TSMC 廠務季刊

2017.12, Vol.28 / 技術專文

Machine Engineering Data Analysis Processing Technology

機台工程資料分析預先處理技術

文 | 簡伯恩 | 張志成 | 新廠工程管理部 |

隨著製程微型化演進，任何細小的參數變化皆會影響製程的良率與機台效能。製程研發階段時，機台端及廠務端有即時偵測系統進行製程環境及供應系統參數監測，但是在兩者之間的裝機管路沒有即時監測系統或使用機械式元件，當產品有異常...

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2017.12, Vol.28 / 技術專文

Introduction of EUV Foundation Installation

談極紫外光微影掃描設備基座安裝

文 | 鄧元豪 | 新廠工程管理部 | 黃士哲 | 新廠工程管理部 | 彭育倫 | 協崑有限公司 |

現今半導體先進製程產業已是不進步就是退步的高度競爭之中，隨著產品愈來愈精密，設備機台對於安裝環境的需求也相對愈來愈高。以基座（Foundation）而言，從一開始的載重需求至微振動需求，進而增加剛性的需求，每一個需...

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2017.12, Vol.28 / 技術專文

Recycled Material Activation of Disconnection Tool

拆移機資產活化再利用

文 | 陳仕洲 | 新廠工程管理部 |

近年半導體製程演進快速，調整機台配置(layout)以滿足產能需求已成常態，加上廠區無塵室(fab)空間有限，進而衍生大量拆移機發生，統計2016年1月至2017年12月，新竹及台南廠區約2,000多台拆移機，其中...

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2017.12, Vol.28 / 新象新知

Application of Bi-directional Grid-tied Energy Storage Technology

電力儲能技術的應用

文 | 張丁興 | 中科廠務三部 | 簡明德 | 伊頓公司 |

由於綠色能源的應用、極端氣候因素，白天氣溫異常偏高，電力尖峰需求量大增造成電力系統調度困難。電力儲能技術，可解決電力尖峰時段電力短缺、孤島型電力系統電力需求、降低綠能發電不穩定對系統的衝擊等問題，成為近來電力系統相...

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2017.9, Vol.27 / 技術專文

Drum’s Hyper Logistic (DHL) System for Chemical Drum

桶裝化學品高效供酸新架構

文 | 張育正 | 新廠設計部 | 黃介然 | 新廠設計部 | 劉俊男 | 中科廠務五部 |

因應未來人力成本高漲以及人力資源取得不易的問題，如何設計一套兼顧效率與供應品質並有效降低因人工操作必須面對的失誤風險，已然成為半導體廠務的重要課題。本計畫設計了一套為桶裝化學品量身打造的高效率輸送及供應系統，藉由高...

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2017.9, Vol.27 / 技術專文

The Fingerprint Database of Chemical PPT Metal Pollution & Improvement

化學品金屬汙染指紋資料庫與改善對策

文 | 楊中星 | 趙培辰 | 黃庭軒 | 羅立偉 | 南科廠務五部 |

由摩爾定律「單位面積電晶體數目每18個月就會增加一倍」可知半導體業界晶圓線寬將日漸縮小。因應電晶體線寬的縮小，黃光、蝕刻等製程要求的化學品純度也越高，從早期「百萬分之一」(Parts Per Million, PP...

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2017.9, Vol.27 / 技術專文

Improvement of Slurry Dispense System

化學研磨液供應系統的改善

文 | 孫聖哲 | 竹科廠務四部 |

隨著半導體產業日新月異的發展，整條製程產線上從化學品供應系統到設備機台都須不斷地強化更新。本篇著重在化學研磨液供應系統的強化。現今化學研磨液供應系統雖趨於成熟，但為了因應新物料的產生、使用者需求、更精準的品質以及強...

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2017.9, Vol.27 / 技術專文

Chemical Consuming Defense System

化學品用量異常即時偵測系統

文 | 戴君豪 | 廖俊凱 | 黃政道 | 竹科廠務五部 |

半導體製造工廠所使用之化學品，大部分由廠務端中央供應系統自動供應至產線端設備機台。當設備機台發生異常時，容易發生化學品異常大量使用。為了使化學品異常使用防禦系統達到即時且全面性的能力，廠務與自動化整合部門共同開發「...

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2017.9, Vol.27 / 技術專文

The Technology and Opportunity of Zero Liquid Discharge

業界廢水零排技術與機會點

文 | 陳國蔚 | 中科廠務二部 |

降低環境污染的議題是各國致力追求的目標。從2015年12月國內友廠於新聞發佈製程廢水零排放開始，零排變成各行各業所討論的標竿，但零排放需付出更多的電能，對於環境不見得是友善。本文透過分析業界零排放的重要技術(MBR...

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2017.9, Vol.27 / 技術專文

A Study of Biological Acute Toxicity

談放流水生物急毒性之研究

文 | 吳旻學 | 中科廠務二部 | 郭耀中 | 新廠設計部 | 凌永健 | 國立清華大學化學系 |

本文主要分析半導體廠廢水生物急毒性潛在問題，建立主要毒性物質之管制標準，以作為毒性之減量量及處理理方法選用依據。目前放流水生物急毒性標準檢測方法需48至96小時才能得知急毒性數值，本研究期能即時掌握放流水質狀況，維...

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2017.9, Vol.27 / 技術專文

Advanced Organic Treating Wastewater with Wastewater– Wastewater Treatment with Bio System

以廢水治廢水─ 以生物處理有機廢水

文 | 李仲弘 | 陳柏翊 | 中科廠務五部 |

台積公司廠務製程廢水分流確實，其優勢在於分流後，可規劃流程簡單且較小系統設計量，但也因此需添加更多化學品，例如酸、鹼廢水分流處理後，酸鹼廢水各自需添加化學藥劑進行中和。有鑑於此，我們希望尋找「以廢水治廢水」之機會點...

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2017.9, Vol.27 / 技術專文

Strict Defense – The Optimum Operation Defense of Ammonia Nitrogen System Membrane Degasifier

禦敵從嚴─氨氮系統脫氣膜最佳運轉防禦

文 | 楊政儒 | 陳建助 | 竹科廠務三部 |

半導體製程中會產生高濃度氨氮廢水，廠內以脫氣膜資源最佳化方式去除水中氨氮，脫氣膜法於膜管內通以硫酸，膜管外通以氨氮廢水，藉由質傳效應使硫酸吸收廢水中氨氣，形成硫酸銨副產物。此方法除了可消耗廠內製程行為產生之大量廢硫...

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2017.9, Vol.27 / 技術專文

Reverse Flush Strategy Analysis of Reverse Osmosis in High Concentration Wastewater Environment

逆滲透膜於高濃廢水下之反向流交互產水操作策略

文 | 蔡宇軒 | 王世民 | 竹科廠務三部 |

對半導體製造業大廠而言，水資源高度依賴與廢水排放品質，視為汙染減量與環境改善之標竿，2016年新設之逆滲透二段濃縮處理設備，負責進階回收內含氫氟酸廢水與廢氣洗滌塔廢水之逆滲透濃縮廢水，該廢水導電度極高，並內含多種化...

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2017.9, Vol.27 / 技術專文

Effluent Reclamation-Optimization in Operation of Process Pilot

工業再生水研發─ 回收模廠運轉最佳化

文 | 楊秉駪 | 南科廠務四部 | 萬棟勳 | 新廠設計部 |

再生水模廠(AOP Pilot)設備於2015年11月導入晶圓工廠排放廢水，成功克服原水高濃度TOC，然處理流程複雜及運轉成本較高；我們完成高難度的晶圓廠排放廢水，接著最終目標是處理南科放流水，從中找出流程簡化且兼...

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2017.9, Vol.27 / 新象新知

Application of Factory Automation and Intelligentization

廠務自動化與智能化之應用

文 | 潘耿輝 | 新廠設計部 | 陳培銘 | 南科廠務專案 |

拜摩爾定律所賜，新科技因成本不斷降低而大幅的躍進。其中自動化技術在這個加速創新的環境下更是站在浪潮頂端，尤其是視覺辨識、視覺導航和微控制技術的結合，讓機器手臂長了眼睛，可以作出更細微的動作。當這項技術容易取得後，一...

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2017.6, Vol.26 / 技術專文

The Control Mechanism for Hazardous Air Pollutants

有害空氣污染物防制機制

文 | 林宗標 | 江維捷 | 林意雄 | 南科廠務一部 |

有害空氣污染物包括VOCs、多環芳香烴化合物、重金屬及戴奧辛等。有害空氣污染物污染來源繁雜，其中多數可經過接觸、呼吸等方式危害國民健康安全。職業安全衛生與動物實驗均顯示，有害空氣污染物對人類具有致癌性、致突變性與致...

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