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2023.12, Vol.52 / 技術專文
The key challenges of advanced packaging process in Zhunan_Recovery for phosphoric acid wastewater
先進封裝廠零排放技術鑰徑-磷酸廢水資源化
文 | 李明遠 | 洪新雅 | 新竹廠務九部 |
含磷酸之化學藥劑被大量應用於先進封裝製程，而針對此含磷廢水做的化混加藥處理所產生的高導廢水及大量鹽類廢棄物將為未來邁向零排的最重要挑戰之一，故本篇研究藉由電透析法及薄膜法純化磷酸後再利用熱蒸發法使磷酸達再利用濃度，...

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2022.12, Vol.48 / 技術專文
Bio-ACF(BAC)'s technology applied decreasing TMAH of the effluent water
Bio-ACF(BAC)技術應用於廢水TMAH濃度減量之機制與研究
文 | 郭適瑜 | 林昱廷 | 蔡億茂 | 台南廠務五部 |
因全球半導體與光電業蓬勃發展，大量使用氫氧化四甲基胺(TMAH)顯影劑。本文中提到傳統樹脂可以有效吸附高濃度TMAH，但對於低濃度TMAH處理效益低，導致放流水TMAH雖符合園區納管標準卻未達ESG排放目標(<1m...

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2021.12, Vol.44 / 技術專文
It's Good Time to Save Water! Automation of Cooling Tower Level Control
節水好時機-Cooling Tower液位控制自動化
文 | 江典剛 | 台南廠務處 | 夏瑋念 | 台南廠務處 | 黃冠諭 | 亞太廠務處 |
冷卻水塔(Cooling Tower)一直是各廠回收水(RCW)使用量最大的單元，其使用量(即蒸發量)與當下環境的溫度、濕度皆有關，而環境溫濕度又與季節(長期)、日夜(每天)有關，以現況Cooling tower固...

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2020.12, Vol.40 / 技術專文
The assessment of combining stripping application for IPA wastewater improvement and VOCs waste-heat recovery
以氣提法進行IPA廢水改善評估與VOC廢熱回收展望
文 | 李明曄 | 竹科廠務一部 | 何顯利 | 新廠設計部 |
半導體製程在晶圓清洗及乾燥程序中使用大量的異丙醇(IPA)，因其有機溶劑揮發特性及製程排放廢水衍生丙酮，對各廠區空水污影響甚鉅。半導體廠房因次級用水之回收水量與水質需求，常見以RO膜進行廢水濃縮精煉處理，但經過精煉而產出...

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2019.9, Vol.35 / 技術專文
RCW Recycling for Air Pollutant Removal of Central Scrubber
中央洗滌塔排水 回收再利用改善空污排放
文 | 楓祥儀 | 陳聖偉 | 陳能泉 | 中科廠務一部 |
半導體廠空氣污染物處理設備以中央洗滌塔(Central Scrubber)為主，因製程需求演進導致機台廢氣酸鹼混排問題，而目前先進製程廠區酸性氣體排放管道中，氨氣皆佔有一定排放量比例，而煙囪排放氨氣濃度也間接影響無...

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2018.9, Vol.31 / 技術專文
Cobalt Recycle Methodology Study on Waste Water Treatment
廢水外排不鈷息： 先進製程廢水全鈷回收
文 | 蒙彥超 | 竹科廠務三部 |
鈷被大量應用於晶圓先進製程，而其產生之含鈷廢水造成的重金屬汙染對於環境有很大衝擊，需要一個妥善處理含鈷廢水方法，將處理後含鈷有害廢棄物轉換為有價的金屬資源回收，並減少避免處理過程中的衍生環境汙染風險。本篇研究以螯合...

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2018.9, Vol.31 / 技術專文
The Practice of Waste IPA Reduction by VEX Waste Heat Recycle
以回收有機排氣系統廢熱進行廠內異丙醇減量之實務應用
文 | 吳世霖 | 南科廠務五部 |
在半導體製程中常使用於晶圓乾燥、清潔之IPA化學品，隨著製程技術之推進以及晶圓線寬之微縮，導致IPA廢液在質與量均大幅改變：廢液量大幅增加但含水率過高，導致已無回收價值，僅能以焚化方式處理，造成處理費用增加。本研究...

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2017.12, Vol.28 / 技術專文
Recycled Material Activation of Disconnection Tool
拆移機資產活化再利用
文 | 陳仕洲 | 新廠工程管理部 |
近年半導體製程演進快速，調整機台配置(layout)以滿足產能需求已成常態，加上廠區無塵室(fab)空間有限，進而衍生大量拆移機發生，統計2016年1月至2017年12月，新竹及台南廠區約2,000多台拆移機，其中...

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2017.9, Vol.27 / 技術專文
Reverse Flush Strategy Analysis of Reverse Osmosis in High Concentration Wastewater Environment
逆滲透膜於高濃廢水下之反向流交互產水操作策略
文 | 蔡宇軒 | 王世民 | 竹科廠務三部 |
對半導體製造業大廠而言，水資源高度依賴與廢水排放品質，視為汙染減量與環境改善之標竿，2016年新設之逆滲透二段濃縮處理設備，負責進階回收內含氫氟酸廢水與廢氣洗滌塔廢水之逆滲透濃縮廢水，該廢水導電度極高，並內含多種化...

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2016.9, Vol.23 / 技術專文
Recycling Techniques for Inert Process Gases
惰性製程氣體回收技術
文 | 劉俊男 | 十五廠六期新建工程專案 | 黃介然 | 新廠設計部 |
本計畫開發了一套惰性製程氣體回收系統，將半導體製程機台所排放出來含有大量高單價惰性氣體的製程廢氣加以收集，再回收給氣體供應商，以降低原物料成本。此套系統主要由一個低壓緩衝桶槽、一個高壓貯存桶槽、一組加壓幫浦及一個氣...

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2016.9, Vol.23 / 技術專文
Withdraw Copper from Waste Copper Sulfate-Application of Annular Cylindrical Electrochemical Cells
液中求銅－製程廢硫酸銅回收裝置應用
文 | 連翊鈞 | 竹科廠務一部 |
硫酸銅（CuSO4）為LSI銅製程之重要原料之一，其製程（ECP）廢液濃度可達20 g/L以上，極具回收價值。現行因放流水質限制（竹科放流水銅檢出量需小於1ppm），本公司高濃度廢硫酸銅均採委...

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2016.6, Vol.22 / 技術專文
A New Perspective Heat Recovery - Total Heat Recovery and War Against Cold
全新角度檢視水側熱回收 - 全熱回收抗寒大作戰
文 | 蘇泓霖 | 鍾善昌 | 南科廠務四部 |
目前廠內35℃溫水熱源使用12℃冰機冷卻水出水溫度供應，在無塵室低負載或者極劣氣候-寒流狀態下，因已無熱能再被12℃冰機吸收，會直接影響35℃溫水溫度下降，間接影響到無塵室溫、溼度控制。因此本文提出新運轉手法再進化...

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2016.6, Vol.22 / 技術專文
The Brief Introduction of the Application of Run-Around Coil Heat Recovery System to MAU
淺談盤管環路熱回收系統在外氣空調箱的應用
文 | 施文彬 | 中科廠務一部 | 張智凱 | 奇立實業股份有限公司 | 樊素娟 | 艾法股份有限公司 |
節能減碳，提高能源使用效率已成為當前刻不容緩的議題之一。本文透過對於盤管環路熱回收系統的介紹，以及瞭解該系統在實際空調領域的應用方式後，說明如何將盤管環路熱回收系統導入半導體廠「外氣空調箱」（Make-up Air...

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2012.10, Vol.08 / 新象新知
Waste Chemical Recycle Technology
化學廢液回收再利用技術
文 | 鄭昭平 | 廠務技術發展專案 |
18吋(450mm)晶圓這個名字在半導體產業從2007年的初試啼聲，到現在大家已耳熟能詳，其所代表的意義，18吋已不再是“做”與“不做”的爭議，而是反應出對它的需求越...

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金筆獎入圍
2012.7, Vol.07 / 特別企劃
Recycling of Alkaline Wastewater from Semiconductor Plant
半導體廠鹼性廢水的回收與資源再利用技術
文 | 丁瑞華 | 新廠營建部 | 陳國益 | 兆聯實業股份有限公司 |
含氨 (Ammonia) 的鹼性廢水是半導體廠棘手的問題，因為水中除了氨外，往往還伴隨著高濃度的雙氧水。以回收的方式來濃縮廢水中的氨，並導入脫氣膜 (Membrane Degasifier) 與硫酸反應生成硫酸氨。...

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2012.7, Vol.07 / 特別企劃
Introduction of Run-around Coil in MAU
外氣空調箱循環迴路盤管構型介紹
文 | 陳芳明 | 十五廠三期專案 |
針對無塵室高耗能的外氣空調箱(Makeup Air Handling Unit，以下簡稱MAU)進行節能改善，一直是廠務人員關注的焦點，在各式節能方案中，又以導入循環盤管(Run-around Coil，以下簡稱R...

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