Treat Wastewater by Wastewater! Treatment of IPA and COD Wastewater by UV/AWD H2O2 Process
廢水處理廢水！以紫外光結合雙氧水 廢水程序處理異丙醇與化學需氧量廢水
A Study of Ultrapure Water Nanoparticle Detection Technologies
談超純水 奈米顆粒偵測技術
對於液體中顆粒數量之檢測，現今大都以雷射散射法作為判斷依據，受限於光學繞射極限，要偵測到 20nm 以下之奈米顆粒有很高難度，特別是在液體中顆粒數量稀薄的狀況下，如超純水；同時，超純水的奈米顆粒潔淨度又與半導體製程...
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金筆獎入圍
TMAH Reclaim in Green Recycle
四甲基氫氧化銨(TMAH)綠色循環回收再利用
以四甲基氫氧化銨(TMAH) 作為顯影劑，已廣泛使用在半導體業及光電產業等高科技產業，所產生之污染也因此與日俱增。TMAH廢液同一般鹼類具有腐蝕性，亦因製程之不同，不純物可能包含: 光阻劑、介面活性劑、重金屬陽離子...
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Applying Leveling Agent in W-CuSO4 Plating System for Performance Enhancement
平整劑應用於液中求銅系統產能提升
廢液電解中常因部分干擾物質造成電鍍層外表結構不一定規則狀，在共同的電流下，端子離陽極距離較近的部位稱為局部高電流區，局部高電流區電解形成速度較快，在惡性循環下造成銅花的情形發生，進而造成橋接短路發生，廢液電解中最常...
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Cobalt Recycle Methodology Study on Waste Water Treatment
廢水外排不鈷息： 先進製程廢水全鈷回收
鈷被大量應用於晶圓先進製程，而其產生之含鈷廢水造成的重金屬汙染對於環境有很大衝擊，需要一個妥善處理含鈷廢水方法，將處理後含鈷有害廢棄物轉換為有價的金屬資源回收，並減少避免處理過程中的衍生環境汙染風險。本篇研究以螯合...
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Prospects of Advanced Process Ammonia Nitrogen Wastewater Treatment System-Discussing the Future Development of Supergravity Rotating Bed
先進製程氨氮廢水處理系統展望-談超重力旋轉床未來發展
脫氣膜(MD)系統自開始導入後便成為公司主要的氨氮廢水處理技術，但隨著近年來海外廠區的建置，脫氣膜已非唯一的選擇，隨著國內生物系統及美國日本stripper的建置再到各廠區次氯酸水折點加氯法的普及化，氨氮廢水的處理...
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A Study of Ammonium Sulfate Concentrated Technique
硫酸氨提濃技術探討
隨著法規納管標準漸趨嚴謹，半導體製程中廣泛使用氨水及硫酸，造成排放廢水含有高濃度氨氮以及廢硫酸廢棄物。業界普遍以脫氣膜方式去除水中氨氮濃度，進而衍生產出硫酸氨廢棄物。故本文介紹利用氨氮系統參數優化調整及硫酸氨回流等...
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Special gas rapid quality detection system
特殊氣體品質快篩系統
半導體先進製程不斷提升下，面臨著如何確保氣體品質以提高產品良率與降低製程成本等問題。針對快篩檢驗鋼瓶氣體品質開發特殊氣體品質快篩系統(Special Gas Rapid Quality Detection System)...
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The Strategies and Risk Controls of Tainan Science Park Reclaimed Water Implemented in T-Site TSMC.
南科再生水導入規劃及風險控管對策
台積公司為實現綠色製造，與政府合作建立台積電南科再生水廠，其水體主要來源組成為民生污水與工業廢水回收再利用。為了能夠成功導入製程用水取代自來水，且不影響工廠運轉及晶圓製造，本文以與再生水廠簽訂之21項合約水質為標準...
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The Feasibility of Using UV254 to Replace TOC/COD Analyzer
水質監測以UV254取代TOC/COD分析儀可行性評估
因應半導體製程日趨進步，傳統總有機碳(Total Organic Carbon, TOC)及化學需氧量(Chemical Oxygen Demand, COD)監測方式分析時間長，較難反映水質的快速變化，本文根據Beer...
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Effluent Reclamation-Optimization in Operation of Process Pilot
工業再生水研發─ 回收模廠運轉最佳化
再生水模廠(AOP Pilot)設備於2015年11月導入晶圓工廠排放廢水，成功克服原水高濃度TOC，然處理流程複雜及運轉成本較高；我們完成高難度的晶圓廠排放廢水，接著最終目標是處理南科放流水，從中找出流程簡化且兼...
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A Study of Biological Acute Toxicity
談放流水生物急毒性之研究
本文主要分析半導體廠廢水生物急毒性潛在問題，建立主要毒性物質之管制標準，以作為毒性之減量量及處理理方法選用依據。目前放流水生物急毒性標準檢測方法需48至96小時才能得知急毒性數值，本研究期能即時掌握放流水質狀況，維...
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Withdraw Copper from Waste Copper Sulfate-Application of Annular Cylindrical Electrochemical Cells
液中求銅－製程廢硫酸銅回收裝置應用
硫酸銅（CuSO4）為LSI銅製程之重要原料之一，其製程（ECP）廢液濃度可達20 g/L以上，極具回收價值。現行因放流水質限制（竹科放流水銅檢出量需小於1ppm），本公司高濃度廢硫酸銅均採委...
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Crystallization Technology of Semiconductor Waste Sulfuric Acid Recovery to Industrial Grade Ammonium Sulfate Liquid
半導體廢硫酸回收轉製成工業級硫酸銨乾燥技術探討
為了達成「廢棄物產出最小化與資源回收最大化」的循環經濟理念，台積公司持續推動源頭減量及廠內廢棄物回收再利用。 本次研究導入普遍用於化工業的「結晶乾燥系統」，對硫酸銨廢液進行蒸發濃縮產出工業級硫酸銨晶體，不但節省硫酸銨委外...
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Improvement Of Water Quality In Washing Towers For Air Pollution Reduction(NMHC)
空氣污染(NMHC)減量之空污設備(洗滌塔)用水水質改善
F12P3以源頭分流改善及提升污染物防制設備處理效能的兩個主軸方式，致力於各項空氣污染減量(污染物為硝酸、磷酸、硫酸、氫氟酸、鹽酸、氯氣、氨氮、VOCs(NMHC代表)，達到源頭減量、降低排放濃度。盤查分析發現LW...
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金筆獎入圍
Treat Wastewater by Wastewater! Treatment of IPA and COD Wastewater by UV/AWD H2O2 Process
廢水處理廢水！以紫外光結合雙氧水 廢水程序處理異丙醇與化學需氧量廢水
本文測試目的為利用高級氧化程序處理廠內含IPA與COD有機廢水，測試中利用廠內含H2O2廢水當為水處理原料並結合UV催化系統所形成OH‧自由基處理廠內含高濃度有機廢水，經由測試結果IPA去除率達99.5%，COD和...
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The Technology and Opportunity of Zero Liquid Discharge
業界廢水零排技術與機會點
降低環境污染的議題是各國致力追求的目標。從2015年12月國內友廠於新聞發佈製程廢水零排放開始，零排變成各行各業所討論的標竿，但零排放需付出更多的電能，對於環境不見得是友善。本文透過分析業界零排放的重要技術(MBR...
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