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2017.6, Vol.26 / 技術專文
On-line IC Monitor System for AAS Chimney
煙囪連續監測系統技術探討
文 | 吳博哲 | 中科廠務一部 | 吳曜安 | 中科廠務三部 |
本文主要說明煙囪連續監測採樣系統的建構緣由及目的，探討此系統與手動採樣方法的優缺點，並與檢測公司使用之標準手法做比較。初步結果顯示由連續監測結果可發現，無機酸及氨隨時間的進行有明顯的變動，可見本採樣系統能及時的反應...

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2017.6, Vol.26 / 新象新知
Air Pollution Issues and Challenges of High Tech Industry
空氣污染問題與高科技產業所面對的挑戰
文 | 蔡俊鴻 | 國立成功大學環境工程學系 |
空氣污染議題近年已成為臺灣社會關注之環境議題，引起民眾對健康與生活品質疑慮，亦造成社會經濟與產業發展之困擾。本文探討臺灣地區空氣品質變化特徵，介紹國內推動空氣污染防制策略沿革暨管制政策進展，亦針對科學工業園區排放空...

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2016.12, Vol.24 / 技術專文
Application of Mobile Air Quality Monitoring Vehicle
空氣品質監測車的應用
文 | 紀碧芳 | 陳駿華 | 新廠設計部 |
本文主要在說明空氣品質監測車(站)設置的緣由與目的，並說明空品車的配備及監測項目，未來可透過即時監測了解周界環境的空氣品質變化，並與臨近環保署測站比較，分析周界環境是否受工廠影響。空品監測車已於今年6月份打造完成，...

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點閱 (89)
2016.9, Vol.23 / 技術專文
Design and Experience Sharing for Acidic Waste Drain (O3) Reclaim to Ultrapure Water system
含臭氧酸鹼廢水回收至純水之設計與運轉分享
文 | 楊淵超 | 溫士賓 | 竹科廠務一部 |
含臭氧酸鹼廢水為含臭氧的機台排放廢水，其為擴散及蝕刻機台之臭氧產生器與純水混和用來清洗晶圓上的微量有機物。透過排水水質量測及用途追蹤，發現其水質特性為高氧化性、低導電度，總有機碳濃度可達純水回收標準。然而臭氧氧化性...

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2016.9, Vol.23 / 技術專文
Withdraw Copper from Waste Copper Sulfate-Application of Annular Cylindrical Electrochemical Cells
液中求銅－製程廢硫酸銅回收裝置應用
文 | 連翊鈞 | 竹科廠務一部 |
硫酸銅（CuSO4）為LSI銅製程之重要原料之一，其製程（ECP）廢液濃度可達20 g/L以上，極具回收價值。現行因放流水質限制（竹科放流水銅檢出量需小於1ppm），本公司高濃度廢硫酸銅均採委...

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2016.6, Vol.22 / 技術專文
The Evaluation and Exploration of New Technology on THC Air Pollution Monitoring
空污總碳氫化合物監測新技術評估及探討
文 | 林宗標 | 南科廠務一部 |
目前廠內有機廢氣污染防治設備，均使用Baseline 9000的總碳氫化合物（Total Hydrocarbon, THC）分析儀器量測廢氣的排放濃度。為了提昇競爭力及運轉彈性，本文依據環保署制訂的空污法規，進行T...

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2016.6, Vol.22 / 技術專文
A New Perspective Heat Recovery - Total Heat Recovery and War Against Cold
全新角度檢視水側熱回收 - 全熱回收抗寒大作戰
文 | 蘇泓霖 | 鍾善昌 | 南科廠務四部 |
目前廠內35℃溫水熱源使用12℃冰機冷卻水出水溫度供應，在無塵室低負載或者極劣氣候-寒流狀態下，因已無熱能再被12℃冰機吸收，會直接影響35℃溫水溫度下降，間接影響到無塵室溫、溼度控制。因此本文提出新運轉手法再進化...

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2016.6, Vol.22 / 技術專文
The Dynamic Energy Saving MAU
動態節能外氣空調箱
文 | 陳廷宇 | 徐家紹 | 葉俊賢 | 竹科廠務三部 |
公司在廠房設計階段，就已經將綠建築納入設計發包範圍內，接著就該思考如何將智慧化措施也納入設計中。在針對無塵室空調系統各單元深入解析後，將實際運轉經驗知識化，並透過監控系統自動化，導入了智能系統即完成了標準化的動態節...

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點閱 (52)
2016.6, Vol.22 / 技術專文
The Brief Introduction of the Application of Run-Around Coil Heat Recovery System to MAU
淺談盤管環路熱回收系統在外氣空調箱的應用
文 | 施文彬 | 中科廠務一部 | 張智凱 | 奇立實業股份有限公司 | 樊素娟 | 艾法股份有限公司 |
節能減碳，提高能源使用效率已成為當前刻不容緩的議題之一。本文透過對於盤管環路熱回收系統的介紹，以及瞭解該系統在實際空調領域的應用方式後，說明如何將盤管環路熱回收系統導入半導體廠「外氣空調箱」（Make-up Air...

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2015.12, Vol.20 / 技術專文
The Development Strategy and Roadmap for Intelligent Green Buildings in Taiwan
臺灣智慧綠建築永續發展推動策略及藍圖
文 | 何明錦 | 內政部建築研究所 |
面對全球環境變遷及資通訊(ICT)科技之發展，開發有助於環境永續及提升居住環境品質的智慧綠建築，為世界各國建築發展重點。臺灣面對的自然及社會環境挑戰尤其嚴峻，如何應用既有綠建築發展優勢，整合ICT科技應用，推動智慧...

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2015.9, Vol.19 / 技術專文
161kVPower SystemIntegrationTest
特高壓電力系統整合測試
文 | 曾韋然 | 竹科廠務二部 |
本文主要說明政府機構（台灣電力公司）作業及特高壓電力整合測試項目，包含台電特高壓線路，廠內161kV主變壓器，161kV GIS設備送電前的各種功能確認及特性試驗、送電之後的負載校驗，整合試驗之過程紀錄。...

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2015.9, Vol.19 / 技術專文
Feasibility Study of Coiled Tube
無縫盤管應用在氣體配管的可行性評估
文 | 徐偉翔 | 新廠工程管理部 |
目前廠內使用的特殊氣體管路都以四米不銹鋼管路銲接施作方式，為其主要之工法，而其氣體管路總長度都超過百米以上，所以管路銲接的點數非常之多，耗費甚多人力與機具用以進行管路施作與品質控管。而銲接的點數過多就會有品質與安全...

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2015.6, Vol.18 / 技術專文
Purge FOUP AMC Chelating with Chilling Impinger Sampling Technique for N16 Generation
16奈米世代晶圓傳送盒吹淨微污染耦合冷凝取樣新式技術
文 | 郭啟文 | 廠務技術發展部 |
16奈米與20奈米之量產製程，廣泛應用具吹淨功能的晶圓傳送盒 FOUP(Front Opening Unified Pod)內。然因FOUP內可供採集的容積限制與其內含之污染濃度極其微量，故甚難就晶圓於FOUP內部...

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2015.6, Vol.18 / 技術專文
Application of Photoionization Detector for Real-time AMC Monitoring in Cleanroom
光離子化偵測器在潔淨室內空氣分子污染物即時監控的應用
文 | 陳駿華 | 新廠設計部 | 賴盈宏 | 新廠設計部 | 莊青龍 | 沃亞科技股份有限公司 |
已有證據顯示空氣分子污染物(AMC)對半導體廠的製程良率具有顯著影響，不少案例證實其對晶圓缺陷(Defect)的直接關聯，包含腐蝕、成形異常或電性異常等問題，因此部份大廠將AMC納入潔淨室環控因子；另外，隨著半導體...

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點閱 (39)
2015.6, Vol.18 / 技術專文
LPC(Large Particle Count) Control
STI 化學機械研磨液之微粒子數量控制
文 | 江宜蓁 | 陳怡蒼 | 曾誌江 | 新廠設計部 |
隨著半導體製程緊湊步伐的演進，化學機械研磨(Chemical-Mechanical Planarization, CMP)，將面臨許多技術瓶頸，刮傷缺陷(scratch defect)即為一例，本文將介紹如何在化學...

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點閱 (72)
2015.6, Vol.18 / 新象新知
Design and Application of Upward Clean Air Circulation System
上回風潔淨循環系統的設計與應用
文 | 曹志明 | 新廠設計部 | 徐明甫 | 新廠設計部 | 胡石政 | 國立台北科技大學潔淨技術中心 |
傳統FFU-DCC式之潔淨室設計，對於機台本身熱散逸至潔淨室所產生熱對流作用之上升氣流，容易與FFU向下送的潔淨循環氣流相撞後彼此產生干擾，迫使潔淨循環氣流無法達成有效的動量輸送，造成微粒滯留在潔淨室內；利用FDC...

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