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2023.09, Vol.51 / 技術專文
Improving the Removal Efficiency of Particulate Matters
固態污染物_去除效率精進改善
文 | 吳俊賢 | 台中廠務三部 | 劉冠宏 | 十五B廠工安衛生部 |
F15B 空污排放標準除須符合半導體製造業相關法規外，亦須符合環境影響評估法及科管局之核定總量。因 2021年產能增量 30%，推估硫酸、氫氟酸、鹽酸排放總量會超過環評及科管局限值。本研究於不影響產能之條件下，將現...

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2022.9, Vol.47 / 技術專文
The Breakthrough in the Spatial Location of Local Scrubber
8吋成廠區在LSC拆裝的空間位置突破 - 以8廠為例
文 | 曾能駿 | 李家維 | 謝穎至 | 新竹廠務一部 |
F8從世大建廠之初運轉至今已超過20年，隨著半導體產業日新月異及製程的進步，產能需求銳不可擋，如何在有限的空間把機台安裝效率最大化已成為製造生產端、設備機台端與廠務運轉端最大挑戰。本文旨在分享及介紹F8拆裝機過程的規劃，...

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2022.9, Vol.47 / 技術專文
The Breakthrough and Innovation of Local Scrubber Stable Operation by iSystem Implementation
iSystem導入對廠務LSC穩定運轉的突破與創新
文 | 李珩銘 | 台中廠務三部 |
Local Scrubber欲達成有效節能運轉成效，其先決條件是確保其製程尾氣處理效能可達到良好水準。iSystem藉由確認製程機台所使用的製程氣體，並依據定義該製程氣體於Local Scrubber處理的方式，即時依據...

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2022.9, Vol.47 / 技術專文
The prevention of hydrogen leak from EPI LSC in N28 plant
虛驚不再來-N28 EPI LSC洩漏全面改善
文 | 張景隆 | 楓祥儀 | 楊竣凱 | 台中廠務一部 |
N28 EPI製程會排放高濃度的氫氣至LSC進行處理，但隨著LSC元件逐漸老化導致LSC前段水洗氫氣洩漏風險上升。本文針對F15A廠內三個氫氣洩漏的虛驚案例，發現原因為機台設計、元件老化及既有保養方法不足，並以此朝...

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2022.3, Vol.45 / 技術專文
With more strictly air pollution regulations, Local Scrubber improve strategy for aged operation Fab
日趨嚴謹空污法規對於成廠區LSC之精進改善
文 | 盧泓佑 | 新竹廠務二部 | 康智翔 | 新竹廠務二部 |
歷經二三十年的發展，半導體工業已經成為台灣最重要的經濟支柱之一，隨著半導體工業的高度成長，明星產業背後所隱藏工業污染問題也日益受到重視。各界漸漸對空污排放提高標準，而對於運轉多年半導體廠區，既設製程尾氣處理設備如何...

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2022.3, Vol.45 / 技術專文
Air pollution reduction-Discussion on the removal efficiency of organic pollutants by Local Scrubber
空污減量-現址式尾氣處理設備針對有機污染物去除效率探討
文 | 楊竣凱 | 台中廠務一部 | 蔡景安 | 台中廠務一部 |
空氣污染議題是近年來工廠運轉日益重視議題，而煙囪排放有機污染物已成為顯學，本研究透過污染物源頭分析，利用現址式尾氣處理設備(Local scrubber)改造，進行源頭污染物減量改善，提升有機物去除效率，並利用模擬...

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2022.3, Vol.45 / 技術專文
Diagnosis systemic for Fluorine emission
氟氣排放診斷
文 | 林朝順 | 台南廠務二部 |
半導體製程原物料與副產物中含有多種危害性氣體(腐蝕/爆炸/毒性/...等)，因此需在主機台後端裝設前段廢氣處理設備(LSC)來處理這些危害性氣體，才可確保廢氣排放達到安全及環保的規格。然而這些高腐蝕性氣體也會侵蝕L...

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2019.9, Vol.35 / 技術專文
Challenges and Strategies of Air Pollutants Emission Reduction in R&D Fab
研發廠空氣污染物排放減量之挑戰與策略
文 | 黃友元 | 盧銘駿 | 竹科廠務三部 |
空氣污染問題已成為人們日常討論的議題，統計陳情案件，以高科技廠較為集中的新竹科學園區周圍空氣污染問題最多，而空污的來源大多數由未經適當處理的污染物經由煙囪排出。面對民眾生活環境及複雜製程所使用的化學物質，操作者應思...

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2019.9, Vol.35 / 技術專文
Wet Cyclone Participator of PM2.5 Reduction in Local Scrubber
應用濕式旋風集塵器於製程尾氣 處理設備改善細懸浮微粒研究
文 | 張聖杰 | 中科廠務一部 |
PM2.5空氣污染與健康危害之議題近年開始受到重視，為因應民眾對環境品質要求提升的期望，本研究探討目前半導體業界粒狀物防制技術應用，以及製程尾氣處理設備(Local Scrubber,LSC)後端酸性排風管所產生阻...

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2018.12, Vol.32 / 技術專文
The Discussion of Arsenic Compounds Measurement in Exhaust of Local Scrubber
砷尾氣處理設備量測方法探討
文 | 顏雅琳 | 六廠工安環保部 | 陳怡兆 | 六廠廠務部 |
砷化氫為半導體業製程氣體，具有毒性及致癌性，反應殘氣由機台排出後，進入吸附式尾氣處理設備處理，去除效率則以砷化氫偵測器確認，經過處理的尾氣會再經過中央濕式洗滌塔後由煙囪排出。處理過程中，部分砷化氫轉化為固態砷化物，...

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2018.12, Vol.32 / 技術專文
A Case Study on Improvement to Mixed Acid Exhaust System for New Process Tools
先進製程酸性排氣混排改善對策探討
文 | 李宗元 | 十二B 廠工安環保部 | 吳淑嫺 | 設備物質安全專案 |
隨著公司近年來陸續進入先進製程，使用的氣體及化學品種類變得更多，生產過程也變得更複雜，衍生出排氣煙道中有混排及白煙問題，顯示既有系統已無法完全妥善且有效的處理製程廢氣。本文使用半定量及定量儀器進行採樣，鑑別出酸性排...

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2018.6, Vol.30 / 技術專文
Local Scrubber Clogging Improvement and PM Frequency Reduction
製程廢氣處理設備 阻塞改善與保養頻率有效減量
文 | 王仁暉 | 南科廠務三部 |
製程廢氣處理設備因為會有副產物的產生，而需進行預防保養，但若副產物過於頻繁的阻塞問題發生，使得保養頻率升高，造成人力資源投入與負荷過大，即為異常阻塞事件，因此必須要進行各項阻塞改善措施去減量。本文即以南科廠所遇到的...

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2018.6, Vol.30 / 技術專文
The By-product and Parameter of Burning Type Local Scrubber
燃燒水洗式洗滌塔 操作參數與副產物探討
文 | 范銘哲 | 王仁暉 | 楊孟堯 | 南科廠務三部 |
製程廢氣中危害性氣體及全氟碳化物(PFCs)僅能由現址式空氣處理設備(Local scrubber)處理削減，而Local scrubber之操作參數與製程廢氣去除效率息息相關，為確保削減效率，大多以「Worst ...

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2018.6, Vol.30 / 新象新知
Application of Non-thermal Plasma Catalysis for Energy Saving and Greenhouse Gas Reducing
低溫電漿加觸媒─節能減碳新技術
文 | 謝曜謙 | 竹科廠務一部 | 張木彬 | 國立中央大學 |
本文主要探討因應半導體廠排放氣體特性，將廠內熱電漿現址式空氣處理設備(Local Scrubber)進行節能改善，嘗試以新思維改善其高耗能的特性，並同時能保持對溫室氣體(PFCs、N2O)的高...

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2016.6, Vol.22 / 技術專文
Prevention is Better than Cure - Preventive Maintenance of Local Scrubber a Thorough Study and Breakthrough
預防勝於治療 - 製程尾氣處理設備預防保養追根究底與瓶頸突破
文 | 郭勝欽 | 張貴琳 | 竹科廠務三部 |
本文主要分析製程尾氣處理設備(以下簡稱Local Scrubber)粉末(以下簡稱Powder)阻塞的原因，並針對廢氣處理系統設備內部引氣管路進行改善，依據製程氣體特性及管路流場，分析製程尾氣經彎曲段或流向改變時，...

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金筆獎入圍
2016.6, Vol.22 / 新象新知
Local Scrubber Enhancement─ UV Technology Application in N2O Reduction
廢氣處理設備大突破 - 紫外光技術應用於氧化亞氮減量
文 | 吳怡君 | 中科廠務一部 |
2015年12月聯合國COP21巴黎協定，通過限制全球升溫不超過攝氏2度的目標，各國政府紛紛提出國家自定減碳計畫，面對日益嚴格之溫室氣體減量管制趨勢，為達到廠區自我要求改善目標，本文以目前台積電僅次於PFCs第二大...

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