TSMC 廠務季刊

2018.12, Vol.32 / 技術專文

The Discussion of Arsenic Compounds Measurement in Exhaust of Local Scrubber

砷尾氣處理設備量測方法探討

文 | 顏雅琳 | 六廠工安環保部 | 陳怡兆 | 六廠廠務部 |

砷化氫為半導體業製程氣體，具有毒性及致癌性，反應殘氣由機台排出後，進入吸附式尾氣處理設備處理，去除效率則以砷化氫偵測器確認，經過處理的尾氣會再經過中央濕式洗滌塔後由煙囪排出。處理過程中，部分砷化氫轉化為固態砷化物，...

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2018.12, Vol.32 / 技術專文

A Case Study on Improvement to Mixed Acid Exhaust System for New Process Tools

先進製程酸性排氣混排改善對策探討

文 | 李宗元 | 十二B 廠工安環保部 | 吳淑嫺 | 設備物質安全專案 |

隨著公司近年來陸續進入先進製程，使用的氣體及化學品種類變得更多，生產過程也變得更複雜，衍生出排氣煙道中有混排及白煙問題，顯示既有系統已無法完全妥善且有效的處理製程廢氣。本文使用半定量及定量儀器進行採樣，鑑別出酸性排...

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2018.6, Vol.30 / 技術專文

The Study for Enhancement in the Removal Efficiency of Central Scrubber with Bubble Tower

罩泡塔應用於立式洗滌塔處理效率改善研究與探討

文 | 許顥儒 | 潘衍霖 | 陳能泉 | 中科廠務一部 |

半導體廠內洗滌塔為主要空氣污染物去除設備，但半導體廠有酸鹼混排問題，且氨氣佔年總排放量相對高，酸排氨氣主要來源為酸槽機台，在鹼洗酸性排氣洗滌塔中去除效率不佳。因此本文的目的在於探討改善既有立式洗滌塔的廢氣處理效率，...

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2018.6, Vol.30 / 技術專文

Local Scrubber Clogging Improvement and PM Frequency Reduction

製程廢氣處理設備阻塞改善與保養頻率有效減量

文 | 王仁暉 | 南科廠務三部 |

製程廢氣處理設備因為會有副產物的產生，而需進行預防保養，但若副產物過於頻繁的阻塞問題發生，使得保養頻率升高，造成人力資源投入與負荷過大，即為異常阻塞事件，因此必須要進行各項阻塞改善措施去減量。本文即以南科廠所遇到的...

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2018.6, Vol.30 / 技術專文

The By-product and Parameter of Burning Type Local Scrubber

燃燒水洗式洗滌塔操作參數與副產物探討

文 | 范銘哲 | 王仁暉 | 楊孟堯 | 南科廠務三部 |

製程廢氣中危害性氣體及全氟碳化物(PFCs)僅能由現址式空氣處理設備(Local scrubber)處理削減，而Local scrubber之操作參數與製程廢氣去除效率息息相關，為確保削減效率，大多以「Worst ...

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2018.6, Vol.30 / 技術專文

Application of Demister in Removal Performance Enhancement of Inorganic Acid and Base in Scrubber

水力薄膜應用於洗滌塔中無機酸鹼去除效率之探討

文 | 張皓隆 | 南科廠務三部 |

半導體製程中經常使用到大量的有機溶劑及化學酸鹼溶液，部分化學物質會經由揮發或者高溫霧化而被排氣系統所收集至中央洗滌塔處理後排放，其中以濕式蝕刻製程因酸鹼混排延伸出排氣風管結晶與煙囪排放白煙以及硫酸微粒等問題最為困擾...

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2018.6, Vol.30 / 新象新知

Application of Non-thermal Plasma Catalysis for Energy Saving and Greenhouse Gas Reducing

低溫電漿加觸媒─節能減碳新技術

文 | 謝曜謙 | 竹科廠務一部 | 張木彬 | 國立中央大學 |

本文主要探討因應半導體廠排放氣體特性，將廠內熱電漿現址式空氣處理設備(Local Scrubber)進行節能改善，嘗試以新思維改善其高耗能的特性，並同時能保持對溫室氣體(PFCs、N2O)的高...

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2017.6, Vol.26 / 技術專文

Improvement of White Smoke and H2SO4 Particle from Stack

煙囪白煙及硫酸微粒防制改善

文 | 洪民翰 | 南科廠務四部 | 鍾善昌 | 南科廠務一部 |

南科十四廠五期於2012年5月開始投入量產，隨著新製程開發也衍生出前所未見的問題與挑戰，其中以濕式蝕刻製程因酸鹼混排延伸出煙道排放白煙以及硫酸微粒等問題最為困擾，既有的廢氣濕式洗滌塔與水渦流機已無法妥善處理白煙以及...

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2017.6, Vol.26 / 技術專文

Central Scrubber Improvement Approaches

濕式洗滌塔宿疾改善對策

文 | 錢立行 | 竹科廠務一部 |

本文主要探討因應半導體廠氣體特性，將既有廠內排氣中酸鹼處理設備-中央洗滌塔進行改善，嘗試以新思維改善半導體廠排氣中矽微粒堵塞拉西環、菌類生長及因污泥堆積底部而須進行冗長保養程序之中央洗滌塔宿疾，並針對未攔截水量、塔...

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2016.6, Vol.22 / 技術專文

Prevention is Better than Cure - Preventive Maintenance of Local Scrubber a Thorough Study and Breakthrough

預防勝於治療 - 製程尾氣處理設備預防保養追根究底與瓶頸突破

文 | 郭勝欽 | 張貴琳 | 竹科廠務三部 |

本文主要分析製程尾氣處理設備(以下簡稱Local Scrubber)粉末(以下簡稱Powder)阻塞的原因，並針對廢氣處理系統設備內部引氣管路進行改善，依據製程氣體特性及管路流場，分析製程尾氣經彎曲段或流向改變時，...

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金筆獎入圍

2016.6, Vol.22 / 新象新知

Local Scrubber Enhancement─ UV Technology Application in N2O Reduction

廢氣處理設備大突破 - 紫外光技術應用於氧化亞氮減量

文 | 吳怡君 | 中科廠務一部 |

2015年12月聯合國COP21巴黎協定，通過限制全球升溫不超過攝氏2度的目標，各國政府紛紛提出國家自定減碳計畫，面對日益嚴格之溫室氣體減量管制趨勢，為達到廠區自我要求改善目標，本文以目前台積電僅次於PFCs第二大...

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2015.9, Vol.19 / 技術專文

lectrical ExplosionPrevention Guidelines and Practice

電氣防爆規範與實務

文 | 徐永政 | 廠務品質管理部 |

本文介紹防爆危險場所之防爆設備安裝、選用規則，以及新建廠之防爆設備規劃。依新建廠防爆區之危險區域劃分結果，大部分區域危險等級劃分為Zone 2，有少部分區域劃分為Zone 1（易燃液體供應區/儲存區之集液井溝）及Z...

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2015.9, Vol.19 / 技術專文

Multi-Function Wet Scrubber Design Development and Application

酸鹼通吃 - 一機多用型濕式洗滌塔設計開發與應用

文 | 何峻嘉 | 新廠設計部 | 陳駿華 | 新廠設計部 |

隨著半導體精密製程快速演進，機台製程排氣酸鹼分流亦越來越困難而造成酸鹼混排處理不當，使產生排氣煙囪冒白煙的情況越來越容易發生。本文將針對各世代製程排氣處理對於洗滌塔設計的發展沿革進行探討說明，並以既設廠區設計搭配原...

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2013.6, Vol.10 / 新象新知

Biomimetics─ Self-cleaning of AAS Fan

仿生科技 - 製程排氣處理風扇自潔技術

文 | 陳政安 | 新廠設計部 | 錢立行 | 十二廠廠務一部 |

仿生學，一種透過觀察、研究、學習之後，將自然界中生物的各種特殊本領，包括生物本身的特殊結構、原理、行為，甚至是各種器官功能、體內的物理和化學過程、能量的供給、記憶與傳遞等應用於人類的科學技術，提供新的設計概念的技術...

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2012.4, Vol.06 / 特別企劃

Green Concept of Wet Scrubber Design Development in tsmc

綠色思維下的濕式洗滌塔設計沿革

文 | 陳駿華 | 新廠設計部 | 楊宗敏 | 晃誼科技股份有限公司 |

面臨製程機台排氣量不斷增加、成分越來越複雜的挑戰下，我們必須對空氣污染防制設備進行改善。本文將針對台積電各十二吋廠洗滌塔的發展趨勢及所面臨之困境進行探討，以既設廠設計搭配學理說明，分析不同的設計因子對處理效率的影響...

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