TSMC 廠務季刊

2018.3, Vol.29 / 技術專文

FMCS Watch Dog Health Check System

廠務監控健檢雛形系統

文 | 李仙元 |

為了提昇部門與人員整體運轉效率，過去各廠皆投入了不少心力進行電子化系統的建置，也因此維持電子化系統正常的執行成為日常運轉重要的任務之一。然廠務電子化系統應用程式的數量不在少數，為了改善用戶反應異常才進行故障排除的窘...

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2018.3, Vol.29 / 技術專文

Application of UPS HRS Harmonic Reduction and Power Factor Correction

不斷電諧波抑制系統之諧波改善與功因校正實務應用

文 | 黃晋益 | 李豐裕 | 周俊宏 | 胡緯民 | 南科廠務三部 |

UPS啟用節能模式後，變電站受到UPS輸出側之高諧波或低功因負載影響，導致電源總諧波失真程度及功率因數變差，同時，變電站需提供更大電流以因應高諧波或低功因用電設備。本文一開始先說明UPS節能模式如何使變電站諧波與功...

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2018.3, Vol.29 / 新象新知

Dependable Companion Robots for Daily Inspection

談巡檢機器人於廠務運轉之應用

文 | 余宗賢 | 張書豪 | 中科廠務一部 |

廠務設備數量龐大且遍布整個廠區，僅靠傳統人力巡檢的管理模式，已無法完整涵蓋現今的工廠運作，當廠區規模為超大晶圓廠(GigaFAB)，更是需要投入大量人力；為此，導入巡檢機器人於廠房設備之日常運作，並針對廠區水、電、...

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2018.3, Vol.29 / 新象新知

The Trend of Facility Platform in Cloud Generation

雲端時代的廠務平台發展趨勢

文 | 林筑婷 | 南科廠務三部 |

自從2007年雲端運算(Cloud Computing)一詞出現之後，各大政府、企業與學界無不積極發展雲端運算，也帶動網路技術、IT設備的變革，以及服務概念的崛起，儼然已成為新一波的資訊革命，勢必影響未來人們的使用...

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2017.12, Vol.28 / 技術專文

Discussion of Public Hazardous Materials Examination Practice - Example of Taichung Science Park

公共危險物品圖審勘驗實務探討 - 以中科擴建廠為例

文 | 洪文當 | 新廠工程管理部 | 黃子其 | 新廠工程管理部 | 李婉珍 | 揚智安全企業有限公司 |

國內現行消防法規主要係依據日本消防相關法規引用而來，法規條文內容簡略且分散，各廠區於新建時，負責之廠區製程與庫房人員也隨之更動，因此不瞭解自己的職責，導致實務上遭遇許多挑戰。公共危險物品（後續簡稱公危）審勘重點在於...

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2017.12, Vol.28 / 技術專文

Machine Engineering Data Analysis Processing Technology

機台工程資料分析預先處理技術

文 | 簡伯恩 | 張志成 | 新廠工程管理部 |

隨著製程微型化演進，任何細小的參數變化皆會影響製程的良率與機台效能。製程研發階段時，機台端及廠務端有即時偵測系統進行製程環境及供應系統參數監測，但是在兩者之間的裝機管路沒有即時監測系統或使用機械式元件，當產品有異常...

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2017.12, Vol.28 / 技術專文

Introduction of EUV Foundation Installation

談極紫外光微影掃描設備基座安裝

文 | 鄧元豪 | 新廠工程管理部 | 黃士哲 | 新廠工程管理部 | 彭育倫 | 協崑有限公司 |

現今半導體先進製程產業已是不進步就是退步的高度競爭之中，隨著產品愈來愈精密，設備機台對於安裝環境的需求也相對愈來愈高。以基座（Foundation）而言，從一開始的載重需求至微振動需求，進而增加剛性的需求，每一個需...

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2017.9, Vol.27 / 技術專文

Drum’s Hyper Logistic (DHL) System for Chemical Drum

桶裝化學品高效供酸新架構

文 | 張育正 | 新廠設計部 | 黃介然 | 新廠設計部 | 劉俊男 | 中科廠務五部 |

因應未來人力成本高漲以及人力資源取得不易的問題，如何設計一套兼顧效率與供應品質並有效降低因人工操作必須面對的失誤風險，已然成為半導體廠務的重要課題。本計畫設計了一套為桶裝化學品量身打造的高效率輸送及供應系統，藉由高...

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2017.9, Vol.27 / 技術專文

The Fingerprint Database of Chemical PPT Metal Pollution & Improvement

化學品金屬汙染指紋資料庫與改善對策

文 | 楊中星 | 趙培辰 | 黃庭軒 | 羅立偉 | 南科廠務五部 |

由摩爾定律「單位面積電晶體數目每18個月就會增加一倍」可知半導體業界晶圓線寬將日漸縮小。因應電晶體線寬的縮小，黃光、蝕刻等製程要求的化學品純度也越高，從早期「百萬分之一」(Parts Per Million, PP...

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2017.9, Vol.27 / 技術專文

Improvement of Slurry Dispense System

化學研磨液供應系統的改善

文 | 孫聖哲 | 竹科廠務四部 |

隨著半導體產業日新月異的發展，整條製程產線上從化學品供應系統到設備機台都須不斷地強化更新。本篇著重在化學研磨液供應系統的強化。現今化學研磨液供應系統雖趨於成熟，但為了因應新物料的產生、使用者需求、更精準的品質以及強...

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2017.9, Vol.27 / 技術專文

Chemical Consuming Defense System

化學品用量異常即時偵測系統

文 | 戴君豪 | 廖俊凱 | 黃政道 | 竹科廠務五部 |

半導體製造工廠所使用之化學品，大部分由廠務端中央供應系統自動供應至產線端設備機台。當設備機台發生異常時，容易發生化學品異常大量使用。為了使化學品異常使用防禦系統達到即時且全面性的能力，廠務與自動化整合部門共同開發「...

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2017.9, Vol.27 / 技術專文

The Technology and Opportunity of Zero Liquid Discharge

業界廢水零排技術與機會點

文 | 陳國蔚 | 中科廠務二部 |

降低環境污染的議題是各國致力追求的目標。從2015年12月國內友廠於新聞發佈製程廢水零排放開始，零排變成各行各業所討論的標竿，但零排放需付出更多的電能，對於環境不見得是友善。本文透過分析業界零排放的重要技術(MBR...

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2017.9, Vol.27 / 技術專文

A Study of Biological Acute Toxicity

談放流水生物急毒性之研究

文 | 吳旻學 | 中科廠務二部 | 郭耀中 | 新廠設計部 | 凌永健 | 國立清華大學化學系 |

本文主要分析半導體廠廢水生物急毒性潛在問題，建立主要毒性物質之管制標準，以作為毒性之減量量及處理理方法選用依據。目前放流水生物急毒性標準檢測方法需48至96小時才能得知急毒性數值，本研究期能即時掌握放流水質狀況，維...

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2017.9, Vol.27 / 技術專文

Advanced Organic Treating Wastewater with Wastewater– Wastewater Treatment with Bio System

以廢水治廢水─ 以生物處理有機廢水

文 | 李仲弘 | 陳柏翊 | 中科廠務五部 |

台積公司廠務製程廢水分流確實，其優勢在於分流後，可規劃流程簡單且較小系統設計量，但也因此需添加更多化學品，例如酸、鹼廢水分流處理後，酸鹼廢水各自需添加化學藥劑進行中和。有鑑於此，我們希望尋找「以廢水治廢水」之機會點...

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2017.9, Vol.27 / 技術專文

Effluent Reclamation-Optimization in Operation of Process Pilot

工業再生水研發─ 回收模廠運轉最佳化

文 | 楊秉駪 | 南科廠務四部 | 萬棟勳 | 新廠設計部 |

再生水模廠(AOP Pilot)設備於2015年11月導入晶圓工廠排放廢水，成功克服原水高濃度TOC，然處理流程複雜及運轉成本較高；我們完成高難度的晶圓廠排放廢水，接著最終目標是處理南科放流水，從中找出流程簡化且兼...

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2017.9, Vol.27 / 新象新知

Application of Factory Automation and Intelligentization

廠務自動化與智能化之應用

文 | 潘耿輝 | 新廠設計部 | 陳培銘 | 南科廠務專案 |

拜摩爾定律所賜，新科技因成本不斷降低而大幅的躍進。其中自動化技術在這個加速創新的環境下更是站在浪潮頂端，尤其是視覺辨識、視覺導航和微控制技術的結合，讓機器手臂長了眼睛，可以作出更細微的動作。當這項技術容易取得後，一...

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