TSMC 廠務季刊

2023.12, Vol.52 / 技術專文

Improvement Of Water Quality In Washing Towers For Air Pollution Reduction(NMHC)

空氣污染(NMHC)減量之空污設備(洗滌塔)用水水質改善

文 | 陳建全 | 新竹廠務二部 |

F12P3以源頭分流改善及提升污染物防制設備處理效能的兩個主軸方式，致力於各項空氣污染減量(污染物為硝酸、磷酸、硫酸、氫氟酸、鹽酸、氯氣、氨氮、VOCs(NMHC代表)，達到源頭減量、降低排放濃度。盤查分析發現LW...

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2023.09, Vol.51 / 技術專文

The Investigation and Application of Central Scrubber for Ammonia Emission Reduction

與時俱進的煙道革命_廠區洗滌塔氨氣排放削減研究與應用

文 | 吳瑞興 | 台南廠務一部 | 陳元昊 | 綠色製造部 | 邱冠瑋 | 台南廠務一部 | 陳睿森 | 台南廠務二部 |

隨著空氣污染防治議題蓬勃發展、環保法規日益嚴峻等等原因，空氣污染防治技術及煙道排放濃度減量逐漸成為關注焦點。TSMC F6及F14A共同遭遇的空污問題以酸性洗滌塔(SEX)酸鹼混排及去除效率不佳為主，為符合未來法規...

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2023.09, Vol.51 / 技術專文

Establishment of ammonium sulfate drying system and air pollution control technology

循環經濟_硫酸銨乾燥系統設立與空污防治技術

文 | 高舶格 | 台南廠務四部 |

隨著產能及研發規模持續擴充，台積公司採取「廢棄物產出最小化，資源循環使用最大化」的廢棄物管理方針。其中，針對廢硫酸及氨氮廢水，繼民國104年成功轉製為可委外再利用的硫酸銨廢液；台積公司再次領先業界、進一步導入「機械...

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2023.09, Vol.51 / 技術專文

Discussion of the ability of Salix to capture ammonium salt droplets and the outlook of VOCs flow at Polymer/PR Stripping process.

Salix應用於Polymer/PR Stripping之銨鹽類霧滴捕捉能力提升與VOCs流向展望

文 | 蔡宗偉 | 台南廠務八部 | 廖家偉 | 台南廠務八部 |

Polymer/PR Stripping 濕製程使用Wet Bench常見的高溫硫酸(SPM)與NH4OH，並同時利用IPA洗滌Wafer表面，故在製程尾氣處理具有酸性氣體與有機物(VOCs)...

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2022.3, Vol.45 / 技術專文

Inspection and Re-creation a Friendly Environment for Air Pollution Reduction for 30-year-old Factory

30年老廠空污健檢減量與再造友善環境

文 | 魏君穎 | 新竹廠務一部 |

由於環境污染日趨惡化，加上近年來環保意識抬頭，各界對於污染管制紛紛提高標準，工廠廢氣的排放也受到關注。對企業而言，除了必須遵守空氣污染法規的要求外，如何在資源有限的情況下降低廢氣的排放量和改善防制設備發揮最大效益，...

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2019.9, Vol.35 / 技術專文

Reduction Strategy for Sulfuric Acid Emission of Stack in Semiconductor Industry

半導體業煙道硫酸排放減量策略

文 | 楊孟堯 | 楊映茹 | 張皓隆 | 南科廠務三部 |

在12吋晶圓廠中隨著產能不斷提升，排氣風量與硫酸使用量增加，硫酸排放總量逐漸受到主管機關的重視。以最新12吋晶圓廠為例，使用硫酸的最大來源是高溫硫酸製程機台及廠務桶槽，參考文獻研究顯示處理廢氣入口濃度越高洗滌塔處理...

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2019.9, Vol.35 / 技術專文

RCW Recycling for Air Pollutant Removal of Central Scrubber

中央洗滌塔排水回收再利用改善空污排放

文 | 楓祥儀 | 陳聖偉 | 陳能泉 | 中科廠務一部 |

半導體廠空氣污染物處理設備以中央洗滌塔(Central Scrubber)為主，因製程需求演進導致機台廢氣酸鹼混排問題，而目前先進製程廠區酸性氣體排放管道中，氨氣皆佔有一定排放量比例，而煙囪排放氨氣濃度也間接影響無...

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2018.6, Vol.30 / 技術專文

The Study for Enhancement in the Removal Efficiency of Central Scrubber with Bubble Tower

罩泡塔應用於立式洗滌塔處理效率改善研究與探討

文 | 許顥儒 | 潘衍霖 | 陳能泉 | 中科廠務一部 |

半導體廠內洗滌塔為主要空氣污染物去除設備，但半導體廠有酸鹼混排問題，且氨氣佔年總排放量相對高，酸排氨氣主要來源為酸槽機台，在鹼洗酸性排氣洗滌塔中去除效率不佳。因此本文的目的在於探討改善既有立式洗滌塔的廢氣處理效率，...

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2018.6, Vol.30 / 技術專文

Application of Demister in Removal Performance Enhancement of Inorganic Acid and Base in Scrubber

水力薄膜應用於洗滌塔中無機酸鹼去除效率之探討

文 | 張皓隆 | 南科廠務三部 |

半導體製程中經常使用到大量的有機溶劑及化學酸鹼溶液，部分化學物質會經由揮發或者高溫霧化而被排氣系統所收集至中央洗滌塔處理後排放，其中以濕式蝕刻製程因酸鹼混排延伸出排氣風管結晶與煙囪排放白煙以及硫酸微粒等問題最為困擾...

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2017.6, Vol.26 / 技術專文

Improvement of White Smoke and H2SO4 Particle from Stack

煙囪白煙及硫酸微粒防制改善

文 | 洪民翰 | 南科廠務四部 | 鍾善昌 | 南科廠務一部 |

南科十四廠五期於2012年5月開始投入量產，隨著新製程開發也衍生出前所未見的問題與挑戰，其中以濕式蝕刻製程因酸鹼混排延伸出煙道排放白煙以及硫酸微粒等問題最為困擾，既有的廢氣濕式洗滌塔與水渦流機已無法妥善處理白煙以及...

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2017.6, Vol.26 / 技術專文

Central Scrubber Improvement Approaches

濕式洗滌塔宿疾改善對策

文 | 錢立行 | 竹科廠務一部 |

本文主要探討因應半導體廠氣體特性，將既有廠內排氣中酸鹼處理設備-中央洗滌塔進行改善，嘗試以新思維改善半導體廠排氣中矽微粒堵塞拉西環、菌類生長及因污泥堆積底部而須進行冗長保養程序之中央洗滌塔宿疾，並針對未攔截水量、塔...

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2015.9, Vol.19 / 技術專文

Multi-Function Wet Scrubber Design Development and Application

酸鹼通吃 - 一機多用型濕式洗滌塔設計開發與應用

文 | 何峻嘉 | 新廠設計部 | 陳駿華 | 新廠設計部 |

隨著半導體精密製程快速演進，機台製程排氣酸鹼分流亦越來越困難而造成酸鹼混排處理不當，使產生排氣煙囪冒白煙的情況越來越容易發生。本文將針對各世代製程排氣處理對於洗滌塔設計的發展沿革進行探討說明，並以既設廠區設計搭配原...

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2013.6, Vol.10 / 新象新知

Biomimetics─ Self-cleaning of AAS Fan

仿生科技 - 製程排氣處理風扇自潔技術

文 | 陳政安 | 新廠設計部 | 錢立行 | 十二廠廠務一部 |

仿生學，一種透過觀察、研究、學習之後，將自然界中生物的各種特殊本領，包括生物本身的特殊結構、原理、行為，甚至是各種器官功能、體內的物理和化學過程、能量的供給、記憶與傳遞等應用於人類的科學技術，提供新的設計概念的技術...

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2012.4, Vol.06 / 特別企劃

Green Concept of Wet Scrubber Design Development in tsmc

綠色思維下的濕式洗滌塔設計沿革

文 | 陳駿華 | 新廠設計部 | 楊宗敏 | 晃誼科技股份有限公司 |

面臨製程機台排氣量不斷增加、成分越來越複雜的挑戰下，我們必須對空氣污染防制設備進行改善。本文將針對台積電各十二吋廠洗滌塔的發展趨勢及所面臨之困境進行探討，以既設廠設計搭配學理說明，分析不同的設計因子對處理效率的影響...

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