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2023.12, Vol.52 / 技術專文
The Assessment of Zero Liquid Discharge in Advanced Packing Process wastewater
先進封裝製程廢水零排評估與規劃
文 | 林俊凱 | 先進封裝廠務一部 |
隨著半導體製程發展，製程用水日益增多，如何有效將機台排水適當分流並利用水回收技術進行廢水回收成為廠務重要課題。近年來水處理技術不斷發展，實廠應用EDR/BWRO/蒸發罐/結晶罐等技術達成零排放目標，但近年全球公司注...

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點閱 (46)
2023.12, Vol.52 / 技術專文
The key challenges of advanced packaging process in Zhunan_Recovery for phosphoric acid wastewater
先進封裝廠零排放技術鑰徑-磷酸廢水資源化
文 | 李明遠 | 洪新雅 | 新竹廠務九部 |
含磷酸之化學藥劑被大量應用於先進封裝製程，而針對此含磷廢水做的化混加藥處理所產生的高導廢水及大量鹽類廢棄物將為未來邁向零排的最重要挑戰之一，故本篇研究藉由電透析法及薄膜法純化磷酸後再利用熱蒸發法使磷酸達再利用濃度，...

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2023.12, Vol.52 / 技術專文
Advanced Process Cobalt Wastewater Treatment and Recycling Achievements
先進製程含鈷廢水處理及其資源化再利用成果
文 | 蔡和生 | 曾杰玉 | 台南廠務七部 |
台積電新世代製程新增使用含鈷化學品及靶材，導致廢水鈷濃度提高，因鈷為國際癌症研究機構定義之致癌物，基於企業社會責任台積電以ICP-OES檢測偵測極限(2.3ppb)作為自主管理標準，本文主要呈現先進製程廠區含鈷廢水...

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2023.12, Vol.52 / 技術專文
Practice of Biological Process Treatment in Organic Wastewater and Innovative Ideas
生物工藝處理TMAH廢水實踐分享與創新發想
文 | 周嚴 | 趙一凡 | 上海廠務部 |
隨著溫室效應的不斷增強，碳達峰、碳中和逐漸成為全球持續關注的話題，而作為半導體行業的領頭羊，公司也在踐行ESG理念，極大地鼓勵並逐步建成建立環境友好型生產處理產綫。在此基礎上，上海厰通過多種小試實驗，結合國內其他行...

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2022.12, Vol.48 / 技術專文
COD Reduction Strategy and Biological System Operation Management in Advanced Process Plants
先進製程廠區放流水COD削減策略及生物系統運轉管理
文 | 吳尚興 | 林俊龍 | 魏仲君 | 台南廠務七部 |
隨半導體先進製程發展，晶圓乾燥使用的IPA(Isopropyl alcohol)用量大幅增加(N5約為N7製程的1.5倍)。同時，WET製程中單槽式晶圓濕式清洗機台占比增多，此類型機台排水量大且易造成IPA與其他種...

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2022.12, Vol.48 / 技術專文
System Design and Removal Strategy of PFAS from Semiconductor Wastewater
製程廢水中短鏈全氟化合物去除策略與設計規劃
文 | 蔡宇軒 | 何顯利 | 新廠設計部 |
半導體界近年積極開發工業再生水技術，將自身排放的工業廢水再製供前段製程重新使用，廢水中不易被水處理系統去除的短碳鏈全氟化合物，雖然台灣目前未有制訂法規管制排放濃度，但已開始被重視是否影響再生水水質。本研究探討多方文...

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2020.6, Vol.36 / 技術專文
Treatment of Advanced Semiconductor Cobalt Sulfate Wastewater
先進半導體硫酸鈷廢水特性與處理技術探討
文 | 謝文彬 | 中科廠務五部水處理二課 |
由於半導體先進製程演進，化學品使用成分複雜，產生製程廢水處理亦趨困難，其中，硫酸鈷廢水主要來源為ECP(Co)與CMP(Co)製程所產生，且先進半導體鈷金屬放流濃度要求為ng/L(ppb)等級，此為先進半導體製程首次面對...

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2020.6, Vol.36 / 技術專文
New Technology of NH4N High Removal Efficiency and Recycling in Caustic Wastewater-Stripper
鹼性廢水中氨氮的高效脫除與資源再利用新技術
文 | 韓華楊 | 劉建國 | 南京廠務一部 水處理課 |
對於半導體製造業大廠，廢水有效處理達到排放要求，高濃度的氨氮廢水處理格外重要，尤其針對南京廠，根據最新出臺的《江蘇省半導體行業排放標準》，政府規定的硫酸鹽類濃度小於600ppm，且氨氮外排標準已由45ppm 調整至20p...

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2020.6, Vol.36 / 技術專文
Crystallization Technology of Semiconductor Waste Sulfuric Acid Recovery to Industrial Grade Ammonium Sulfate Liquid
半導體廢硫酸回收轉製成工業級硫酸銨乾燥技術探討
文 | 曾俞勳 | 中科廠務二部 | 劉憲文 | 南科廠務七部 |
為了達成「廢棄物產出最小化與資源回收最大化」的循環經濟理念，台積公司持續推動源頭減量及廠內廢棄物回收再利用。 本次研究導入普遍用於化工業的「結晶乾燥系統」，對硫酸銨廢液進行蒸發濃縮產出工業級硫酸銨晶體，不但節省硫酸銨委外...

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2020.6, Vol.36 / 技術專文
Discussion and Practice of COD Reduction in Wastewater
外排廢水化學需氧量減量方法探討與實務
文 | 吳世霖 | 南科廠務五部 |
隨著製程技術持續推進，許多新的製程機台以及化學品首次導入，我們發現新建廠區有放流水之 COD 值偏高問題。為解決這個問題，我們一方面進行廠內 COD 污染源之追查，透過源頭分析及查找，發現 IPA 為廢水中 COD 之貢...

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2017.9, Vol.27 / 技術專文
Advanced Organic Treating Wastewater with Wastewater– Wastewater Treatment with Bio System
以廢水治廢水─ 以生物處理有機廢水
文 | 李仲弘 | 陳柏翊 | 中科廠務五部 |
台積公司廠務製程廢水分流確實，其優勢在於分流後，可規劃流程簡單且較小系統設計量，但也因此需添加更多化學品，例如酸、鹼廢水分流處理後，酸鹼廢水各自需添加化學藥劑進行中和。有鑑於此，我們希望尋找「以廢水治廢水」之機會點...

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2017.9, Vol.27 / 技術專文
Reverse Flush Strategy Analysis of Reverse Osmosis in High Concentration Wastewater Environment
逆滲透膜於高濃廢水下之反向流交互產水操作策略
文 | 蔡宇軒 | 王世民 | 竹科廠務三部 |
對半導體製造業大廠而言，水資源高度依賴與廢水排放品質，視為汙染減量與環境改善之標竿，2016年新設之逆滲透二段濃縮處理設備，負責進階回收內含氫氟酸廢水與廢氣洗滌塔廢水之逆滲透濃縮廢水，該廢水導電度極高，並內含多種化...

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金筆獎
2015.9, Vol.19 / 技術專文
Ammonia Removal Analysis by Combing RO Concentration and the MAP Method
二次逆滲透濃縮聯合磷酸銨鎂沉澱法之氨氮減量分析研究
文 | 蔡宇軒 | 王正維 | 陳生鵬 | 竹科廠務三部 |
對半導體製造業大廠而言，水資源的高度依賴性與廢水排放需求，為汙染減量與環境改善之標竿，近年政府特別將氨氮廢水視為重點改善目標，各科學園區藉由訂定放流汙水納管限值或規劃除氮廢水系統積極因應，面對日益嚴格之氨氮減量管制...

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2014.6, Vol.14 / 技術專文
New Technology for Ammonia Recycling from Wastewater
創新氨氮廢水資源化
文 | 李玫 | 新廠設計部 | 傅正貴 | 十四廠七期專案 | 王俊元 | 十四B廠廠務一部 |
半導體事業所排放的廢水常含有高濃度的氨氮與雙氧水，具有高污染濃度、高生物毒性等特性，依新制之放流水標準，對於氨氮廢水的處理是刻不容緩的。本文介紹以脫氣膜(MD)的處理方式，將廢水中的氨氮轉換為硫酸銨廢液，企圖將廢水...

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點閱 (57)
2014.3, Vol.13 / 技術專文
Integration Analysis and Performance of Stormwater Management Practices and Drainage Systems
廠區暴雨管理與排水系統之整合分析與績效
文 | 張登勝 | 十四A廠製造三部 | 莊雅鈞 | 國立成功大學 | 張行道 | 國立成功大學 |
本研究整合分析新建廠區之暴雨管理與排水系統。先經由國內外文獻回顧，了解降雨強度與排水規劃間之關聯，並整理暴雨管理的種類及做法，然後了解廠區綠地、花園等景觀設計，計算實際排水系統與景觀設施保水量。 研究發現，新建廠區...

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金筆獎入圍
2012.7, Vol.07 / 特別企劃
Recycling of Alkaline Wastewater from Semiconductor Plant
半導體廠鹼性廢水的回收與資源再利用技術
文 | 丁瑞華 | 新廠營建部 | 陳國益 | 兆聯實業股份有限公司 |
含氨 (Ammonia) 的鹼性廢水是半導體廠棘手的問題，因為水中除了氨外，往往還伴隨著高濃度的雙氧水。以回收的方式來濃縮廢水中的氨，並導入脫氣膜 (Membrane Degasifier) 與硫酸反應生成硫酸氨。...

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