Treat Wastewater by Wastewater! Treatment of IPA and COD Wastewater by UV/AWD H2O2 Process
廢水處理廢水！以紫外光結合雙氧水 廢水程序處理異丙醇與化學需氧量廢水
Prospects of Advanced Process Ammonia Nitrogen Wastewater Treatment System-Discussing the Future Development of Supergravity Rotating Bed
先進製程氨氮廢水處理系統展望-談超重力旋轉床未來發展
脫氣膜(MD)系統自開始導入後便成為公司主要的氨氮廢水處理技術，但隨著近年來海外廠區的建置，脫氣膜已非唯一的選擇，隨著國內生物系統及美國日本stripper的建置再到各廠區次氯酸水折點加氯法的普及化，氨氮廢水的處理...
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The renovation in the old factory aims to break through existing limitations and create a green and safe working environment
老廠翻新-突破現有桎梏創造綠色及安全工作環境
隨著半導體製程不斷進步，工廠持續關注環保與職業安全，致力實現綠色製造和降低現場作業環境風險。F8廠區藉由黃光製程提升後原物料變更的契機，改良顯影劑供應方式，以2.38%TMAH槽車取代25%TMAH 混酸系統供應，...
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Improvement Of Water Quality In Washing Towers For Air Pollution Reduction(NMHC)
空氣污染(NMHC)減量之空污設備(洗滌塔)用水水質改善
F12P3以源頭分流改善及提升污染物防制設備處理效能的兩個主軸方式，致力於各項空氣污染減量(污染物為硝酸、磷酸、硫酸、氫氟酸、鹽酸、氯氣、氨氮、VOCs(NMHC代表)，達到源頭減量、降低排放濃度。盤查分析發現LW...
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Slurry Quality defense-SDS On-type Drum IQC
品質把關-化學研磨液原液直供系統強化品質檢驗
化學研磨供應系統的原液直供型系統對於原物料品質監控的防禦機制不足，當物料異常時只能在供應桶槽量測時才能發現，但此時已經供應至機台端造成線上影響。故本篇對原液直供型系統以現有系統架構新增原物料桶品質量測機制，當原物料...
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Increasing the capacity of Ammonium Sulfate Crystallization
循環經濟-硫酸銨結晶系統產能提升策略
2018年台積引入機械式蒸氣再壓縮技術處理硫酸銨廢液，2021年將此技術由中科導入至竹科與南科。竹科與中南科非同系統商建造，其系統設計有部分不同，故在實務運轉之操作參數亦有差異；F12B藉由控制結晶顆粒大小來穩定推...
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The Assessment of Zero Liquid Discharge in Advanced Packing Process wastewater
先進封裝製程廢水零排評估與規劃
隨著半導體製程發展，製程用水日益增多，如何有效將機台排水適當分流並利用水回收技術進行廢水回收成為廠務重要課題。近年來水處理技術不斷發展，實廠應用EDR/BWRO/蒸發罐/結晶罐等技術達成零排放目標，但近年全球公司注...
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Improving reclamation efficiency of Waste Piranha Solution
高濃廢硫酸再利用創新改良-廢硫酸稀釋法實務應用
廢硫酸回收系統(Waste Sulfuric acid recycling system)有其運轉規範要求，針對新建廠初期即面臨廢硫酸濃度過高、雙氧水(Hydrogen peroxide)濃度過低之狀況，若採用現況...
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The key challenges of advanced packaging process in Zhunan_Recovery for phosphoric acid wastewater
先進封裝廠零排放技術鑰徑-磷酸廢水資源化
含磷酸之化學藥劑被大量應用於先進封裝製程，而針對此含磷廢水做的化混加藥處理所產生的高導廢水及大量鹽類廢棄物將為未來邁向零排的最重要挑戰之一，故本篇研究藉由電透析法及薄膜法純化磷酸後再利用熱蒸發法使磷酸達再利用濃度，...
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Optimization of Hydrogen Peroxide Concentration Measurement in Slurry Supply System
化學研磨液供應系統H2O2濃度測量優化
本篇文章介紹氣化系統在面對新世代製程的需求下，對化學研磨液線上雙氧水濃度測量穩定性的改善。文章針對自動滴定儀(ATRS)的三大儀器架構進行改良，包括取樣元件、滴定元件和反應槽各自的缺點。
經過實驗討論...
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New Waste Sulfuric Acid Recycle System Development
新世代的廢硫酸回收處理系統開發
目前台積電各廠皆以鹽酸法去除廢硫酸中的雙氧水後回用於氨氮廢水處理等系統，本文針對既有鹽酸法所衍生之含氯物質(氯氣、氯離子)之腐蝕、殘留等問題作一探討和研究後，提出新的處理技術-硝酸法，並透過實驗室以及模廠兩種不同等...
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Development of a quality monitoring technique of low-pressure gases by applying the Optical Emission Spectroscopy(OES)
光譜分析儀應用於低壓氣體品質監測之技術開發
F15B廠務過去三年曾歷經了多次SiCl4氣體鋼瓶供應品質異常的狀況。每次事件都是發生在氣櫃切邊供應之後約莫20-60分鐘，線上機台反映測得N2不純物，今年在F18A與F...
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FAB6 UPW Degassing system retrofit-challenge and experience sharing
FAB6 純水脫氣系統架構升級-翻新挑戰與經驗分享
超純水系統在面對「如何達成系統穩定供應」的製程挑戰時，舊廠區首要面對的就是真空脫氣單元的翻新，在評比了早期設計的真空脫氣系統(VDG)以及新設廠區慣用的薄膜脫氣系統(MDG)的優缺點後，我們可以得知在晶圓廠的運轉需...
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Management of chemical supply backup system
化學品供酸系統備援機制管理
聯通管路長時間靜置於化學品中，伴隨著不純物析出等品質風險，因此為確保緊急開啟聯通管路供應時不造成品質的異常，本文藉ICPMS及 particle counter數據解析聯通管路內化學品品質，最終透過化學品的flus...
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Regenerated carbon-Green consumerism
再生廢碳-綠色相伴
本研究使用回收系統之廢碳製成再生碳並以新碳為比照組進行H2O2去除率比對，以AWR及含高濃度H2O2的CWR系統進行測試，紀錄...
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The condensation investigation of the supply dispense system of dichlorosilane
二氯矽烷供應系統之冷凝現象探討
二氯矽烷(dichlorosilane, DCS)是由矽、氫及氯所組成，化學式為SiH2Cl2，為半導體相關產業使用之重要化學品。廠務DCS供應系統可分為兩大模式：氣櫃直...
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Challenges of Underground Hydrogen in the Semiconductor Industry
地下氫氣應用於半導體產業之挑戰
氫氣地下管之應用為未來半導體產業之趨勢，為了能夠提升工廠運轉穩定度，除了參考中油地下管設計及高雄氣爆案例，另外委託第三方社團法人進行地下管完整性評估並執行相關削減措施。為了提升工廠品質，制定氫氣不純物濃度標準及工廠...
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