TSMC 廠務季刊

2015.6, Vol.18 / 技術專文

Ultrapure Water Inspection Method for 10 nm

利用掃描式電子顯微鏡之超純水中的10奈米微粒子檢測技術

文 | 呂佩真 | 新廠設計部 | 趙樹華 | 新廠設計部 | 市原史貴 | 奧璐佳瑙科技股份有限公司 |

近年，隨著半導體裝置/元件(Device)的高度積體化，促使製造技術的細微加工化發展，線寬變得越來越狹窄。半導體製造領域的超純水，必須提供高純度的水質，特別是直接影響良率的微粒子(Particle)，其粒徑與濃度都...

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2015.6, Vol.18 / 技術專文

LPC(Large Particle Count) Control

STI 化學機械研磨液之微粒子數量控制

文 | 江宜蓁 | 陳怡蒼 | 曾誌江 | 新廠設計部 |

隨著半導體製程緊湊步伐的演進，化學機械研磨(Chemical-Mechanical Planarization, CMP)，將面臨許多技術瓶頸，刮傷缺陷(scratch defect)即為一例，本文將介紹如何在化學...

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2015.6, Vol.18 / 新象新知

Membrane Filtration Capability Evaluation Method Establishment & Development and Application of Inorganic Membranes for Nanoparticle Removal

薄膜過濾功能鑑別方法建立及無機薄膜於奈米顆粒去除之開發與應用

文 | 林恩添 | 廠務技術發展部 | 童國倫 | 國立台灣大學化學工程學系 |

本文說明建立金粒子搭配ICP-MS 分析之粒子阻擋法作為薄膜過濾功能之鑑別方法，此法最大優點為突破光學顆粒計數器(OPC) 分析之限制(20~50nm)。以此法檢驗本文開發之無機濾膜整體去除效率可達99.9%，顯著...

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2015.3, Vol.17 / 技術專文

Automatic Material Handling System Design for GIGA FAB Cross Phase Bridge

超大晶圓廠間的自動晶圓傳輸橋接設計

文 | 董啟峰 | 製造技術中心 |

台積電在卓越製造技術有一重要因素即為導入超大晶圓廠 (GIGA FAB) 概念，而跨接橋樑 (Cross Phase Bridge) 的設計則確保超大晶圓廠運作的成功。本文主在說明一個跨接橋的設計需考慮何因素，並利...

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2015.3, Vol.17 / 技術專文

Process Improvement: Service Procurement Re-engineering

流程改善：服務採購流程再造

文 | 陳亭蓁 | 新廠規劃部 | 黃琬婷 | 企業流程精進三部 | 賈芸如 | 新廠規劃部 |

現今企業，皆無法僅依自產自製而滿足營運需求，採購行為已為企業運作必然進行之作業程序。而就公司而言，為加速運作流程，降低相關運轉費用，早已將大部分採購流程導入電子化作業系統。但隨著公司組織日益龐大，資本與經常性支出顯...

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2014.12, Vol.16 / 技術專文

Better Landscaping with Green Building Certification: A Case Study of the Science Park

發展綠建築認證對科學園區景觀推展之期許

文 | 趙日新 | 川昱永續環控有限公司 |

自2006年起，台積電帶頭引入美國LEED綠建築認證系統，並致力與台灣綠建築標章EEWH整合後，帶動了科技大廠自我要求取得綠建築認證的風潮，但生態復育不是取得綠建築標章就一定可以達到，而應從景觀與生態規畫的角度，使...

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2014.12, Vol.16 / 技術專文

Modeling an Ecological Corridor with Green and Blue Elements in Southern Taiwan Science Park

南科水與綠廊道的生態空間形塑

文 | 蔡再益 | 老圃造園工程股份有限公司 | 李心元 | 公共設施服務部 |

本文自景觀生態學之理論與觀點，綜觀台南科學園區台南基地的空間環境，其「公園化園區；園區公園化」的E-Park（公園化科技園區）概念，將基地內點、線、面之綠帶作有系統的規劃串連，讓園區宛如一座充滿綠意的大型公園，呼應...

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金筆獎入圍

2014.12, Vol.16 / 技術專文

Eco-design and Landscape Construction for a Sustainable E-Park

永續基地綠園區生態環境設計與景觀營造

文 | 蔡再益 | 老圃造園工程股份有限公司 | 伍建南 | 公共設施服務部 |

生態設計為整合人類使用目的與自然生態的一種設計方法，將生態原理應用到規劃、設計及工程等方面，以達到環境永續發展之目的，本文主要探討台積電廠區在景觀設計上使用的生態設計方法，透過文獻回顧與相關理論，歸納出台積電景觀設...

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2014.12, Vol.16 / 技術專文

Construction of Ecological Conservation Landscaping Start from the TSMC Taiwan Native Plants Afforestation

建構以生態保育為目標的廠區綠化 - 從台積電原生植物為起點

文 | 胡維新 | 國立自然科學博物館 |

在台積電中科十五廠建廠即注意到生態保育的重要，積極將傳統工業區的綠化從「環境綠化」提升至「生態綠化」的層次，引進大量台灣本土的樹種，總計有66科106屬125種，藉以提高廠區物種的多樣性，並配合流動水體，搭配地被、...

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2014.12, Vol.16 / 技術專文

Environmental Conservation of High-Tech Facility — Greening Condition and Ecological Restoration Prospect in Central Taiwan Science Park

科技廠房環境的保育 - 中科植栽現況與生態復育展望

文 | 邱清安 | 國立中興大學 |

台積公司為善盡企業之社會責任、強調生態保育之理念，在中科基地建廠過程中，依植物本身生物學特性配合當地環境及使用目的來進行綠美化工程應用，並採用多樣化的植物種類進行景觀綠美化；目前也已完成部分原生植物之培育與繁殖，可...

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2014.12, Vol.16 / 技術專文

The Kingdom of Butterfly Reapprears - Let the Luciola Ficta Olivier Light up TSMC

重現蝴蝶王國美譽讓黃緣螢點亮台積電

文 | 林南忠 | 國立清華大學 |

齊柏林拍攝的『看見台灣』電影，讓許多人看到台灣的美麗與哀愁，其中引人省思的畫面是空污及濫墾的環境破壞；當追求經濟發展的土地開發是不得不的過程，就必須顧慮環境補償的必要做法。事實上，台灣還是存在著許多大企業對環境的關...

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2014.12, Vol.16 / 技術專文

Shaping a Landscaped Park - A Themed Image

景觀主題形象 - 塑造具特色的公共藝術園區

文 | 馬匡偉 | 公共設施服務部 | 黃雅惠 | 公共設施服務部 | 鄒芷芃 | 老圃造園工程股份有限公司 |

「景觀」所包含的面向包羅萬象，除了大自然景色的「自然景觀」，還有因著人類創造或文化演進所遺留的「人文景觀」，而公共藝術亦為人文景觀的一種展現方式。本研究挑選了台南科學園區內不同類型之公共藝術作品再加上幾米的創作，一...

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2014.12, Vol.16 / 技術專文

Creating an Environment of Contentment at TSMC with Leisure and Sport Facilities

台積電運動休閒機能創造幸福感

文 | 徐嘉鴻 | 榮一弘 | 公共設施服務部 |

近年來，休閒意識的提升與健康觀念的興起，使員工對於運動休閒的需求日益增加，因此休閒健身運動在休閒與健康中扮演著相當重要的角色。隨著台積電的快速建廠與發展，休閒機能的設施及設備更是成為廠區規劃時不可缺少的一部份。而創...

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2014.12, Vol.16 / 技術專文

Corporate Volunteers’ Role in TSMC Green Park

企業志工在台積電綠園區所扮演的角色及效益

文 | 胡佩青 | 公共設施服務部 |

企業透過志工提供的志願服務，是許多公司機構展現企業社會責任的重要策略，而台積電節能志工及生態志工就是實現其綠色環境教育的重要一環。本研究透過已執行的節能專業與設施安全實務經驗、服務鄰近區域學校協助其改善能源效率的範...

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2014.12, Vol.16 / 技術專文

Combine and Apply Taiwan Southern Science Park and TSMC's Public Facilities to Establish a Humane & Public-friendly Park

結合台南科學園區與台積電之公共設施發展應用 - 建立友善的人文園區

文 | 鍾振武 | 公共設施服務部 | 賴柍錤 | 南部科學工業園區管理局 |

台南科學園區為南台灣的高科技工業重鎮，除了工業生產外，更考慮了人文、藝術、環保、生活的元素，因此在公共設施的應用不同於以往的傳統工業區，無論是無縫接駁的大眾運輸或是綠建築、節水節能、碳足跡認證及公園綠地等以及文化藝...

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2014.9, Vol.15 / 技術專文

Application of 5D System for New Fab Construction

5D系統在建廠實務應用的探討

文 | 賴慶鴻 | 新廠營建部 |

新工處導入5D軟體來輔助建廠已歷經十餘件專案，本文主要探討建廠階段在導入5D後的作業流程與傳統流程的差異。文中說明將以5D的作業流程為主軸，並針對5D與傳統做法的差異做進一步的分析，最後以表列方式彙整各項差異，並對...

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