TSMC 廠務季刊

2023.09, Vol.51 / 技術專文

Plan the construction of air pollution prevention equipment in the limited space of the factory area

成廠區有限空間的空污防治設備建置對策

文 | 曾柏凱 | 新竹廠務二部 |

隨著環保意識抬頭及空污法規的演進，台積電呼應前述，提出ESG 2050年淨零排放目標，老舊成廠區在空污排放系統架構上有著難以改善的硬傷，除了防治設備老舊及備源機制不完全造成停機保養困難，更是有不同種類排氣風管串接混...

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2023.09, Vol.51 / 技術專文

Standardization of LSC DRE measurement method and strategy for De-N2O and NOx by Plasma-based LSC

LSC DRE檢測手法標準化及電漿式LSC De-N2O和NOx之策略

文 | 田麒鈺 | 新竹廠務五部 | 簡仲廷 | 新竹廠務五部 |

隨著日趨嚴謹之空污法規、新建廠之環評及公司ESG 2050年淨零排放之目標，FAC致力於發展各種污染物的減量技術。目前多數的CIT案皆是在LSC進行，也因此為了確保這些CIT能有效對空污減量，LSC DRE的檢測手...

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2023.09, Vol.51 / 技術專文

Improvement Strategy and Implementation Effect of Mixed Air Emission in RD Fab

RD廠區空污混排改善策略與執行成效

文 | 林裕愷 | 新竹廠務五部 | 黃友元 | 新竹廠務五部 |

RD Fab 先進製程研發致使製程不斷變化，2020 new chemical申請數較前幾年上升71%(全年120件)，依F12B實驗運轉經驗制訂從源頭、現址式洗滌塔(Local Scrubber)至中央處理設備(...

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2022.3, Vol.45 / 技術專文

The accuracy and application of Online IC in Stack monitoring

煙道酸鹼連續監測(Online IC)精確度提升改善及其應用

文 | 溫閎元 | 亞太廠務處 | 錢立行 | 新竹廠務四部 | 趙世閔 | 新竹廠務四部 |

於廠務運轉，各項污染物減量改善也隨之展開，如酸槽機台IPA(異丙醇)源頭改善及排放減量，煙道不透光率及F2(氟氣)異味改善。在這些項目執行過程中，選擇以何種方式量測污染物及驗證改善成效更是重中...

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2019.9, Vol.35 / 新象新知

Acid/alkaline On-line and Realtime Monitoring System of Stack Emissions

煙道酸鹼即時連續監測系統研究

文 | 康智翔 | 錢立行 | 竹科廠務三部 |

於廠務運轉層面，各項空氣污染物減量改善對策已展開並如火如荼的進行，如酸槽機台異丙醇(IPA)源頭改善及排放減量，煙道不透光率改善及氟氣(F2)異味改善也都已有成效。在這些改善項目執行過程中，選...

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2018.12, Vol.32 / 技術專文

E-Management of Emergency Response Center and Its Application

緊急應變中心電子化管理與應用

文 | 陳俊 | 十廠安全環保部 |

緊急應變中心（ERC）在半導體工廠乃至所有企業是至關重要的一個機構，處理異常時需要借助的資源多、器材多、人力多，且遍佈廠區。若開發電子化的管理系統，輔助異常緊急應變，必能產生可觀效益。為此，經由ISEP、IT等部門...

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2018.6, Vol.30 / 技術專文

The By-product and Parameter of Burning Type Local Scrubber

燃燒水洗式洗滌塔操作參數與副產物探討

文 | 范銘哲 | 王仁暉 | 楊孟堯 | 南科廠務三部 |

製程廢氣中危害性氣體及全氟碳化物(PFCs)僅能由現址式空氣處理設備(Local scrubber)處理削減，而Local scrubber之操作參數與製程廢氣去除效率息息相關，為確保削減效率，大多以「Worst ...

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2017.9, Vol.27 / 技術專文

Drum’s Hyper Logistic (DHL) System for Chemical Drum

桶裝化學品高效供酸新架構

文 | 張育正 | 新廠設計部 | 黃介然 | 新廠設計部 | 劉俊男 | 中科廠務五部 |

因應未來人力成本高漲以及人力資源取得不易的問題，如何設計一套兼顧效率與供應品質並有效降低因人工操作必須面對的失誤風險，已然成為半導體廠務的重要課題。本計畫設計了一套為桶裝化學品量身打造的高效率輸送及供應系統，藉由高...

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2017.6, Vol.26 / 技術專文

Air Pollution Control Strategy for Next Generation Fab

新世代廠房的空氣汙染防制

文 | 吳曜安 | 劉子銘 | 中科廠務三部 |

台積公司最新世代的晶圓廠房座落於中科擴建區，為因應日益嚴峻的環保法規及民眾對環境品質要求提升的期望，新廠在空氣汙染防治部分，導入最先進的技術與設備，包括：中央洗滌塔水力薄膜、排放源導入現址型洗滌塔、水霧系統及HEP...

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2017.3, Vol.25 / 技術專文

The Practical Assessment for UPS Power Efficiency Improvement

不斷電系統效率提升實務探討

文 | 黃鈵翔 | 胡家誠 | 南科廠務三部 |

本文主旨在於廠內穩定運轉的前提下，不變更UPS整體架構，探討成本與改善可行性，使Delta NT 500kVA UPS效率得以提升，達到節能減碳的效果。針對UPS既有架構提出三種節能想法，可分別在online和EC...

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2016.6, Vol.22 / 技術專文

Development and Application of Energy Conversion Factors (ECFs) Calculator of Fab Facility Systems

廠務能源轉換係數計算器之研究發展及應用

文 | 蔡耀文 | 林廸 | 胡石政 | 國立台北科技大學能源與冷凍空調工程系 |

製程機台的耗能除了本身直接的電力需求外，尚需考量廠務系統之能耗，SEMI S23定義了能源轉換係數為提供單位製程設施使用量所需之耗電量，透過廠務「能源轉換係數」（Energy Conversion Factor, ...

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2015.9, Vol.19 / 技術專文

Systematic Removal of Wooden Template - Wooden Template Removal with Platforms to Enhance Efficiency and Safety

木模板拆除系統化 - 研究以平台式拆除木模板提升效率及工安

文 | 李宗軒 | 新廠工程管理部 |

傳統木模板拆除其工率及安全上有賴豐富經驗之師傅，然而國內技術工人有老化趨勢以及技術傳承斷層的問題，如何提高施工效率與安全之作業環境，便形成新建廠專案管理重要課題。本文透過木模板拆除載具比對試驗，並參考無塵室平台施工...

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2011.1, Vol.01 / 技術專文

Introduction of ELF Magnetic Field Shielding

淺談極低頻磁場的防治 - 讓作業機台減少電磁波影響

文 | 于淳 | 計劃整合及研究專案部 PIRP |

今日消費性的科技產品隨著輕薄短小及節能減碳的要求，使得半導體的製程越縮越小，已邁入 28nm 的製程量產， 20nm 的製程也正積極的研發中。隨著製程的縮小，電磁波干擾 (EMI) 的問題也慢慢浮現，其中以極低頻磁...

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