高耗能的特性，並同時能保持對溫室氣體(PFCs、N2O)的高...

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2018.3, Vol.29 / 技術專文
Application of duino IoT Technology to Facility Equipment Failure Prediction Ability Enhancement
應用αduino物聯網技術於強化廠務設備之故障預知能力
文 | 張子鴻 | 南科廠務三部 |
為因應未來人工智慧(AI)工廠之需求與分擔工程師之工作負荷，將應用αduino 物聯網(αIoT)技術來強化廠務設備之故障預知能力。αduino應用架構主要分為7個單元，各單元之...

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2018.3, Vol.29 / 技術專文
RF Wireless Communication in Energy Management Applications
無線射頻通訊於能源管理之應用
文 | 張書僑 | 楊宗達 | 賴奐旭 | 南科廠務三部 |
本文主要建立全廠無線射頻（RF）能源管理系統，不僅擷取廠務系統資料，包含生產製程機台的耗能數據都能夠進行分析。為了可迅速且有效的量測用電資訊，使用無線CT搭配無線通訊模組，直接勾掛於電盤內，工程師可立即抓取資料位址...

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2018.3, Vol.29 / 技術專文
Selection of Series Reactors for AC-Capacitor-Filter Set on Low-Voltage Level and Operating Experience
交流低壓電容盤電抗器的選用與運轉經驗
文 | 廖日能 | 陳信任 | 中科廠務一部 |
為落實高科技廠房節能減碳之目標，廠內UPS運轉皆採節能模式，下游負載諧波可直接流回系統導致諧波增高，如何治理系統諧波成為廠務一項重要課題。本文目標主要針對被動式濾波器4.04%和6.06%(交流低壓電容盤)進行諧波...

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