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2015.9, Vol.19 / 技術專文
Quality Examination of Cast Resin Transformer
模鑄式變壓器的品質試驗探討
文 | 林永祥 | 廠務品質管理部 |
配電變壓器為晶圓廠生產的必要供電設備，而模鑄式配電變壓器更是被廣泛的用於半導體業、光電業，電子業及運輸業等，但仍偶有變壓器故障之事故發生，因此變壓器的製造品質將影響半導體晶圓生產與工廠安全；基於過去所發生的事故案例...

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2015.9, Vol.19 / 技術專文
161kVPower SystemIntegrationTest
特高壓電力系統整合測試
文 | 曾韋然 | 竹科廠務二部 |
本文主要說明政府機構（台灣電力公司）作業及特高壓電力整合測試項目，包含台電特高壓線路，廠內161kV主變壓器，161kV GIS設備送電前的各種功能確認及特性試驗、送電之後的負載校驗，整合試驗之過程紀錄。...

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2015.9, Vol.19 / 技術專文
lectrical ExplosionPrevention Guidelines and Practice
電氣防爆規範與實務
文 | 徐永政 | 廠務品質管理部 |
本文介紹防爆危險場所之防爆設備安裝、選用規則，以及新建廠之防爆設備規劃。依新建廠防爆區之危險區域劃分結果，大部分區域危險等級劃分為Zone 2，有少部分區域劃分為Zone 1（易燃液體供應區/儲存區之集液井溝）及Z...

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2015.9, Vol.19 / 技術專文
An Easy Approach to TSMC's Solar Power Generation System
輕鬆了解台積公司太陽能系統的安裝
文 | 張清淦 | 新廠工程管理部 |
台積電一向對於綠能的建制以及推廣不落人後，近年來陸陸續續在全台的台積電基地裏，慢慢聳立一群又一群的太陽能系統 圖一。 時至今日，台積電在全台已經安裝了超過1.5MW的太陽能系統，在...

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金筆獎
2015.9, Vol.19 / 技術專文
Ammonia Removal Analysis by Combing RO Concentration and the MAP Method
二次逆滲透濃縮聯合磷酸銨鎂沉澱法之氨氮減量分析研究
文 | 蔡宇軒 | 王正維 | 陳生鵬 | 竹科廠務三部 |
對半導體製造業大廠而言，水資源的高度依賴性與廢水排放需求，為汙染減量與環境改善之標竿，近年政府特別將氨氮廢水視為重點改善目標，各科學園區藉由訂定放流汙水納管限值或規劃除氮廢水系統積極因應，面對日益嚴格之氨氮減量管制...

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2015.9, Vol.19 / 技術專文
Multi-Function Wet Scrubber Design Development and Application
酸鹼通吃 - 一機多用型濕式洗滌塔設計開發與應用
文 | 何峻嘉 | 新廠設計部 | 陳駿華 | 新廠設計部 |
隨著半導體精密製程快速演進，機台製程排氣酸鹼分流亦越來越困難而造成酸鹼混排處理不當，使產生排氣煙囪冒白煙的情況越來越容易發生。本文將針對各世代製程排氣處理對於洗滌塔設計的發展沿革進行探討說明，並以既設廠區設計搭配原...

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點閱 (62)
2015.9, Vol.19 / 技術專文
Feasibility Study of Coiled Tube
無縫盤管應用在氣體配管的可行性評估
文 | 徐偉翔 | 新廠工程管理部 |
目前廠內使用的特殊氣體管路都以四米不銹鋼管路銲接施作方式，為其主要之工法，而其氣體管路總長度都超過百米以上，所以管路銲接的點數非常之多，耗費甚多人力與機具用以進行管路施作與品質控管。而銲接的點數過多就會有品質與安全...

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點閱 (27)
2015.9, Vol.19 / 技術專文
The Considerations of Building Planning and Construction Quality Control in accordance with the Changes of CNS Standards Related to Fire-Resistance
從建築物構造耐火試驗法國家標準變更談建廠規劃及品管注意事項
文 | 林子傑 | 國立成功大學防火安全研究中心 |
經濟部標準檢驗局參照國際ISO 834系列標準於2014年11月3日公告制定CNS 12514-1、4、5、6、7、8、9等7部新版建築物構造構件耐火試驗法系列標準，內政部營建署亦因應國家標準變更，訂定2015年6...

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2015.9, Vol.19 / 技術專文
Systematic Removal of Wooden Template - Wooden Template Removal with Platforms to Enhance Efficiency and Safety
木模板拆除系統化 - 研究以平台式拆除木模板提升效率及工安
文 | 李宗軒 | 新廠工程管理部 |
傳統木模板拆除其工率及安全上有賴豐富經驗之師傅，然而國內技術工人有老化趨勢以及技術傳承斷層的問題，如何提高施工效率與安全之作業環境，便形成新建廠專案管理重要課題。本文透過木模板拆除載具比對試驗，並參考無塵室平台施工...

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2015.9, Vol.19 / 新象新知
The Check Damper Development and Application for AAS System
逆止風門開發及應用
文 | 葉俊賢 | 竹科廠務三部 | 楊詠翔 | 南科廠務四部 |
由於半導體製造技術愈趨複雜化及精密且產能不斷的提升，讓排氣系統面對的不只是要符合日益嚴格的法規要求，更要提供更穩定及安全的負壓；這無疑是排氣系統的一大挑戰。 本文所探討的是目前排氣系統中平時最不被注意，但又是在操作...

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2015.6, Vol.18 / 技術專文
Application of Micro Vibration On-line Monitoring System
微振動即時監測系統之應用
文 | 吳信達 | 廠務技術發展部 |
本文將先簡單舉例說明「振動」對半導體機台的影響性，再介紹國際上常用的Colin Gordon微振動準則(VC-Curves)，讓讀者了解振動對產能、良率的影響性。之後的章節將說明微振監測系統的架構與應用範圍，以及與...

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2015.6, Vol.18 / 技術專文
Effluent Reclamation - Application of Advanced Oxidation Process
放流水再生利用 - 高級氧化法(AOP)的應用
文 | 萬棟勳 | 廠務技術發展部 |
放流水再生利用的關鍵技術是去除放流水中有機物，尤其是低分子量有機碳氮，使再生水水質達到相當於自來水水質低分子量有機物(含尿素)含量水準。 高級氧化法(AOP)是種新的水處理方法，利用氫氧自由基(OH．)的強氧化力，...

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2015.6, Vol.18 / 技術專文
300mm Fab Hazardous Area Planning and Design Guideline and Future Challenge
防爆電氣規劃設計指引與未來挑戰
文 | 許家榮 | 新廠設計部 |
本文透過整理相關國內外防爆電氣規範、參考內部及保險公司規定與防爆電氣區劃量化計算結果，擬定300mm Fab防爆電氣規劃設計指引流程提供設計者與使用者參考。...

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2015.6, Vol.18 / 技術專文
Ultrapure Water Inspection Method for 10 nm
利用掃描式電子顯微鏡之超純水中的10奈米微粒子檢測技術
文 | 呂佩真 | 新廠設計部 | 趙樹華 | 新廠設計部 | 市原史貴 | 奧璐佳瑙科技股份有限公司 |
近年，隨著半導體裝置/元件(Device)的高度積體化，促使製造技術的細微加工化發展，線寬變得越來越狹窄。半導體製造領域的超純水，必須提供高純度的水質，特別是直接影響良率的微粒子(Particle)，其粒徑與濃度都...

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2015.6, Vol.18 / 技術專文
Purge FOUP AMC Chelating with Chilling Impinger Sampling Technique for N16 Generation
16奈米世代晶圓傳送盒吹淨微污染耦合冷凝取樣新式技術
文 | 郭啟文 | 廠務技術發展部 |
16奈米與20奈米之量產製程，廣泛應用具吹淨功能的晶圓傳送盒 FOUP(Front Opening Unified Pod)內。然因FOUP內可供採集的容積限制與其內含之污染濃度極其微量，故甚難就晶圓於FOUP內部...

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2015.6, Vol.18 / 技術專文
Application of Photoionization Detector for Real-time AMC Monitoring in Cleanroom
光離子化偵測器在潔淨室內空氣分子污染物即時監控的應用
文 | 陳駿華 | 新廠設計部 | 賴盈宏 | 新廠設計部 | 莊青龍 | 沃亞科技股份有限公司 |
已有證據顯示空氣分子污染物(AMC)對半導體廠的製程良率具有顯著影響，不少案例證實其對晶圓缺陷(Defect)的直接關聯，包含腐蝕、成形異常或電性異常等問題，因此部份大廠將AMC納入潔淨室環控因子；另外，隨著半導體...

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